一种大电容环形谐振式微机械陀螺制造技术

一种大电容环形谐振式微机械陀螺，包括支撑锚点、弹性支撑梁、谐振环、树枝式梳齿结构以及设置在结构内部或者外部的电极；支撑锚点位于结构的中心，用于固定整个陀螺结构；弹性支撑梁的两端分别与谐振环、支撑锚点连接，谐振环与弹性支撑梁构成环形谐振子结构；电极与树枝式梳齿结构沿周向分布在整圈，电极与树枝式梳齿结构形成大电容量的平行板电容器。本发明专利技术采用的环形谐振结构结合树枝式梳齿结构，既保持了环形谐振结构的优势，又通过树枝式梳齿结构增加了电容量，使得陀螺的驱动、检测、静电调整能力得到提升，同时树枝式梳齿结构还可以增加结构的有效质量，上述优点可提高陀螺的信噪比和灵敏度，有利于陀螺精度的提升。

A large capacitance ring resonant micromechanical gyroscope

【技术实现步骤摘要】
一种大电容环形谐振式微机械陀螺
本专利技术涉及一种大电容环形谐振式微机械陀螺，属于微机械传感器

技术介绍
传统工艺加工的微机械转子陀螺、悬浮陀螺、激光陀螺和光纤陀螺，具有其体积大、重量大、功耗高、成本高和不易于批量生产等严重问题，即使经过改进采用中心单点支撑对称结构，又会限制了陀螺的精度。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题为：克服现有技术不足，提供一种大电容环形谐振式微机械陀螺，保持了微机械陀螺结构的高Q值，同时增大了电容量和有效质量，提高了微机械陀螺的信噪比和灵敏度，增强了微机械陀螺的静电调整能力，有利于微机械陀螺精度的提升，解决了目前环形谐振式微机械陀螺电容量较小，分辨率、信噪比较低，精度受限制的问题。本专利技术解决的技术方案为：一种大电容环形谐振式微机械陀螺，包括支撑锚点(1)、弹性支撑梁(2)、谐振环(3)、树枝式梳齿结构(4)以及电极(5)、基底(8)。支撑锚点(1)位于微机械陀螺结构的中心，与基底(8)连接，用于固定整个微机械陀螺结构；弹性支撑梁(2)的两端分别与谐振环(3)、支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大电容环形谐振式微机械陀螺，其特征在于：包括支撑锚点(1)、弹性支撑梁(2)、谐振环(3)、树枝式梳齿结构(4)以及电极(5)、基底(8)/n支撑锚点(1)位于微机械陀螺结构的中心，与基底(8)连接，用于固定整个微机械陀螺结构；弹性支撑梁(2)的两端分别与谐振环(3)、支撑锚点(1)连接；谐振环(3)与弹性支撑梁(2)构成环形谐振子；/n树枝式梳齿结构(4)设置在谐振环(3)振动的波腹和节点处；/n电极(5)与树枝式梳齿结构(4)相对设置，且电极(5)与基底(8)连接，电极(5)与树枝式梳齿结构(4)沿周向分布，电极(5)与树枝式梳齿结构(4)形成大电容量的平行板电容。/n

【技术特征摘要】
1.一种大电容环形谐振式微机械陀螺，其特征在于：包括支撑锚点(1)、弹性支撑梁(2)、谐振环(3)、树枝式梳齿结构(4)以及电极(5)、基底(8)
支撑锚点(1)位于微机械陀螺结构的中心，与基底(8)连接，用于固定整个微机械陀螺结构；弹性支撑梁(2)的两端分别与谐振环(3)、支撑锚点(1)连接；谐振环(3)与弹性支撑梁(2)构成环形谐振子；
树枝式梳齿结构(4)设置在谐振环(3)振动的波腹和节点处；
电极(5)与树枝式梳齿结构(4)相对设置，且电极(5)与基底(8)连接，电极(5)与树枝式梳齿结构(4)沿周向分布，电极(5)与树枝式梳齿结构(4)形成大电容量的平行板电容。


2.根据权利要求1所述的一种大电容环形谐振式微机械陀螺，其特征在于：谐振环3与弹性支撑梁2所构成的环形谐振子为轴对称的圆形结构。


3.根据权利要求1所述的一种大电容环形谐振式微机械陀螺，其特征在于：谐振环(3)振动的波腹，是指：谐振环(3)振动幅值最大的位置。


4.根据权利要求1所述的一种大...

【专利技术属性】
技术研发人员：周金秋，王浩，柴宏玉，周博远，康苗苗，
申请(专利权)人：北京时代民芯科技有限公司，北京微电子技术研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11