容器以及监测泄漏的系统、设备技术方案

本公开涉及一种容器、监测泄漏的系统及设备。容器用以将物件放置于其中。前述容器包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构以及检测液体感测器。盖体位于前述容器本体上方。防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。

Containers and systems and equipment for monitoring leakage

【技术实现步骤摘要】
容器以及监测泄漏的系统、设备
本公开实施例涉及一种容器、监测泄漏的系统及设备，特别涉及一种具有防撞部的容器。
技术介绍
光刻胶(photoresist；PR)是半导体产业中关键的要素。在半导体制造过程的各阶段中使用光刻胶以在晶圆上形成图案。可手动替换光刻胶瓶(例如容纳用于半导体制造的光刻胶的瓶子)以进行重新填入/替换光刻胶。然而，手动替换光刻胶瓶是耗时的且成本不菲，易受人为失误所影响及受损。
技术实现思路
本公开实施例提供一种容器，包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构以及检测液体感测器。盖体位于前述容器本体上方。防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。本公开实施例提供一种监测泄漏的系统，包括：中央控制器、通信网络、容器以及通信装置。前述容器包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构、以及检测液体感测器。前述盖体位于前述容器本体上方。前述防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。前述配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。前述检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。前述通信装置被配置以通过前述通信网络与前述中央控制器进行通信。本公开实施例提供一种监测泄漏的设备，包括：容器本体、盖体、检测液体感测器以及液体收集孔。前述容器本体的底部包括下防撞部。前述盖体位于前述容器本体上方，且包括上防撞部。前述检测液体感测器被配置以检测来自放置于前述容器本体中的物件的泄漏。前述液体收集孔位于前述容器本体的底面，且配置以收集来自前述物件的泄漏。前述检测液体感测器位于前述液体收集孔中。附图说明根据以下的详细说明并配合说明书附图以更加了解本专利技术实施例的概念。应注意的是，根据本产业的标准惯例，附图中的各种部件未必按照比例绘制。事实上，可能任意地放大或缩小各种部件的尺寸，以做清楚的说明。图1A至图1C示出根据一些实施例的示范光刻胶容器的不同视图。图2A至图2B示出根据一些实施例的示范容器底部的俯视图和剖视图。图3A至图3B示出根据一些实施例的示范下防撞部的俯视图和剖视图。图4A至图4B示出根据一些实施例的示范位置锁定销的剖视图。图5示出根据一些实施例的示范系统。图6示出用以实施各种实施例的范例电脑系统的视图。附图标记说明：100、110、120视图101光刻胶瓶101-1瓶顶101-2瓶底102盖体103容器本体104下防撞部105载体插入部106底平台107-1、107-2插入开口108配对识别装置109上防撞部111、302开口112防摇晃部112-1第一部分112-2第二部分113-1、113-2铰链114、303、403凹陷部150容器200、300俯视图202元件203-1、203-2、203-3位置锁定销204液体收集孔205集成电路206检测液体感测器250、350剖视图301周缘400、450放大剖视图401销帽402销本体500系统501容器502中央控制器503、503-1、503-2接收装置504通信网络600电脑系统602输入/输出接口(使用者输入/输出接口)603输入/输出装置(使用者输入/输出装置)604处理器606通信基础设施608主存储器610次级存储器612硬盘驱动机614可移动存储驱动机618、622可移动存储单元620接口624通信接口626通信路径628远端装置、网络、实体A角度2-2’、3-3’方向4-4’中心线具体实施方式以下的公开内容提供许多不同的实施例或范例以实施本公开实施例的不同部件。以下叙述构件及配置的特定范例，以简化本公开实施例的说明。这些特定的范例仅为示范而并非用以限定。另外，在以下的公开内容的不同范例中可能重复使用相同的参考符号及/或标记。这些重复是为了简化与清晰的目的，并非用以限定所讨论的不同实施例及/或结构之间的关系。在半导体制造中，光刻胶(PR)是形成各种图案/特征的关键要素。光刻胶保存在瓶中，其分布于制造设施的不同位置。可使用塑胶盖/袋来包覆光刻胶瓶，以防止光刻胶受损/溢出的可能。在使用时，光刻胶瓶被放置在容器中，其保持光刻胶瓶在适当的定向(orientation)(例如瓶子的顶部朝上)，以防止光刻胶溢出/泄漏。当光刻胶瓶是空的或光刻胶量少时，技术员可搬移光刻胶瓶，例如根据报告，手动地将光刻胶瓶移动至特定位置(例如放置空光刻胶瓶的仓库)，并手动重新填入光刻胶。可通过扫描分配至光刻胶瓶上的条码，来记录/确认光刻胶瓶的替换。然而，在替换及运送光刻胶瓶的期间，极少或没有对光刻胶瓶提供保护以免于碰撞及/或不当的人为操作，而使得光刻胶瓶可能易受损或光刻胶溢出。扫描条码亦需要技术员的注意，且难以检测出人为失误(例如误放不正确的光刻胶瓶)。因此，替换及运送光刻胶瓶需要不理想的大量时间及劳力，且成本不菲。另外，当发生损害及/或溢出时，难以检测损害/溢出的位置与时间。本公开实施例描述一种监测光刻胶泄漏的设备及系统。光刻胶瓶容器(或称“容器”以方便说明)可保持光刻胶瓶于适当的定向，并防止潜在的光刻胶瓶碰撞和光刻胶泄漏。前述容器可于使用及运送期间对光刻胶瓶提供保护。前述容器能够自动化替换、运送并记录光刻胶瓶。前述容器亦可允许检测光刻胶泄漏、以及与中央控制器进行关于容器状态的双向通信。当发生光刻胶泄漏时，容器可与中央控制器及/或其他装置进行通信，并传输溢出/泄漏的详细信息(例如光刻胶瓶/容器的识别(identification；ID)码、位置及时间)。因此，可轻易检测出光刻胶溢出/泄漏。通过容器的保护，光刻胶瓶较不易与容器的侧壁和其他部分碰撞。因此，光刻胶瓶较不易产生光刻胶溢出/泄漏。另外，容器可通过适当的配对识别装置(例如射频识别方法、蓝牙方法等)确认正确的光刻胶瓶放置于容器中，使得替换/重新填入光刻胶瓶较不易受人为失误影响。容器可还包括上防撞部及下防撞部，其可防止光刻胶瓶被放置于偏离垂直方向的定向。容器可还包括防摇晃部，其可防止光刻胶瓶在容器中跳动及移动。通过所公开的容器及方法，光刻胶瓶较不易受损，以及发生光刻胶溢出/泄漏。替换及运送光刻胶瓶可较不耗时且降低成本。图1A、图1C示出不同观察角度的盖体关闭的示范容器的不同视图100、120，而图1B示出根据一些实施例的盖体开启的示范容器的视图110。如图1A至图1C所示，容器150可包括盖体102、容器本体103、下防撞部104本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种容器，包括：/n一容器本体；/n一盖体，位于该容器本体上方；/n一防撞部，附接至该容器本体和该盖体的其中一或多者，且配置以缓冲一冲击力；/n一配对识别机构，配置以检测放置于该容器本体中的一物件；以及/n一检测液体感测器，配置以检测来自该物件的一泄漏。/n

