【技术实现步骤摘要】
物镜的清洗装置和显微镜
本技术涉及显微镜领域，尤其涉及一种物镜的清洗装置和具有该物镜清洗装置的显微镜。
技术介绍
光学显微镜(英文OpticalMicroscope，简写OM)是利用光学原理，把人眼所不能分辨的微小物体放大成像，以供人们提取微细结构信息的光学仪器。光学显微镜已被广泛的应用在半导体领域，用于检测晶圆上是否存在缺陷。现有的光学显微镜的光学系统主要包括目镜、物镜等部件，其中，物镜是决定显微镜性能的最重要部件，安装在物镜转换器上，接近被观察的物体，故叫做物镜或接物镜。在光学显微镜的使用过程中，随着使用时间的增长，物镜上容易粘附颗粒或污染物，对检测过程会产生影响，因而需要定期对物镜进行清洁，但是现有的清洗方式容易对生产过程带来隐患。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是怎样防止现有的清洗方式对生产过程带来的隐患。为了解决上述问题，本技术提供了一种物镜的清洗装置，包括：内腔体和位于内腔体外侧的外腔体，所述内腔体具有腔体壁，内腔体的腔体壁围绕的空间构成密闭的内腔室，所述内腔室中用...
【技术保护点】
1.一种物镜的清洗装置，其特征在于，包括：内腔体和位于内腔体外侧的外腔体，所述内腔体具有腔体壁，内腔体的腔体壁围绕的空间构成密闭的内腔室，所述内腔室中用于容纳待清洗的物镜，所述外腔体具有腔体壁，所述外腔体的腔体壁与内腔体的腔体壁接触构成密闭的外腔室；/n所述内腔体的腔体壁上设置有气体供入口，用于向内腔室中供入清洗气体，所述清洗气体用于对物镜进行清洗，将物镜上的颗粒或污染物通过打开的单向阀门带到外腔室；/n所述内腔体的腔体壁上还设置有单向阀门，单向阀门打开时将内腔室和外腔室连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种物镜的清洗装置，其特征在于，包括：内腔体和位于内腔体外侧的外腔体，所述内腔体具有腔体壁，内腔体的腔体壁围绕的空间构成密闭的内腔室，所述内腔室中用于容纳待清洗的物镜，所述外腔体具有腔体壁，所述外腔体的腔体壁与内腔体的腔体壁接触构成密闭的外腔室；
所述内腔体的腔体壁上设置有气体供入口，用于向内腔室中供入清洗气体，所述清洗气体用于对物镜进行清洗，将物镜上的颗粒或污染物通过打开的单向阀门带到外腔室；
所述内腔体的腔体壁上还设置有单向阀门，单向阀门打开时将内腔室和外腔室连通。
2.如权利要求1所述的物镜的清洗装置，其特征在于，所述内腔体的腔体壁包括内腔体顶部壁、内腔体底部壁和位于内腔体顶部壁和内腔体底部壁之间的内腔体侧壁，内腔体顶部壁、内腔体底部壁和内腔体侧壁围绕的空间构成密闭的内腔室，所述内腔体顶部壁上设置有腔体门，所述腔体门在物镜深入内腔室时打开，并在物镜深入内腔室后关闭；所述的物镜的清洗装置还包括，与内腔体和外腔体连接的升降装置，所述升降装置用于控制内腔体和外腔体上升或下降。
3.如权利要求2所述的物镜的清洗装置，其特征在于，所述外腔体的腔体壁包括外腔体顶部壁、外腔体底部壁、外腔体外侧壁、外腔体内侧壁，所述外腔体顶部壁尺寸大于内腔体顶部壁的尺寸，所述外腔体顶部壁上具有开口，所述外腔体顶部壁位于内腔体顶部壁上方，外腔体顶部壁上的开口位于外腔体顶部壁上的腔体门的上方，开口的尺寸大于腔体门的尺寸，外腔体内侧壁的高度小于外腔体外侧壁的高度，所述外腔体外侧壁位于外腔体顶...
【专利技术属性】
技术研发人员：鲁泽，李俊杰，黄志凯，叶日铨，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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