探针卡短路保护组件以及探针测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种探针卡短路保护组件以及探针测试装置，所述探针卡短路保护组件包括旋转轴、用于支撑该旋转轴的支撑架、套设于该旋转轴上的熔断器、驱动所述旋转轴的驱动装置以及用于电连接所述熔断器与外部电路的第一连接部和第二连接部；所述熔断器包括载熔件及若干根熔丝，所述载熔件固定套设于所述旋转轴上，若干根所述熔丝沿所述旋转轴的轴向延伸且沿所述载熔件的周向间隔排布；所述第一连接部和第二连接部与旋转至第一连接部与第二连接部之间的熔丝电连接。通过在探针测试装置中加入探针卡短路保护组件，可以防止探针卡被烧坏。同时，采用可自动或手动切换熔丝的熔断器，节约了更换熔丝的时间，能够快速恢复测试工艺，提高产能。

Probe card short circuit protection assembly and probe test device

【技术实现步骤摘要】
探针卡短路保护组件以及探针测试装置
本技术属于微电子测试领域，涉及一种探针卡短路保护组件以及探针测试装置。
技术介绍
近年来，对于形成于晶片上的半导体集成电路的电气特性已经普遍进行测试。首先，半导体测试装置将设置在探针卡上的探针接触到半导体集成电路的电极。然后，半导体测试装置将测试信号施加给半导体集成电路。随后，半导体集成电路将来自于半导体集成电路的输出信号与期望值进行比较。然而，在测试过程中，如遇到芯片异常，探针卡的电源针发生短路，探针卡会因为电流过大而瞬间氧化探针针尖，造成探针卡的损坏、测试暂停。修复与更换探针卡浪费人力与物力，导致产能降低。因此，如何避免探针卡的损坏及发生短路后如何快速恢复测试是本领域技术人员需要解决的课题。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种探针卡短路保护组件以及探针测试装置，通过在探针测试装置中加入探针卡短路保护组件，可以防止探针卡被烧坏，同时，也可以提高更换熔丝的效率，提高产能。为实现上述目的，本专利技术一种探针卡短路保护组件，所述探针卡短路保护组件包括旋转轴、用于支撑该旋转轴的支撑架、套设于该旋转轴上的熔断器、驱动所述旋转轴的驱动装置以及用于电连接所述熔断器与外部电路的第一连接部和第二连接部；所述熔断器包括载熔件及若干根熔丝，所述载熔件固定套设于所述旋转轴上，若干根所述熔丝沿所述旋转轴的轴向延伸且沿所述载熔件的周向间隔排布；所述第一连接部和第二连接部与旋转至第一连接部与第二连接部之间的熔丝电连接。可选地，所述探针卡短路保护组件还包括对熔断器进行限位的限位卡箍。可选地，所述驱动装置至少包括驱动器以及与一端所述驱动器连接、另一端套设于旋转轴上的传动带。可选地，所述驱动装置还包括手动驱动。可选地，所述熔丝设置于所述载熔件的外围。可选地，设置于所述载熔件上的若干根熔丝等间距。可选地，所述旋转轴两端的横截面直径小于中间段的横截面直径。可选地，所述熔丝采用包括磁吸、嵌套、钩挂方式固定于所述载熔件上。可选地，所述熔丝的型号与被测芯片的型号相匹配。本专利技术还提供一种探针测试装置，所述探针测试装置至少包括测试芯片的探针卡、放置被测芯片的探针台以及如上述任一项所述的探针卡短路保护组件，其中，所述探针卡短路保护组件通过供电电路与探针卡及探针台电连接。本技术提供的探针卡短路保护组件以及探针测试装置，通过增加可以切换熔丝的熔断器，完成熔丝的手动或自动切换，快速恢复测试工序，减少资源的浪费及提高产能。附图说明图1显示为实施例一中探针卡短路保护组件的示意图。图2显示为实施例一中熔断器的结构示意图。图3(a)显示为实施例一中探针测试装置的结构示意图。图3(b)显示为实施例一中图3(a)所圈部分的局部放大图。图4显示为实施例二中探针卡短路保护组件的示意图。图5(a)显示为实施例二中探针测试装置的结构示意图。图5(b)显示为实施例二中图5(a)所圈部分的局部放大图。元件标号说明10熔断器11载熔件12熔丝13支撑架14旋转轴15驱动装置151驱动器152传送带161第一连接部162第二连接部17探针台18探针卡19供电电路20熔断器21载熔件22熔丝23支撑架24旋转轴25驱动装置261第一连接部262第二连接部27探针台28探针卡29供电电路具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。