待清洗工件的装夹系统及装夹方法技术方案

本申请提供了一种待清洗工件的装夹系统及装夹方法，其中，装夹系统包括装夹装置与驱动装置，装夹装置包括多个依次排列的装夹组件，装夹组件包括第一装夹部与第二装夹部，第一装夹部设有第一凹槽，第一凹槽用于装夹第一待清洗工件，第二装夹部设有第二凹槽，第二凹槽用于装夹第二待清洗工件。驱动装置用于驱动装夹装置进行位移，以使得第一凹槽与第二凹槽之间的间距可调。通过增设驱动装置，利用驱动装置驱动装夹装置进行位移，从而增加第一待清洗工件与第二待清洗工件之间的距离。因此，当第一待清洗工件与第二待清洗工件进行清洗时产生的副产物更易排除，且降低第一待清洗工件与第二待清洗工件碰撞的几率，提高工件的质量。

Clamping system and method of workpiece to be cleaned

【技术实现步骤摘要】
待清洗工件的装夹系统及装夹方法
本申请属于工件装夹
，具体涉及待清洗工件的装夹系统及装夹方法。
技术介绍
芯片是电子设备中重要的组件之一，是电子设备的“心脏”。在芯片的制备过程中，需要将原材料晶圆进行多次清洗操作。在每次清洗操作之前，需要将多个待清洗工件置入装夹装置中，再将其转移至清洗槽中进行清洗，并且多个待清洗工件之间的间距在转移时不会发生变化。但目前多个待清洗工件之间的距离较小，导致相邻的两个待清洗工件在清洗时会发生碰撞，或者待清洗工件在清洗时产生的副产物不易排出，上述情况均会影响工件的质量。
技术实现思路
鉴于此，本申请第一方面提供了一种待清洗工件的装夹系统，所述装夹系统包括装夹装置与驱动装置；所述装夹装置包括多个依次排列的装夹组件，所述装夹组件包括第一装夹部与第二装夹部；所述第一装夹部设有第一凹槽，所述第一凹槽用于装夹第一待清洗工件；所述第二装夹部设有第二凹槽，所述第二凹槽用于装夹第二待清洗工件；所述驱动装置用于驱动所述装夹装置进行位移，以使得所述第一凹槽与所述第二凹槽之间的间距可调。本申请第一方面提供的装夹系统，通过增设驱动装置，利用驱动装置驱动装夹装置进行位移，以使得所述第一凹槽与所述第二凹槽之间的间距可调，从而增加第一待清洗工件与第二待清洗工件之间的距离。因此，当第一待清洗工件与第二待清洗工件进行清洗时产生的副产物更易排除，且降低第一待清洗工件与第二待清洗工件碰撞的几率，提高工件的质量。其中，所述驱动装置包括移动装置，所述移动装置连接所述第一装夹部与所述第二装夹部，所述移动装置用于使所述第一装夹部和/或所述第二装夹部沿任意方向进行移动。其中，所述移动装置用于使所述第一装夹部和/或所述第二装夹部沿所述多个装夹组件的排列方向进行移动。其中，所述驱动装置包括第一旋转装置和移动装置；所述第一装夹部包括形成所述第一凹槽的第一侧壁与连接所述第一侧壁的第一表面；所述第一旋转装置设于所述第一侧壁与所述第一表面之间，所述第一旋转装置用于旋转所述第一侧壁，以改变所述第一侧壁与所述第一表面之间的角度；所述移动装置连接所述第一装夹部与所述第二装夹部，当所述第一旋转装置改变所述第一侧壁与所述第一表面之间的角度时，所述移动装置用于使所述第一装夹部和所述第二装夹部沿所述多个装夹组件的排列方向进行移动，以使得所述第一侧壁的长度保持不变。其中，对于相邻的两个所述装夹组件：装夹组件(A)与装夹组件(B)，所述装夹组件(A)包括第一装夹部(A)与第二装夹部(A)，所述装夹组件(B)包括第一装夹部(B)与第二装夹部(B)，所述第二装夹部(A)固定连接所述第一装夹部(B)，或者，所述第二装夹部(A)与所述第一装夹部(B)之间的间距可调。其中，所述驱动装置还包括第二旋转装置，所述第二旋转装置连接所述装夹装置，所述第二旋转装置用于使所述装夹装置沿垂直于所述移动装置的移动方向与所述第一旋转装置的旋转方向形成的平面的方向旋转180°。其中，所述移动装置还用于使所述第一装夹部与所述第二装夹部沿垂直于所述移动装置的移动方向与所述第一旋转装置的旋转方向形成的平面的方向进行移动。