温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种大电容环形谐振式微机械陀螺,包括支撑锚点、弹性支撑梁、谐振环、树枝式梳齿结构以及设置在结构内部或者外部的电极;支撑锚点位于结构的中心,用于固定整个陀螺结构;弹性支撑梁的两端分别与谐振环、支撑锚点连接,谐振环与弹性支撑梁构成环形谐振子结构...该专利属于北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所授权不得商用。