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本实用新型涉及操纵外延生长炉的衬底的外延生长炉设备，具体涉及一种用于操纵衬底的工具及包含该工具的外延生长炉。包括托盘、机械臂和悬臂；悬臂在一端设有卡合部，托盘上设有与卡合部相配合的配合部；悬臂卡合部与托盘卡合部中间夹了一层弹性材料，并通过压...
该专利属于杭州弘晟智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州弘晟智能科技有限公司授权不得商用。

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