实施例一如图1所示，本技术提供一种探针卡短路保护组件，所述探针卡短路保护组件包括：旋转轴14、用于支撑旋转轴的支撑架13、套设于该旋转轴上的熔断器10、带动旋转轴转动的驱动装置15以及用于电连接熔断器10与供电电路的第一连接部161和第二连接部162。驱动装置15包括驱动器151以及一端与驱动器连接、另一端套设于旋转轴上的传送带152，熔断器10包括载熔件11及位于载熔件11外围的熔丝12，熔丝沿旋转轴的轴向延伸且沿载熔件的轴向间隔排布，第一连接部和第二连接部与旋转至第一连接部与第二连接部之间的熔丝电连接。可选地，第一连接部和第二连接部通过支架支撑、焊接、粘结等方式固定。在本实施例中，第一连接部与第二连接部采用插接方式固定于支撑架13上。可选地，探针卡短路保护组件还可以包括对熔断器起限定作用的限位卡箍(未绘出)。限位卡箍卡在套设于旋转轴上的熔断器的两端，可以防止熔断器沿旋转轴轴向滑动。可选地，旋转轴两端的横截面直径小于中间段的横截面直径。端部直径略小于中间段的直径，可以更好的将旋转轴放置于支撑架上，防止旋转轴的轴向滑动，对旋转轴起到限位的作用。可选地，熔断器中的熔丝可以等间距的设置于载熔件的外围或者内部，熔丝可以通过磁吸、钩挂、嵌套的方式固定在载熔件上。具体的，载熔件选用永磁体材料，熔丝采用铁、钴、镍、钕等磁性材料包覆，通过熔丝与载熔件之间的磁力将熔丝吸附在载熔件上或通过在载熔件上设置挂钩，将熔丝通过钩挂的方式，固定在载熔件上；还可以在载熔件上设置凹槽或针孔，通过嵌套方式将熔丝固定与载熔件上。作为示例，如图2所示，本实施例所提供的熔断器10包括载熔件11以及设置于外围的6根熔丝12。通过磁吸方式，将6根熔丝12吸附固定于载熔件外圆周。可选地，探针卡短路保护组件可以通过手动驱动或自动驱动更换熔丝。本实施例所提供的探针卡短路保护组件，能够自动切换熔丝。当熔断器需要更换熔丝时，探针台控制驱动器151转动，驱动器151通过传送带152带动旋转轴14转动，旋转轴14旋转熔断器10，当下一根熔丝旋转至第一连接部及第二连接部之间，与第一连接部和第二连接部电连接时，熔丝完成更换。本实施例还提供了一种自动切换熔丝的探针测试装置，所述探针测试装置包括本实施例所提供的探针卡短路保护组件以及用于测试芯片的探针卡和放置芯片的探针台，探针卡短路保护组件通过供电电路与探针卡及探针台电连接。作为示例，如图3(a)所示，本实施例所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡短路保护组件，其特征在于，所述探针卡短路保护组件包括旋转轴、用于支撑该旋转轴的支撑架、套设于该旋转轴上的熔断器、驱动所述旋转轴的驱动装置以及用于电连接所述熔断器与供电电路的第一连接部和第二连接部；所述熔断器包括载熔件及若干根熔丝，所述载熔件固定套设于所述旋转轴上，若干根所述熔丝沿所述旋转轴的轴向延伸且沿所述载熔件的周向间隔排布；所述第一连接部和第二连接部与旋转至第一连接部与第二连接部之间的熔丝电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种探针卡短路保护组件，其特征在于，所述探针卡短路保护组件包括旋转轴、用于支撑该旋转轴的支撑架、套设于该旋转轴上的熔断器、驱动所述旋转轴的驱动装置以及用于电连接所述熔断器与供电电路的第一连接部和第二连接部；所述熔断器包括载熔件及若干根熔丝，所述载熔件固定套设于所述旋转轴上，若干根所述熔丝沿所述旋转轴的轴向延伸且沿所述载熔件的周向间隔排布；所述第一连接部和第二连接部与旋转至第一连接部与第二连接部之间的熔丝电连接。


2.根据权利要求1所述的探针卡短路保护组件，其特征在于，所述探针卡短路保护组件还包括对熔断器进行限位的限位卡箍。


3.根据权利要求1所述的探针卡短路保护组件，其特征在于，所述驱动装置至少包括驱动器以及与一端所述驱动器连接，另一端套设于旋转轴上的传送带。


4.根据权利要求1所述的探针卡短路保护组件，其特征在于，所述驱动装置包括手动驱动。

<...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯天宇，周杰，田茂，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32