基于硼硅酸盐玻璃退火成型的微型半球谐振陀螺及制造方法技术

本发明专利技术公开了一种基于硼硅酸盐玻璃退火成型的微型半球谐振陀螺及其制造方法，即将一个硅片作为基底构成硅基底，硅片上表面刻蚀一个圆柱形腔体及腔体圆心处的中心支柱，该中心支柱与半球谐振子中心相连，形成悬空结构；同时，在硅片上表面的圆柱形腔体外围，并围绕半球谐振子均匀布置八个平板式电极，该八个平板式电极由四个驱动电极和四个检测电极组成，所有驱动电极、检测电极与半球谐振子不接触，存在相同的间隙，且驱动电极和检测电极依次间隔分布。本发明专利技术制作的玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺，结构简单、表面应力低与高对称性等优点使其具有较稳定的性能与更广泛的应用范围。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于硼硅酸盐玻璃退火成型的微型半球谐振陀螺，其特征在于包括硅基底(1)、半球谐振子(2)，中心支柱(5)连接半球谐振子与硅基底；设置在硅基底(1)上并围绕半球谐振子均匀布置的八个平板式电极(3)，该八个平板式电极(3)为四个驱动电极(3a，3c，3e，3g)和四个检测电极(3b，3d，3f，3h)组成，所有驱动电极、检测电极与半球谐振子均不接触，且驱动电极和检测电极依次间隔分布，即每两个驱动电极之间是一个检测电极，同样，每两个检测电极之间是一个驱动电极。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：裘安萍，张晶，施芹，苏岩，杨海波，夏国明，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32