致动器、阀、流体供给系统、以及半导体制造装置制造方法及图纸

提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。

Actuators, valves, fluid supply systems, and semiconductor manufacturing devices

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】致动器、阀、流体供给系统、以及半导体制造装置
本专利技术涉及致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。
技术介绍
以往，在通过驱动流体进行开闭的阀中，追求以恒速使阀开闭(例如参照专利文献1)。在专利文献1所公开的阀中，在空气驱动部设置两个针阀及止回阀，从而使致动器的动作速度的偏差减少，并使阀的开闭速度的偏差减少。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利公开2015-068438号公报
技术实现思路
(一)要解决的技术问题因此，在专利文献1的阀中，因于空气驱动部具有两个针阀及止回阀，因此系统整体的结构复杂。在此，本专利技术的一个目的在于提供一种能够以简易的结构使动作速度的不均减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。(二)技术方案为了解决上述目的，本专利技术一实施方式的致动器具备：壳体；减压阀，设置于所述壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及活塞，设置于所述壳体内并与所述壳体一起形成压力室，通过由所述减压阀减压的所述预定压力的驱动流本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种致动器，具备：/n壳体；/n减压阀，设置于所述壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及/n活塞，设置于所述壳体内并与所述壳体一起形成压力室，通过被减压的所述预定压力的驱动流体进行驱动。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170704 JP 2017-1314841.一种致动器，具备：
壳体；
减压阀，设置于所述壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及
活塞，设置于所述壳体内并与所述壳体一起形成压力室，通过被减压的所述预定压力的驱动流体进行驱动。


2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，
所述壳体内还具备：止回阀，在将驱动流体导入至所述压力室时会成为闭状态，在将驱动流体从所述压力室排出至外部时会成为开状态，将来自所述压力室的驱动流体排出至外部。


3.根据权利要求2所述的致动器，其特征在于，
在所述壳体中，在所述止回阀的正上方，形成有用于使朝向所述止回阀的驱动流体、或来自所述止回阀的驱动流体流动的驱动流体通路。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的致动器，其特征在于，构成为：
所述壳体形成有第一插入孔、以及与所述第一插入孔同轴的第二插入孔，所述第一插入孔与所述第二插入孔彼此连通，所述第一插入孔的开口侧及所述第二插入孔的开口侧形成有内螺纹部；
所述减压阀具备设置于所述第二插入孔的提动部、设置于所述第一插入孔的减压部；
所述提动部具有第一弹簧按压件、提动件、第一弹簧、第一固定螺丝；
所述减压部具有第二弹簧按压件、减压活塞、第二弹簧、第二固定螺丝；
所述第一弹簧按压件以能够滑动移动的方式插入至所述第二插入孔，所述第二插入孔中的比所述第一弹簧按压件更靠内侧的空间构成驱动流体所流入的流入室；
所述提动件位于所述流入室内，并具有：提动件本体，相对于所述壳体中的所述第一插入孔与第二插入孔连通的部分的周缘部进行抵接及远离；以及杆，从所述提动件本体的前端朝向所述第一插入孔内延伸；
所述第一弹簧设置于所述第一弹簧按压件与所述提动件之间，对所述提动件朝向所述减压部施力；
所述第一固定螺丝与所述第一插入孔的所述内螺纹部螺纹结合，将所述第一弹簧按压件支承于所述壳体；
所述第二弹簧按压件以能够滑动移动的方式插入至所述第二插入孔；
所述减压活塞以能够移动的方式设置于比所述第二弹簧按压件更靠所述第一插入孔的内侧，所述第一插入孔中的比所述减压活塞更靠内侧的空间构成驱动流体所流入的减压室，所述杆的前端抵接于所述减压活塞；
所述第二弹簧设置于所述第二弹簧按压件与所述减压活塞之间，...

【专利技术属性】
技术研发人员：三浦尊，筱原努，中田知宏，稻田敏之，渡边一诚，近藤研太，佐藤秀信，汤原知子，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本;JP