【技术实现步骤摘要】
一种显示面板剥离装置和显示面板剥离方法
本专利技术属于显示面板工艺设备
,涉及一种显示面板剥离装置,还涉及一种显示面板剥离方法。
技术介绍
在AMOLED(Active-matrixorganiclight-emittingdiode,有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体)显示面板制作流程中,在干法蚀刻或湿法蚀刻工艺后,需要利用剥离液将未发生反应的光刻胶进行剥离,以形成最终所需的图案。湿法剥离主要利用有机溶剂与光刻胶的反应,通过浸透、膨胀之后使其脱离并溶解。
技术实现思路
本专利技术的目的是要提供一种显示面板剥离装置,能够提高剥离质量。为达到上述目的,本专利技术采用的技术方案是:本专利技术提供了一种显示面板剥离装置,它包括剥离单元,所述剥离单元包括:输送组件,所述显示面板设置于所述输送组件上,所述显示面板所在的平面与水平面呈锐角;喷淋组件,所述喷淋组件用于向所述显示面板上表面喷淋剥离液。可选地,所述喷淋组件包括喷嘴、储液槽以及泵机构,所述喷嘴为扇形喷 ...
【技术保护点】
1.一种显示面板剥离装置,它包括剥离单元(5),其特征在于,所述剥离单元(5)包括:/n输送组件(9),所述显示面板设置于所述输送组件(9)上,所述显示面板所在的平面与水平面呈锐角;/n喷淋组件(10),所述喷淋组件(10)用于向所述显示面板上表面喷淋剥离液。/n
【技术特征摘要】
1.一种显示面板剥离装置,它包括剥离单元(5),其特征在于,所述剥离单元(5)包括:
输送组件(9),所述显示面板设置于所述输送组件(9)上,所述显示面板所在的平面与水平面呈锐角;
喷淋组件(10),所述喷淋组件(10)用于向所述显示面板上表面喷淋剥离液。
2.根据权利要求1所述的显示面板剥离装置,其特征在于:所述喷淋组件(10)包括喷嘴(11)、储液槽(15)以及泵机构,所述喷嘴(11)为扇形喷嘴,所述储液槽(15)用于存放剥离液,所述泵机构连接在所述喷嘴(11)和所述储液槽(15)之间。
3.根据权利要求1所述的显示面板剥离装置,其特征在于:所述剥离单元(5)包括在输送方向上依次设置的至少两个剥离腔室(18),至少两个所述剥离腔室(18)之间为高压/低压组合喷淋。
4.根据权利要求3所述的显示面板剥离装置,其特征在于:对应于所述剥离腔室(18)设置有储液槽(15),所述储液槽(15)用于存放剥离液,所述储液槽(15)与所述剥离腔室(18)相连接,前序的所述储液槽(15)和后序的所述储液槽(15)依次相连接。
5.根据权利要求4所述的显示面板剥离装置,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋新,李晓波,施利君,
申请(专利权)人:苏州晶洲装备科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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