【技术实现步骤摘要】
一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法
本专利技术涉及一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法。
技术介绍
CVD气相沉积法是目前生产高品质石墨烯的最佳方法,其通过封闭环境下在高温铜箔上通入含碳气体,高温分解碳原子在铜箔表面有序排列生成石墨烯,其生产的石墨烯品质高,但存在着效率低、成本高、无法规模化生产等缺点。
技术实现思路
专利技术目的:本专利技术的目的是为了解决以上现有技术的不足,提供一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,创造性的在熔融的液态金属中鼓泡生产石墨烯,实现高品质连续生产,大大提高生产效率。技术方案:本专利技术所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,包括以下步骤:1)将基体铜、镍或铜镍合金清洗后,置于气相沉积炉的石墨坩埚中,将气相沉积炉抽真空,再向系统中通入氮气至正压,反复操作三次至系统氮气压力保持为0.1Mpa以上;2)按800-1200Nm3/h速度通入氮气,启动电加热系统,将铜、镍或铜镍合金加热熔融为铜、镍或铜镍熔融液,并升温至1100-1500度;3)向 ...
【技术保护点】
1.一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,其特征在于,包括以下步骤:/n1)将基体铜、镍或铜镍合金清洗后,置于气相沉积炉的石墨坩埚中,将气相沉积炉抽真空,再向系统中通入氮气至正压,反复操作三次至系统氮气压力保持为0.1Mpa以上;/n2)按800-1200Nm
【技术特征摘要】
1.一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)将基体铜、镍或铜镍合金清洗后,置于气相沉积炉的石墨坩埚中,将气相沉积炉抽真空,再向系统中通入氮气至正压,反复操作三次至系统氮气压力保持为0.1Mpa以上;
2)按800-1200Nm3/h速度通入氮气,启动电加热系统,将铜、镍或铜镍合金加热熔融为铜、镍或铜镍熔融液,并升温至1100-1500度;
3)向熔融液中按20-100Nm3/h通入气态烷烃,石墨烯随气体飘浮至熔融液面上,其中,每小时通入气态烷烃的体积为熔融液体积的200-300%;
4)停止通入气态烷烃后,停止加热,直到熔融液冷却凝固后停止通入氮气,所得产品经三氯化铁和盐酸混合溶液进行酸洗去除基体,再清洗后干燥得石墨烯成品。
2.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,其特征在于,气态烷烃为天燃气、甲烷、乙炔或丙...
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