晶粒容器工作站、晶粒容器处理的系统及方法技术方案

本公开提供一种晶粒容器工作站、晶粒容器处理的系统及方法，工作站包括清洁站、检查站以及输送机。清洁站配置以清洁晶粒容器，其中晶粒容器配置以固定半导体晶粒；检查站配置以在清洁后检查晶粒容器以判断晶粒容器是否被识别为通过检查；输送机配置以在清洁站以及检查站之间移动晶粒容器。

System and method of working station and treatment of grain container

【技术实现步骤摘要】
晶粒容器工作站、晶粒容器处理的系统及方法
本公开涉及一种处理晶粒容器工作站的系统及方法。
技术介绍
现代制造过程被高度自动化以操纵材料以及装置并产生成品。然而，质量控制、包装以及维护过程经常依赖于人为技能、知识以及专业，以使在制造期间以及作为成品时加工和检查制成品。
技术实现思路
根据本公开的一些实施例，提供一种晶粒容器工作站，包括清洁站、检查站以及输送机。清洁站配置以清洁晶粒容器，其中晶粒容器被配置以固定半导体晶粒；检查站配置以在清洁后检查晶粒容器以判断晶粒容器是否被识别为通过检查；输送机配置以在清洁站以及检查站之间移动晶粒容器。根据本公开的一些实施例，提供一种晶粒容器处理的系统，包括晶粒容器以及工作站。晶粒容器配置以固定半导体晶粒；工作站配置以自动方式处理晶粒容器，工作站包括清洁站、检查站、输送机。清洁站配置以清洁晶粒容器；检查站配置以在清洁后检查晶粒容器以判断晶粒容器是否被识别为通过检查；输送机配置以在清洁站以及检查站之间移动晶粒容器，其中输送机配置以基于晶粒容器是否被识别为通过检查而将晶粒容器移动到通过出口或本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶粒容器工作站，包括：/n一清洁站，配置以清洁一晶粒容器，其中该晶粒容器配置以固定一半导体晶粒；/n一检查站，配置以在清洁后检查该晶粒容器，以判断该晶粒容器是否被识别为通过检查；以及/n一输送机，配置以在该清洁站与该检查站之间移动该晶粒容器。/n

【技术特征摘要】
20180731 US 62/712,656;20190722 US 16/518,3521.一种晶粒容器工作站，包括：
一清洁站，配置以清洁一晶粒容器，其中该晶粒容器配置以固定一半导体晶粒；
一检查站，配置以在清洁后检查该晶粒容器，以判断该晶粒容器是否被识别为通过检查；以及
一输送机，配置以在该清洁站与该检查站之间移动该晶粒容器。


2.一种晶粒容器处理的系统，包括
一晶粒容器，配置以固定一半导体晶粒；
一工作站，配置以一自动方式处理该晶粒容器，该工作站包括：
一清洁站，配置以清洁该晶粒容器；
一检查站，配置以在清洁后检查该晶粒容器以判断该晶粒容器是否被识别为通过检查；以及
一输送机，配置以在该清洁站与该检查站之间移动该晶粒容器，其中该输送机配置以基于该晶粒容器是否被识别为通过检查而将该晶粒容器移动到一通过出口或一未通过出口。


3.如权利要求2所述的晶粒容器处理的系统，其中该检查站配置以检查该晶粒容器在该晶粒容器上的两个接脚之间的一距离。


4.如权利要求3所述的晶粒容器处理的系统，其中该输送机配置以响应于该两个接脚之间的该距离不是0.075毫米而将该晶粒容器移动到该...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭宗圣，黄冠维，黄志宏，朱延安，刘旭水，白峻荣，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71