一种测试机与针测机对准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种测试机与针测机对准装置，主要包括测试头、连接件以及测试机本体，测试头通过连接件连接在测试机本体上。并在连接件内设置驱动机构，驱动机构可用于驱动测试头的运动，并实现测试头与针测机部件对准。解决了现有技术中需要通过手动操作来控制机械臂的摆动来实现测试头与针测机部件的自动对准。另外，发明专利技术人还发现可在测试头上设置监测接收机构，以及在针测机部件上设置监测发送机构，可使得测试头与针测机部件的对准更加精准，从而大大减小晶圆测试中open/short现象的出现，极大地缩短了晶圆的测试时间以及提高了晶圆的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种测试机与针测机对准装置
本技术涉及半导体
，特别涉及一种测试机与针测机对准装置。
技术介绍
在晶圆测试中，测试头在安装好PIB与Pogotower之后，需要进行测试头和针测机部件之间的对接。对接过程需要将测试头与针测机部件精准对接，如果对接过程出现差错，将会使得晶圆测试中出现open/short现象。现有技术通过手动操作控制机械臂的摆动来实现测试头与针测机部件的对准，这种对准方式会产生较大误差，很容易出现测试头与针测机部件未对准的情况，使得晶圆测试中open/short现象出现的频率极大，从而降低了晶圆的成品率，并且降低了产能。因此，需要提出一种可以实现测试机与针测机部件自动对接的装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种测试机与针测机对准装置用以解决现有技术中通过手动操作控制机械臂的摆动来实现测试头与针测机部件的对准，这种对准方式会产生较大误差，很容易出现测试头与针测机部件未对准的情况，使得晶圆测试中open/short现象出现的频率极大，从而降低了晶圆的成品率，并且降低了产能等问题。为了解决上述技术问题，本技术提出一种测试机与针测机对准装置，包括测试机部件以及针测机部件；所述测试机部件包括测试头、连接件以及测试机本体，所述测试头通过所述连接件连接在所述测试机本体上，所述连接件内设置有驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述测试头的运动，并使得所述测试头与所述针测机部件对准。可选的，所述连接件包括第一连接件以及第二连接件；所述第一连接件与所述测试机本体活动连接，所述第二连接件与所述第一连接件活动连接，所述第二连接件与所述测试头连接；所述驱动机构包括第一驱动机构以及第二驱动机构；所述第一驱动机构用于驱动所述第一连接件相对于所述测试机本体运动，所述第一连接件运动用以带动所述第二连接件和所述测试头做沿垂直于水平面的方向运动；所述第二驱动机构用于驱动所述第二连接件相对于所述第一连接件运动，所述第二连接件运动用以带动所述测试头做沿平行于水平面的方向运动；所述第一驱动机构与所述第二驱动机构配合驱动所述测试头与所述针测机部件对准。可选的，所述第一驱动机构与所述第二驱动机构均连接至一控制器，所述控制器用于控制所述第一驱动机构与所述第二驱动机构的工作状态。可选的，所述测试头在靠近所述针测机部件的一端设置有监测接收机构，所述针测机部件在靠近所述测试头的一端设置有监测发送机构；所述监测接收机构接收来自所述监测发送机构的信号；所述监测接收机构与所述控制器连接，并向所述控制器反馈接收到的信号；所述监测接收机构接收到来自所述监测发送机构的信号时，所述控制器向所述第一驱动机构以及所述第二驱动机构下达停止工作的指令。可选的，所述控制器控制所述第一驱动机构开始工作时，所述第二驱动机构停止工作；所述控制器控制所述第二驱动机构开始工作时，所述第一驱动机构停止工作。可选的，所述监测接收机构包括第一监测接收机构以及第二监测接收机构，所述监测发送机构包括第一监测发送机构以及第二监测发送机构；所述第一监测接收机构与所述第一驱动机构均连接至所述控制器，所述第二监测接收机构与所述第二驱动机构均连接至所述控制器；所述第二驱动机构驱动所述测试头运动至所述第二监测接收机构接收到所述第二监测发送机构的信号处时，所述控制器对所述第二驱动机构发出停止工作的指令；所述第一驱动机构驱动所述测试头运动至所述第一监测接收机构接收到所述第一监测发送机构的信号处时，所述控制器对所述第一驱动机构发出停止工作的指令。可选的，所述第一驱动机构包括第一马达，所述第二驱动机构包括第二马达以及第三马达；所述第一马达用于驱动所述第一连接件相对于所述测试机本体运动，所述第一连接件运动用以带动所述第二连接件和所述测试头做沿垂直于水平面的方向运动；所述第二马达以及所述第三马达用于驱动所述第二连接件相对于所述第一连接件运动，所述第二连接件运动用以带动所述测试头做沿平行于水平面的方向运动；所述第一马达、所述第二马达与所述第三马达配合驱动所述测试头与所述针测机部件对准。可选的，所述监测接收机构为红外接收单元，所述监测发送机构为红外发射单元。可选的，所述红外接收单元包括第一红外接收器以及第二红外接收器，所述红外发射单元包括第一红外发射器以及第二红外发射器；所述第一红外接收器与所述第一驱动机构均连接至所述控制器，所述第二红外接收器与所述第二驱动机构均连接至所述控制器；所述第二驱动机构驱动所述测试头运动至所述第二红外接收器接收到所述第二红外发射器的信号处时，所述控制器对所述第二驱动机构发出停止工作的指令；所述第一驱动机构驱动所述测试头运动至所述第一红外接收器接收到所述第一红外发射器的信号处时，所述控制器对所述第一驱动机构发出停止工作的指令。可选的，所述针测机部件包括一探针卡以及针测机部件本体，所述探针卡设置在所述针测机部件本体上，所述驱动机构用于驱动所述测试头与所述探针卡对准。本技术提出了一种测试机与针测机对准装置，主要包括测试头、连接件以及测试机本体，测试头通过连接件连接在测试机本体上。并在连接件内设置驱动机构，驱动机构可用于驱动测试头的运动，并实现测试头与针测机部件对准。解决了现有技术中需要通过手动操作来控制机械臂的摆动来实现测试头与针测机部件的自动对准。另外，专利技术人还发现可在测试头上设置监测接收机构，以及在针测机部件上设置监测发送机构，可使得测试头与针测机部件的对准更加精准，从而大大减小晶圆测试中open/short现象的出现，极大地缩短了晶圆的测试时间以及提高了晶圆的质量。附图说明图1为本技术实施例提供的一种测试机与针测机对准装置的结构示意图；图2为图1提供装置的测试机部件部分结构示意图；图3为图2结构的详细结构示意图；图4为监测接收机构示意图；图5为监测发送机构示意图；10-测试机部件，101-测试头，102-连接件，1021-第一连接件，1022-第二连接件，103-测试机本体，104-驱动机构，1041-第一马达，1042-第二马达，1043-第三马达，105-监测接收机构，1051-第一监测接受机构，1052-第二监测接收机构，106-PIB，107-Pogotower，20-针测机部件，201-监测发送机构，2011第一监测发送机构，2012-第二监测发送机构，202-探针卡。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术提出的一种测试机与针测机对准装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测试机与针测机对准装置，其特征在于，包括测试机部件以及针测机部件；/n所述测试机部件包括测试头、连接件以及测试机本体，所述测试头通过所述连接件连接在所述测试机本体上，所述连接件内设置有驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述测试头的运动，并使得所述测试头与所述针测机部件对准。/n

