一种XY自校正顶针模组制造技术

本实用新型专利技术公开了一种XY自校正顶针模组，包括安全防护罩、XY轴运动机构、Z轴运动机构和顶针运动机构，所述XY轴运动机构上端设置有Z轴运动机构，所述Z轴运动机构上端设置有顶针运动机构，所述Z轴运动机构上端设置有安全防护罩，所述XY轴运动机构由X轴运动机构与Y轴运动机构组成，所述X轴运动机构由X轴传动电机、偏心轮传动机构、X轴交叉滚柱轴承、Y轴传动电机、弹簧推力机构、移动工作平台、Y轴交叉滚柱轴承与XY校正平台底板组成，这样大大解放了操作员的双手，降低人力成本，提高生产效率，其结果能够满足半导体芯片高速度、高精度、高可靠性、高自动化的芯片生产工艺要求。

A XY self-tuning thimble module

【技术实现步骤摘要】
一种XY自校正顶针模组
本技术属于工业自动化
，具体涉及一种XY自校正顶针模组。
技术介绍
顶针模组是固晶机中用于协助对摆臂吸嘴在晶圆盘蓝膜中取芯片的机构，当吸嘴在芯片的上方时，顶针伸出刺穿粘附芯片的蓝膜，将芯片转移至吸嘴，随摆臂吸嘴将芯片转移出去。伴随半导体芯片(LED)类的发展，以及国家对半导体产业的大力支持，因此市场对半导体芯片(LED)类封装类设备的需求日益增长，这就要求对设备速度、产能、自动化程度要求越来越高。传统的顶针模组不能具备自动升降功能，不能使用在晶圆盘自动上下料的设备中；同时当设备作顶针与吸嘴位置调校时，传统的顶针模组是依靠手动微调，通过操作人员肉眼的观察与人为经验手动去调校位置，这种方式不能适应高精度、高速度、高自动化、高可靠性要求的设备。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种XY自校正顶针模组，以解决上述
技术介绍
中提出的传统的顶针模组不能具备自动升降功能，不能使用在晶圆盘自动上下料的设备中；同时当设备作顶针与吸嘴位置调校时，传统的顶针模组是依靠手动微调，通过操作人员本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种XY自校正顶针模组，包括安全防护罩(1)、XY轴运动机构(2)、Z轴运动机构(3)和顶针运动机构(4)，其特征在于：所述XY轴运动机构(2)上端设置有Z轴运动机构(3)，所述Z轴运动机构(3)上端设置有顶针运动机构(4)，所述Z轴运动机构(3)上端设置有安全防护罩(1)，所述XY轴运动机构(2)由X轴运动机构与Y轴运动机构组成，所述X轴运动机构由X轴传动电机(5)、偏心轮传动机构(6)、X轴交叉滚柱轴承(7)、Y轴传动电机(8)、弹簧推力机构(9)、移动工作平台(10)、Y轴交叉滚柱轴承(11)与XY校正平台底板(12)组成，所述Y轴运动机构由Y轴偏心轮(13)、X轴推挡块(14)、X...

【技术特征摘要】
1.一种XY自校正顶针模组，包括安全防护罩(1)、XY轴运动机构(2)、Z轴运动机构(3)和顶针运动机构(4)，其特征在于：所述XY轴运动机构(2)上端设置有Z轴运动机构(3)，所述Z轴运动机构(3)上端设置有顶针运动机构(4)，所述Z轴运动机构(3)上端设置有安全防护罩(1)，所述XY轴运动机构(2)由X轴运动机构与Y轴运动机构组成，所述X轴运动机构由X轴传动电机(5)、偏心轮传动机构(6)、X轴交叉滚柱轴承(7)、Y轴传动电机(8)、弹簧推力机构(9)、移动工作平台(10)、Y轴交叉滚柱轴承(11)与XY校正平台底板(12)组成，所述Y轴运动机构由Y轴偏心轮(13)、X轴推挡块(14)、X轴移动滑台(15)、X轴弹簧推块(16)、Y轴移动滑台(17)、Y轴弹簧推块(18)、Y轴传动轴承(19)、Y轴轴承挡圈(20)、X轴偏心轮(21)、X轴传动轴承(22)、X轴轴承挡圈(23)、Y轴推挡块(24)、X轴传动电机(5)、X轴交叉滚柱轴承(7)、Y轴传动电机(8)、Y轴交叉滚柱轴承(11)与XY校正平台底板(12)组成，所述Z轴运动机构(3)由Z轴张力弹簧(25)、Z轴导向滑轨(26)、侧边联接板(27)、支撑联接底板(28)、张力弹簧拉杆(29)、Z轴位置传感器(31)、Z轴传动电机(32)、电机安装座(33)、Z轴偏心联杆(34)与Z轴凸轮随动器(35)组成，所述顶针运动机构(4)由顶针帽(36)、顶针传感器(37)、顶针帽真空仓(38)、顶针安装导杆(39)、顶针移动导块(40)、顶针弹簧柱(41)、顶针帽防护罩(42)、顶针帽安装座(43)、顶针传动电机(44)、电机安装板(45)、顶针传动轴承(46)、顶针传动导块(47)、O型密封圈(48)、顶针(49)、顶针帽防撞环(50)、防撞环内套(51)、真空仓紧固螺丝(52)、张力弹簧拉柱(53)、直线导轨(54)、直线滑块(55)、顶针位移遮光片(56)、弹簧柱螺帽(57)、顶针拉簧(58)、顶针紧固帽(59)、顶针夹爪(60)、外导电环(61)、防撞环弹簧(62)、内导电环(63)、星形密封圈(64)、Z轴位移遮光片(65)、顶针偏心轮(66)、轴承限位埠(67)组成，所述顶针帽(36)上端设置有蓝膜(68)，所述蓝膜(68)上端设置有芯片(69)，所述顶针帽(36)下端设置有抽真空(70)，所述抽真空(70)下端设置有顶针帽偏心轮(71)。


2.根据权利要求1所述的一种XY自校正顶针模组，其特征在于：所述X轴传动电机(5)一端设置有偏心轮传动机构(6)，所述偏心轮传动机构(6)一侧设置有X轴交叉滚柱轴承(7)，所述X轴交叉滚柱轴承(7)下端设置有XY校正平台底板(12)，所述XY校正平台底板(12)一侧设置有Y轴交叉滚柱轴承(11)，所述XY校正平台底板(12)上端设置有移动工作平台(10)，所述移动工作平台(10)一侧设置有弹簧推力机构(9)，所述X轴传动电机(5)一侧设置有Y轴传动电机(8)。


3.根据权利要求1所述的一种XY自校正顶针模组，其特征在于：所述XY校正平台底板(12)上端设置有Y轴交叉滚柱轴承(11)，所述Y轴交叉滚柱轴承(11)上端设置有Y轴弹簧推块(18)，所述Y轴弹簧推块(18)上端设置有Y轴移动滑台(17)，所述Y轴移动滑台(17)上端设置有X轴弹簧推块(16)，所述X轴弹簧推块(16)上端设置有X轴交叉滚柱轴承(7)，所述X轴交叉滚柱轴承(7)上端设置有X轴移动滑台(15)，所述X轴移动滑台(15)上端设置有X轴推挡块(14)。


4.根据权利要求1所述的一种XY自校正顶针...

【专利技术属性】
技术研发人员：王体，李辉，
申请(专利权)人：深圳市诺泰自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44