【技术特征摘要】
20180731 US 62/712,426;20181227 US 16/233,7011.一种容器，包括：
一容器本体；
一盖体，位于该容器本体上方；
一防撞部，附接至该容器本体和该盖体的其中一或多者，且配置以缓冲一冲击力；
一配对识别机构，配置以检测放置于该容器本体中的一物件；以及
一检测液体感测器，配置以检测来自该物件的一泄漏。


2.如权利要求1所述的容器，其中该防撞部包括一上防撞部和一下防撞部，该上防撞部位于该盖体上，且该下防撞部位于该容器本体的一底部上。


3.如权利要求2所述的容器，还包括一防摇晃部，配置以防止在该容器本体和该盖体之间的相对运动，并减少该物件在该上防撞部和该下防撞部之间的运动。


4.如权利要求2所述的容器，其中该下防撞部包括一凹陷部，配置以围绕该物件的一底面。


5.如权利要求1所述的容器，其中：
该容器本体的一底部的一表面从该容器本体的该底部的一边界朝该容器本体的该底部的一中心下降；以及
在该容器本体的该底部的该表面和一水平面之间的一角度介于约5度至约45度之间。


6.如权利要求5所述的容器，还包括一指示器部，配置以根据该配对识别机构的检测结果指示该物件的一状态，其中该物件的该状态包...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈裕凯，于之跃，吴立仁，王希鸣，高克斌，叶书佑，锺佳宏，陈文雄，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71