其中，所述装夹系统还包括传动装置，所述传动装置具有收容部、旋转部、及传动部；所述旋转部连接所述传动部，所述传动部连接所述收容部，所述收容部用于收容所述第一待清洗工件与所述第二待清洗工件；所述旋转部用于将所述收容部从平行于所述多个装夹组件的排列方向旋转至垂直于所述多个装夹组件的排列方向；所述传动部用于将所述收容部向所述第一凹槽与所述第二凹槽的方向移动。本申请第二方面提供一种待清洗工件的装夹方法，所述装夹方法包括：提供第一待清洗工件、第二待清洗工件与装夹装置，所述装夹装置包括多个依次排列的装夹组件，所述装夹组件包括第一装夹部与第二装夹部，所述第一装夹部设有第一凹槽，所述第二装夹部设有第二凹槽；将所述第一待清洗工件置入所述第一凹槽，所述第二待清洗工件置入所述第二凹槽；以及驱动所述装夹装置进行位移，以使得所述第一待清洗工件与所述第二待清洗工件之间的间距可调。本申请第二方面提供的装夹方法，通过驱动装夹装置进行位置，以使得所述第一凹槽与所述第二凹槽之间的间距可调，从而增加第一待清洗工件与第二待清洗工件之间的距离。因此，当第一待清洗工件与第二待清洗工件进行清洗时产生的副产物更易排除，且降低第一待清洗工件与第二待清洗工件碰撞的几率，提高工件的质量。本申请提供的装夹方法，步骤简单，成本低廉，具有很强的实用性。其中，“将所述第一待清洗工件置入所述第一凹槽，所述第二待清洗工件置入所述第二凹槽”包括：提供传动装置，将所述第一待清洗工件置入所述传动装置中；将所述第一待清洗工件从平行于所述多个装夹组件的排列方向旋转至垂直于所述多个装夹组件的排列方向；将所述第一待清洗工件转移至所述第一凹槽；将所述第二待清洗工件置入所述传动装置中；将所述第二待清洗工件从平行于所述多个装夹组件的排列方向旋转至垂直于所述多个装夹组件的排列方向；以及将所述第二待清洗工件转移至所述第二凹槽；其中，所述第一待清洗工件包括相对设置的第一加工面与第一非加工面，所述第二待清洗工件包括相对设置的第二加工面与第二非加工面，在“将所述第二待清洗工件置入所述传动装置中”之前，所述装夹方法还包括：将所述装夹装置沿平行于所述多个装夹组件的排列方向旋转180°，以使得当所述第二待清洗工件转移至所述第二凹槽后，所述第一加工面与所述第二加工面面对面设置。其中，“驱动所述装夹装置进行位移”包括：驱动所述第一装夹部与所述第二装夹部沿所述多个装夹组件的排列方向进行移动，以使所述第一装夹部与所述第二装夹部之间的间距可调。其中，所述第一装夹部包括形成所述第一凹槽的第一侧壁与连接所述第一侧壁的第一表面，“驱动所述装夹装置进行位移”包括：驱动所述第一侧壁进行转动以改变所述第一侧壁与所述第一表面之间的角度，且同时驱动所述第一装夹部与所述第二装夹部沿所述多个装夹组件的排列方向进行移动，以使得所述第一侧壁的长度保持不变。附图说明为了更清楚地说明本申请实施方式中的技术方案，下面将对本申请实施方式中所需要使用的附图进行说明。图1为本申请第一实施方式装夹系统的部分示意图。图2为图1中第一待清洗工件与第二待清洗工件置入装夹装置中的部分示意图。图3为图1中驱动装置驱动装夹装置发生位移后的部分示意图。图4为本申请第二实施方式装夹系统的部分示意图。图5为图4中移动装置移动第一装夹部与第二装夹部后的部分示意图。图6为本申请第三实施方式装夹系统的部分示意图。图7为图6中第一旋转装置与移动装置进行位移后的部分示意图。图8为本申请第四实施方式装夹系统的部分示意图。图9为本申请第五实施方式装夹系统的部分示意图。图10为本申请第六实施方式装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种待清洗工件的装夹系统，其特征在于，/n所述装夹系统包括装夹装置与驱动装置；/n所述装夹装置包括多个依次排列的装夹组件，所述装夹组件包括第一装夹部与第二装夹部；/n所述第一装夹部设有第一凹槽，所述第一凹槽用于装夹第一待清洗工件；/n所述第二装夹部设有第二凹槽，所述第二凹槽用于装夹第二待清洗工件；/n所述驱动装置用于驱动所述装夹装置进行位移，以使得所述第一凹槽与所述第二凹槽之间的间距可调。/n

