一种反应检测装置及气体燃烧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种反应检测装置及气体燃烧装置，所述反应检测装置用于所述气体燃烧装置，所述气体燃烧装置包括反应腔室；所述反应检测装置用于检测所述反应腔室内的反应状态信息，还包括声音采集组件和分贝分析组件，其中，所述声音采集组件设置于所述反应腔室的外部，用于采集所述反应腔室内气体燃烧的声音信息，并将所述声音信息传输给所述分贝分析组件；所述分贝分析组件与所述声音采集组件连接，用于根据所述声音信息获取所述反应腔室内气体的燃烧状态信息。所述气体燃烧装置能够减少反应腔室内气体燃烧异常时的误报警，且结构简单，易于实施。

A reaction detection device and gas combustion device

【技术实现步骤摘要】
一种反应检测装置及气体燃烧装置
本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种反应检测装置及气体燃烧装置。
技术介绍
在半导体制造过程中，需要用到各种气体参与燃烧反应，参与燃烧反应的气体比例通常都有严格的要求，但是由于通入反应腔室的气体受外力影响，会导致参与化学反应或燃烧反应的气体比例不满足要求，因此，必须对参与燃烧的气体必须进行实时监测。现有技术中，如附图1所示，在传统炉管中检测气体燃烧装置的方法是：分别在加热组件12上开设第一孔洞13和在碳化硅管16上开设第二孔洞14，并且使得第一孔洞13和第二孔洞14对齐，使得火焰传感器15通过第一孔洞13和第二孔洞14能够靠近反应腔室11。以氢氧燃烧装置为例说明，当氢氧在反应腔室11内发生燃烧反应2H2+O2＝2H2O时，会有火焰产生，因此，能够用火焰传感器15监测反应腔室11内是否有燃烧反应。但是，如附图2所示，由于外力使得所述第一孔洞13和第二孔洞14错开而不能对齐时，比常规的PM维护，当PM碰到所述氢氧燃烧装置时，第一孔洞13和第二孔洞14可能会错开，这样会造成火焰传感器15检测的区域本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种反应检测装置，用于检测反应腔室内的反应状态信息，其特征在于，所述反应检测装置包括声音采集组件和分贝分析组件，其中，/n所述声音采集组件设置于所述反应腔室的外部，用于采集所述反应腔室内的声音信息，并将所述声音信息传输给所述分贝分析组件；/n所述分贝分析组件与所述声音采集组件连接，并用于根据所述声音信息得到所述反应腔室内的所述反应状态信息。/n

【技术特征摘要】
1.一种反应检测装置，用于检测反应腔室内的反应状态信息，其特征在于，所述反应检测装置包括声音采集组件和分贝分析组件，其中，
所述声音采集组件设置于所述反应腔室的外部，用于采集所述反应腔室内的声音信息，并将所述声音信息传输给所述分贝分析组件；
所述分贝分析组件与所述声音采集组件连接，并用于根据所述声音信息得到所述反应腔室内的所述反应状态信息。


2.根据权利要求1所述的反应检测装置，其特征在于，所述分贝分析组件包括声音数据库，所述声音数据库用于存储不同反应状态下所述反应腔室内发生反应所产生的预设声音信息；
所述分贝分析组件用于根据所述声音信息以及所述声音数据库得到所述反应腔室内的所述反应状态信息。


3.根据权利要求1所述的反应检测装置，其特征在于，还包括隔音组件，所述隔音组件用于隔离外界对反应腔室的干扰声音。


4.根据权利要求1所述的反应检测装置，其特征在于，还包括显示组件，所述显示组件与所述分贝分析组件连接；所述显示组件用于接收所述分贝分析组件得到的所述反应腔室内的所述反应状态信息，并显示出来。


5.一种气体燃烧装置，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的反应检测装置。

【专利技术属性】
技术研发人员：喻泽锋，周冬成，吴宗祐，林宗贤，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32