一种取样机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种取样机构，包括移动机构和抓取机构。所述移动机构包括液压油缸、活塞杆和固定板，所述活塞杆设置两根，上端与所述液压油缸连接，下端与所述固定板长度方向的两端垂直连接，所述抓取机构安装所述固定板下方。所述抓取机构包括安装在固定板两端下方的两个抓取单元。所述抓取单元包括调节板、安装槽、抓取气缸、抓取臂和爪；所述调节板与固定板垂直连接；所述抓取气缸安装在所述安装槽内，与所述抓取臂一侧中部连接，所述爪分别安装在抓取臂的另一侧两侧，所述爪钩与爪一体成型，整体朝向固定板长度方向，位于爪底部原理抓取臂中心的角边缘未处置。本实用新型专利技术提供了一种取样机构，在取样过程中能有效保证半导体半成品平整性。

A sampling mechanism

【技术实现步骤摘要】
一种取样机构
本技术涉及半导体生产设备
，尤其涉及一种半导体半自动生产设备中采用的取样机构。
技术介绍
半导体半自动化生产设备中，取样机构主要用于抓取半成品并提升一定高度。原有生产设备中取样机构对半成品的抓取方向如附图1所示，为沿着半成品的宽度方向进行。但是针半成品外侧边缘仅为0.1mm厚的单层或者多层金属片的情况时，采用原有的取样机构，容易造成半成品边边缘金属片以及内部区域变形，影响后续加工。
技术实现思路
本技术为克服现有技术存在的问题，提供一种取样机构，在取样过程中能有效保证半导体半成品平整性。本技术采用的技术方案是：一种取样机构，整体设置于放置槽上方，用于抓取、提升半导体半成品，包括移动机构，用作竖向往复移动驱动；以及抓取机构，具有L型的爪钩，设置于移动机构下端，与放置槽长度方向一致并平行，用于抓取半成品；其中，所述爪钩设置两组，可分别伸入到半成品内并反向向外移动，勾住半成品。进一步地，所述移动机构包括液压油缸、活塞杆和固定板，所述活塞杆设置两根，上端与所述液压油缸连接，下端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种取样机构，整体设置于放置槽上方，用于抓取、提升半导体半成品，其特征在于：包括/n移动机构，用作竖向往复移动驱动；以及/n抓取机构，具有L型的爪钩，设置于移动机构下端，与放置槽长度方向一致并平行，用于抓取半成品；/n其中，所述爪钩设置两组，可分别伸入到半成品内并反向向外移动，勾住半成品。/n

【技术特征摘要】
1.一种取样机构，整体设置于放置槽上方，用于抓取、提升半导体半成品，其特征在于：包括
移动机构，用作竖向往复移动驱动；以及
抓取机构，具有L型的爪钩，设置于移动机构下端，与放置槽长度方向一致并平行，用于抓取半成品；
其中，所述爪钩设置两组，可分别伸入到半成品内并反向向外移动，勾住半成品。


2.根据权利要求1所述的一种取样机构，其特征在于：所述移动机构包括液压油缸、活塞杆和固定板，所述活塞杆设置两根，上端与所述液压油缸连接，下端与所述固定板长度方向的两端垂直连接，所述抓取机构安装所述固定板下方。


3.根据权利要求2所述的一种取样机构，其特征在于：所述抓取机构包括安装在固定板两端下方的两个抓取单元。


4.根据权利要求3所述的一种取样机构，其特征在于：所述抓取单元包括调节板、安装槽、抓取气缸、抓取臂和爪；所述调节板沿所述固定板宽度方向设置，顶端与所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明华，邹学彬，
申请(专利权)人：成都尚明工业有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51