【技术特征摘要】
1.一种待清洗工件的装夹系统，其特征在于，
所述装夹系统包括装夹装置与驱动装置；
所述装夹装置包括多个依次排列的装夹组件，所述装夹组件包括第一装夹部与第二装夹部；
所述第一装夹部设有第一凹槽，所述第一凹槽用于装夹第一待清洗工件；
所述第二装夹部设有第二凹槽，所述第二凹槽用于装夹第二待清洗工件；
所述驱动装置用于驱动所述装夹装置进行位移，以使得所述第一凹槽与所述第二凹槽之间的间距可调。


2.如权利要求1所述的装夹系统，其特征在于，
所述驱动装置包括移动装置，所述移动装置连接所述第一装夹部与所述第二装夹部，所述移动装置用于使所述第一装夹部和/或所述第二装夹部沿任意方向进行移动。


3.如权利要求2所述的装夹系统，其特征在于，所述移动装置用于使所述第一装夹部和/或所述第二装夹部沿所述多个装夹组件的排列方向进行移动。


4.如权利要求1所述的装夹系统，其特征在于，
所述驱动装置包括第一旋转装置和移动装置；
所述第一装夹部包括形成所述第一凹槽的第一侧壁与连接所述第一侧壁的第一表面；
所述第一旋转装置设于所述第一侧壁与所述第一表面之间，所述第一旋转装置用于旋转所述第一侧壁，以改变所述第一侧壁与所述第一表面之间的角度；
所述移动装置连接所述第一装夹部与所述第二装夹部，当所述第一旋转装置改变所述第一侧壁与所述第一表面之间的角度时，所述移动装置用于使所述第一装夹部和所述第二装夹部沿所述多个装夹组件的排列方向进行移动，以使得所述第一侧壁的长度保持不变。


5.如权利要求3或4所述的装夹系统，其特征在于，对于相邻的两个所述装夹组件：装夹组件(A)与装夹组件(B)，所述装夹组件(A)包括第一装夹部(A)与第二装夹部(A)，所述装夹组件(B)包括第一装夹部(B)与第二装夹部(B)，所述第二装夹部(A)固定连接所述第一装夹部(B)，或者，所述第二装夹部(A)与所述第一装夹部(B)之间的间距可调。


6.如权利要求4所述的装夹系统，其特征在于，所述驱动装置还包括第二旋转装置，所述第二旋转装置连接所述装夹装置，所述第二旋转装置用于使所述装夹装置沿垂直于所述移动装置的移动方向与所述第一旋转装置的旋转方向形成的平面的方向旋转180°。


7.如权利要求3或4所述的装夹系统，其特征在于，所述移动装置还用于使所述第一装夹部与所述第二装夹部沿垂直于所述移动装置的移动方向与所述第一旋转装置的旋转方向形成的平面的方向进行移动。


8.如权利要求1所述的装夹系统，其特征在于，
所述装夹系统还包括传动装置，所述传动装置具有收容部、旋转部、及传动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王二伟，顾立勋，夏余平，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42