一种F-P干涉仪及其制备方法技术

本申请公开了一种F

【技术实现步骤摘要】
一种F
‑
P干涉仪及其制备方法


[0001]本申请涉及光学滤波
，具体而言，涉及一种F
‑
P干涉仪及其制备方法。

技术介绍

[0002]F
‑
P干涉仪是一种常见的光学滤波器件，其是由两个平行的端面组成的光学腔，两端面对入射光具有半透半反特性，具有窄带的梳状滤波能力，且因F
‑
P干涉仪的滤波波长与形成光学腔的长度高度敏感，所以其又常被用来作为波长可调的滤波器。
[0003]常用的F
‑
P波长调节方法办法包括腔内材料折射率调节和腔长的直接调节，其中折射率调节的方法常见有温度调节和液晶调节等，而腔长调节的方法常见为电机的直接控制调节，上述调节形式均需要复杂的结构形式，而且制造成本较高，具有一定的局限性。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种F
‑
P干涉仪及其制备方法，能够简化设置形式，降低生产成本，以提升使用时的适用性。
[0005]本申请的实施例是这样实现的：
[0006]本申请实施例的一方面，提供一种F
‑
P干涉仪，包括MEMS平移组件，以及设置在所述MEMS平移组件上的第一分光镜；所述MEMS平移组件包括基座，以及与所述基座连接的悬臂，所述悬臂上连接有与所述第一分光镜平行的第二分光镜；所述第一分光镜通过所述基座与所述MEMS平移组件连接，所述悬臂能够带动所述第二分光镜靠近或远离所述第一分光镜，以使所述第一分光镜和所述第二分光镜之间形成距离可调的腔室。
[0007]可选地，所述MEMS平移组件还包括与所述悬臂连接的平移框，所述第二分光镜通过所述平移框与所述悬臂连接。
[0008]可选地，所述第一分光镜和所述第二分光镜均为半透半反镜。
[0009]可选地，所述第一分光镜包括第一透明基板，所述第一透明基板朝向所述腔室的一侧设置有第一反射膜、背离所述腔室的一侧设置有第一增透膜；所述第二分光镜包括第二透明基板，所述第二透明基板朝向所述腔室的一侧设置有第二反射膜、背离所述腔室的一侧设置有第二增透膜。
[0010]可选地，所述第一分光镜通过胶合剂与所述基座连接。
[0011]可选地，所述胶合剂内掺杂有间隔微球，以使所述第一分光镜和所述基座具有预设距离。
[0012]可选地，所述基座上设置有导光斜面或通光孔，所述导光斜面或通光孔位于背离所述第一分光镜背离所述腔室的一侧。
[0013]本申请实施例的另一方面，提供一种F
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P干涉仪的制备方法，应用于如上所述任意一项所述的F
‑
P干涉仪，所述方法包括：
[0014]将第二分光镜装配于MEMS平移组件的悬臂上；将第一分光镜装配于所述MEMS平移组件的基座上，以使所述第一分光镜和所述第二分光镜之间形成距离可调的腔室。
[0015]可选地，所述第一分光镜和所述第二分光镜的反射率相等时，所述F
‑
P干涉仪满足以下公式：
[0016][0017]其中，上述公式中，I
T
为出射光强，R为第一分光镜和第二分光镜的反射率，δ为光相位，I0为入射光强，L为腔室的腔长，λ为所需滤波的波长、θ为光的入射角。
[0018]本申请实施例的有益效果包括：
[0019]本申请实施例提供的F
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P干涉仪及其制备方法，通过基座设置在MEMS平移组件上的第一分光镜，以及在悬臂上连接的第二分光镜，在在光束从第一分光镜入射到腔室后，在第一分光镜和第二分光镜的共同作用下，形成多光束干涉，最终达到滤波的目的。当需要调整所需滤波的波长时，则通过悬臂带动第二分光镜相对第一分光镜平移，以改变腔室处长度即可。采用上述形式，与传统的调节形式相比，能够简化设置形式，只需要借助微机电系统就可以实现，有利于降低生产成本，以提升使用时的适用性。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0021]图1为本申请实施例提供的F
‑
P干涉仪的结构示意图之一；
[0022]图2为本申请实施例提供的F
‑
P干涉仪的结构示意图之二；
[0023]图3为本申请实施例提供的MEMS平移组件的结构示意图；
[0024]图4为本申请实施例提供的MEMS平移组件与第二分光镜配合的结构示意图；
[0025]图5为本申请实施例提供的第一分光镜的结构示意图之一；
[0026]图6为本申请实施例提供的第一分光镜的结构示意图之二；
[0027]图7为本申请实施例提供的第二分光镜的结构示意图之一；
[0028]图8为本申请实施例提供的第二分光镜的结构示意图之二。
[0029]图标：100
‑
F
‑
P干涉仪；110
‑
MEMS平移组件；112
‑
基座；114
‑
悬臂；116
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平移框；120
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第一分光镜；121
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第一透明基板；122
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第一反射膜；124
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第一增透膜；130
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第二分光镜；131
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第二透明基板；132
‑
第二反射膜；134
‑
第二增透膜；140
‑
胶合剂。
具体实施方式
[0030]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0031]因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护
的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0032]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0033]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种F
‑
P干涉仪，其特征在于，包括MEMS平移组件，以及设置在所述MEMS平移组件上的第一分光镜；所述MEMS平移组件包括基座，以及与所述基座连接的悬臂，所述悬臂上连接有与所述第一分光镜平行的第二分光镜；所述第一分光镜通过所述基座与所述MEMS平移组件连接，所述悬臂能够带动所述第二分光镜靠近或远离所述第一分光镜，以使所述第一分光镜和所述第二分光镜之间形成距离可调的腔室。2.根据权利要求1所述的F
‑
P干涉仪，其特征在于，所述MEMS平移组件还包括与所述悬臂连接的平移框，所述第二分光镜通过所述平移框与所述悬臂连接。3.根据权利要求2所述的F
‑
P干涉仪，其特征在于，所述第一分光镜和所述第二分光镜均为半透半反镜。4.根据权利要求1
‑
3任意一项所述的F
‑
P干涉仪，其特征在于，所述第一分光镜包括第一透明基板，所述第一透明基板朝向所述腔室的一侧设置有第一反射膜、背离所述腔室的一侧设置有第一增透膜；所述第二分光镜包括第二透明基板，所述第二透明基板朝向所述腔室的一侧设置有第二反射膜、背离所述腔室的一侧设置有第二增透膜。5.根据权利要求1
‑
3任意一项所述的F
‑
...

【专利技术属性】
技术研发人员：解振海，谢红，
申请(专利权)人：昂纳信息技术深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：