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本公开提供一种晶粒容器工作站、晶粒容器处理的系统及方法，工作站包括清洁站、检查站以及输送机。清洁站配置以清洁晶粒容器，其中晶粒容器配置以固定半导体晶粒；检查站配置以在清洁后检查晶粒容器以判断晶粒容器是否被识别为通过检查；输送机配置以在清洁站...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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