一种用于操纵衬底的工具及包含该工具的外延生长炉制造技术

本实用新型专利技术涉及操纵外延生长炉的衬底的外延生长炉设备，具体涉及一种用于操纵衬底的工具及包含该工具的外延生长炉。包括托盘、机械臂和悬臂；悬臂在一端设有卡合部，托盘上设有与卡合部相配合的配合部；悬臂卡合部与托盘卡合部中间夹了一层弹性材料，并通过压紧块与螺钉进行固定；悬臂另一端通过连杆与机械臂相连；悬臂两侧设有平衡装置与定位装置。本实用新型专利技术还提供了一种外延生长炉，包含上述的工具。本实用新型专利技术降低了使用要求；让衬底的搬运更加准确，能够以很高精度把衬底放在反应室基座上；让搬运过程更加的平稳，减小了衬底损伤的风险；高纯度高洁净的托盘和定位块降低对反应室的洁净度影响。这对外延的质量有了很大的保证。

A tool for manipulating substrate and an epitaxial growth furnace containing the tool

【技术实现步骤摘要】
一种用于操纵衬底的工具及包含该工具的外延生长炉
本技术涉及操纵外延生长炉的衬底的外延生长炉设备，具体涉及一种用于操纵衬底的工具及包含该工具的外延生长炉。
技术介绍
在外延技术中，衬底的质量很大的影响了外延层的质量，而衬底通常需要被操纵机构从反应腔内外来回搬运，因此我们需要避免在搬运衬底中产生的对衬底的损伤，比如结构破坏和表面划伤等。一般来说，外延设备反应腔需要较高的洁净度与真空度，某些使用真空吸盘的操纵工具不仅会消耗一些特气气体，如果真空度不合适或者真空度不稳定也会对衬底造成一定的损伤，衬底受到损伤会导致外延层不规整影响外延质量。某些操纵机构的弹性元器件在高温下有可能会对反应腔洁净度有一定的影响，进而影响到外延层的纯度，因此需要一种操纵工具尽可能的洁净且不对衬底造成损伤。在某些类型的外延生长炉中，外延片要放置在反应腔的具有凹槽的基座上，而基座的位置、凹槽的位置以及衬底被放入的位置是无法被准确测量的，因此操纵衬底的工具必须要克服这一难题。在某些类型的外延生长炉中，衬底通常需要从一个低真空环境传送到反应室中，这个环境越大抽真空也就越本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于操纵衬底的工具，其特征在于，包括托盘、机械臂和悬臂；/n悬臂一端设有卡合部，托盘上设有与所述卡合部相配合的配合部；悬臂卡合部与托盘配合部中间夹了弹性材料，并通过压紧块与螺钉进行固定；悬臂另一端与机械臂相连；所述悬臂两侧设有平衡装置与定位装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于操纵衬底的工具，其特征在于，包括托盘、机械臂和悬臂；
悬臂一端设有卡合部，托盘上设有与所述卡合部相配合的配合部；悬臂卡合部与托盘配合部中间夹了弹性材料，并通过压紧块与螺钉进行固定；悬臂另一端与机械臂相连；所述悬臂两侧设有平衡装置与定位装置。


2.根据权利要求1所述的工具，其特征在于，所述定位装置包括触发杆、定位传感器和定位块；触发杆连接悬臂的卡合部；定位块与定位传感器分设于触发杆的两端，定位块位于靠近托盘的位置，定位传感器位于靠近机械臂的位置。


3.根据权利要求1所述的工具，其特征在于，所述机械臂拥有不少于三个自由度。


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【专利技术属性】
技术研发人员：沈文杰，傅林坚，周建灿，邵鹏飞，汤承伟，杨奎，潘礼钱，曹建伟，
申请(专利权)人：杭州弘晟智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33