【技术特征摘要】
1.一种测试机与针测机对准装置，其特征在于，包括测试机部件以及针测机部件；
所述测试机部件包括测试头、连接件以及测试机本体，所述测试头通过所述连接件连接在所述测试机本体上，所述连接件内设置有驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述测试头的运动，并使得所述测试头与所述针测机部件对准。


2.如权利要求1所述的一种测试机与针测机对准装置，其特征在于，所述连接件包括第一连接件以及第二连接件；
所述第一连接件与所述测试机本体活动连接，所述第二连接件与所述第一连接件活动连接，所述第二连接件与所述测试头连接；
所述驱动机构包括第一驱动机构以及第二驱动机构；
所述第一驱动机构用于驱动所述第一连接件相对于所述测试机本体运动，所述第一连接件运动用以带动所述第二连接件和所述测试头做沿垂直于水平面的方向运动；
所述第二驱动机构用于驱动所述第二连接件相对于所述第一连接件运动，所述第二连接件运动用以带动所述测试头做沿平行于水平面的方向运动；
所述第一驱动机构与所述第二驱动机构配合驱动所述测试头与所述针测机部件对准。


3.如权利要求2所述的一种测试机与针测机对准装置，其特征在于，所述第一驱动机构与所述第二驱动机构均连接至一控制器，所述控制器用于控制所述第一驱动机构与所述第二驱动机构的工作状态。


4.如权利要求3所述的一种测试机与针测机对准装置，其特征在于，所述测试头在靠近所述针测机部件的一端设置有监测接收机构，所述针测机部件在靠近所述测试头的一端设置有监测发送机构；
所述监测接收机构接收来自所述监测发送机构的信号；
所述监测接收机构与所述控制器连接，并向所述控制器反馈接收到的信号；
所述监测接收机构接收到来自所述监测发送机构的信号时，所述控制器向所述第一驱动机构以及所述第二驱动机构下达停止工作的指令。


5.如权利要求4所述的一种测试机与针测机对准装置，其特征在于，所述控制器控制所述第一驱动机构开始工作时，所述第二驱动机构停止工作；所述控制器控制所述第二驱动机构开始工作时，所述第一驱动机构停止工作。


6.如权利要求5所述的一种测试机与针测机对准装置，其特征在于，所述监测接收机构包括第一监测接收机构以及第二监测接收机构，所述监测发送...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵齐齐，周杰，田茂，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32