一种光滤波装置、系统及封装结构制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及光滤波领域，具体涉及一种光滤波装置、系统及封装结构。一种光滤波装置，包括依次设置的光纤准直器、光滤波器及MEMS反射器，还包括设置在光纤准直器一端的多个输入端和多个输出端，所述MEMS反射器包括垂直于光滤波器色散方向的第一转轴和平行于光滤波器色散方向的第二转轴。一种封装结构，包括封装壳体，以及集成设置在封装壳体内的光滤波装置。一种光滤波系统，所述光滤波系统包括所述的光滤波装置，以及与光滤波装置的MEMS反射器连接的控制器。本实用新型专利技术通过紧凑型设计的光滤波装置，具有结构紧凑、功能更全的特点，非常适用于集成度高和结构紧凑的系统设计。

An optical filter device, system and package structure

【技术实现步骤摘要】
一种光滤波装置、系统及封装结构
本技术涉及光滤波领域，具体涉及一种光滤波装置、系统及封装结构。
技术介绍
可调滤波器和衰减器：可调滤波器的色散元件可以是光栅、液晶或棱镜等，色散元件将入射光不同的波长成分在空间上分开，输出端选择某一部分的光谱接收达到滤波功能。当用某种机制可控地改变输入端和输出端在色散过程中的相对位置，使被接收的光谱成分发生变化，即达到可调滤波的功能。而可调衰减则是可控的改变输入光输出光之间的各类损耗，比如耦合损耗、传输损耗、材料吸收等。采用MEMS-Grating结构的可调光滤波(TOF)&可调衰减器(VOA)也已商用。但是，两者多数分别为独立部件，在结合使用过程中，占有空间大，耗损大，不满足现有光学系统小型化、低损耗的发展趋势；同时，目前能实现的均为单一通道的可调滤波&可调衰减，想达到多通道的可调滤波衰减常规的做法是叠加可调滤波器使用。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种光滤波装置、系统及封装结构，解决现有单一通道的可调滤波&可调衰减，想达到多通道的可调滤波衰减常规的做法是叠加可调滤波器使用，会产生占有空间大，耗损大的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种光滤波装置，包括依次设置的光纤准直器、光滤波器及MEMS反射器，还包括设置在光纤准直器一端的多个输入端和多个输出端，所述MEMS反射器包括垂直于光滤波器色散方向的第一转轴和平行于光滤波器色散方向的第二转轴；其中，光信号依次经过一输入端、光纤准直器后入射至光滤波器，经光滤波器色散成具有不同衍射角的衍射光，并入射至MEMS反射器上，以及，所述MEMS反射器绕第一转轴及第二转轴旋转，反射一衍射角的衍射光，再经过光滤波器、光纤准直器入射至对应的输出端。其中，较佳方案是：多个所述输入端呈一字型排布设置，以及，多个所述输出端呈一字型排布设置。其中，较佳方案是：多个所述输入端分别与对应的光纤连通，多个所述输出端分别与对应的光纤连通。其中，较佳方案是：所述光滤波器为光栅、液晶和棱镜中的一种。其中，较佳方案是：所述光滤波器为透射光栅，所述透射光栅呈角度设置在光纤准直器和MEMS反射器，所述透射光栅的色散角度全部或部分均朝向MEMS反射器。其中，较佳方案是：多个所述输入端呈一字型排布紧密设置，以及，多个所述输出端呈一字型排布紧密设置。其中，较佳方案是：所述MEMS反射器包括双轴MEMS芯片。其中，较佳方案是：所述光滤波器与MEMS反射器之间还设有相位板。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种封装结构，包括封装壳体，以及集成设置在封装壳体内且所述的光滤波装置，还包括与多个与对应输对应入端连通的输入光纤和多个与对应输出端连通的输出光纤。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种光滤波系统，其特征在于：所述光滤波系统包括所述的光滤波装置，以及与光滤波装置的MEMS反射器连接的控制器，所述控制器根据控制信号控制MEMS反射器的绕第一转轴及第二转轴的旋转角度。本技术的有益效果在于，与现有技术相比，本技术通过紧凑型设计的光滤波装置，不同入光光纤与出光光纤的匹配，具有结构紧凑、功能更全的特点，非常适用于集成度高和结构紧凑的系统设计，相比使用多个滤波器达到多通道的可调滤波衰减方案，极大了节约了成本；以及，可调滤波功能、光路切换功能和可调衰减功能共用一光纤准直器实现，除了必须的分光损耗外，未引入其他附加损耗，因此可进一步优化系统插损；以及，可进一步节省空间，降低成本。附图说明下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中：图1是本技术光滤波装置的结构示意图；图2是本技术光滤波器的结构示意图；图3是本技术MEMS反射器第一实施方式的结构示意图；图4是本技术MEMS反射器第二实施方式的结构示意图；图5是本技术MEMS反射器的俯视结构示意图；图6是本技术封装结构的结构示意图。具体实施方式现结合附图，对本技术的较佳实施例作详细说明。如图1至图5所示，本技术提供一种光滤波装置的优选实施例。一种光滤波装置，包括依次设置的光纤准直器110、光滤波器120及MEMS反射器130，还包括设置在光纤准直器110一端的多个输入端210和多个输出端220，所述MEMS反射器130包括垂直于光滤波器120色散方向1101的第一转轴131和平行于光滤波器120色散方向1101的第二转轴；其中，光信号11依次经过一输入端210、光纤准直器110后入射至光滤波器120，经光滤波器120色散成具有不同衍射角的衍射光111，并入射至MEMS反射器130上，以及，所述MEMS反射器130绕第一转轴131及第二转轴132旋转，反射一衍射角的衍射光111(简称反射光信号12)，再经过光滤波器120、光纤准直器110入射至对应的输出端220。多个光信号11通过不同的输入端210入射至所述光滤波装置中，进行统一滤波，相比使用多个滤波器达到多通道的可调滤波衰减方案，极大了节约了成本，除了必须的分光损耗外，未引入其他附加损耗，因此可进一步优化系统插损，可进一步节省空间。其中，输入端210设为X个，输出端220设为Y个，所述光滤波装置是在光滤波同时，进行X*Y的光路匹配，能实现X*Y个通道的调衰减器(VOA)&可调光滤波(TOF)。优选地，也可作为不同通道集成于一光滤波装置种，实现集成设置。具体地，光信号11从一输入端210入射至光纤准直器110，经光纤准直器110准直后射出并入射至光滤波器120；以及，经光滤波器120色散，形成具有不同衍射角的衍射光111，其中色散方向1101是指垂直与色散中线且沿着角度散开方向的方向，全部或部分具有不同衍射角的衍射光111入射至MEMS反射器130中；以及，MEMS反射器130绕第一转轴131旋转，将垂直于MEMS反射器130表面的衍射光111反射回光滤波器120，其与衍射光111由于角度四散，作为无用光(13,14)，实现可调滤波的功能；MEMS反射器130绕第二转轴132旋转，将垂直于MEMS反射器130表面的衍射光111选择一反射倾角反射回光滤波器120，反射倾角是指沿着第一转轴131的方向的倾斜角度，可以为零度；经过MEMS反射器130反射回的衍射光111，经过光滤波器120、光纤准直器110入射至对应的输出端220，实现光路切换和可调衰减的功能。当然，也可以先绕第二转轴132旋转再绕第一转轴131旋转，以及，上述流程针对于多个所述输入端210/输出端220呈一字型排布设置的情况，若多个所述输入端210/输出端220不呈一字型排布设置，或者多个所述输入端210/输出端220呈阵列式排布设置，需微调绕第一转轴131及第二转轴132的旋转角度，以确保需要衍射光111入射至对应的输出端220中；优选地本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光滤波装置，其特征在于：包括依次设置的光纤准直器、光滤波器及MEMS反射器，还包括设置在光纤准直器一端的多个输入端和多个输出端，所述MEMS反射器包括垂直于光滤波器色散方向的第一转轴和平行于光滤波器色散方向的第二转轴；其中，光信号依次经过一输入端、光纤准直器后入射至光滤波器，经光滤波器色散成具有不同衍射角的衍射光，并入射至MEMS反射器上，以及，所述MEMS反射器绕第一转轴及第二转轴旋转，反射一衍射角的衍射光，再经过光滤波器、光纤准直器入射至对应的输出端。/n

【技术特征摘要】
1.一种光滤波装置，其特征在于：包括依次设置的光纤准直器、光滤波器及MEMS反射器，还包括设置在光纤准直器一端的多个输入端和多个输出端，所述MEMS反射器包括垂直于光滤波器色散方向的第一转轴和平行于光滤波器色散方向的第二转轴；其中，光信号依次经过一输入端、光纤准直器后入射至光滤波器，经光滤波器色散成具有不同衍射角的衍射光，并入射至MEMS反射器上，以及，所述MEMS反射器绕第一转轴及第二转轴旋转，反射一衍射角的衍射光，再经过光滤波器、光纤准直器入射至对应的输出端。


2.根据权利要求1所述的光滤波装置，其特征在于：多个所述输入端呈一字型排布设置，以及，多个所述输出端呈一字型排布设置。


3.根据权利要求1或2所述的光滤波装置，其特征在于：多个所述输入端分别与对应的光纤连通，多个所述输出端分别与对应的光纤连通。


4.根据权利要求1所述的光滤波装置，其特征在于：所述光滤波器为光栅、液晶和棱镜中的一种。


5.根据权利要求1所述的光滤波装置，其特征在于：所述光滤...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑枭，谢红，绪海波，艾孝谱，
申请(专利权)人：昂纳信息技术深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44