一种掩膜版搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种掩膜版搬运装置，包括行驶部、支撑部、升降部和控制部，所述行驶部包括2个对称设置的支撑板，所述支撑板的前端设置有前置导向轮，支撑板的外侧设置有侧面导向轮，前置导向轮和侧面导向轮与地面具有一定高度且与地面平行，所述支撑板的底部设置有副轮，支撑部包括2个对称设置的立柱，立柱垂直设置在支撑板上，升降部包括设置在立柱前端的直线导轨，所述直线导轨内设置有牙叉，2个牙叉之间通过连接板连接，所述控制部驱动牙叉上下移动。本实用新型专利技术实现了对大尺寸掩膜版的搬运，减少人为接触，大幅度降低产品缺陷、报废发生风险，同时提高产品搬运、装卸时的效率和精度。

A mask carrier

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版搬运装置
本技术涉及掩膜版制作
，具体涉及一种掩膜版搬运装置。
技术介绍
光刻掩膜版简称掩膜版，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。掩膜版是光刻复制图形的基准和蓝本，光刻掩膜版上的任何缺陷都会对最终图形精度有较大影响，并直接影响最终制品的优品率。在掩膜版的制造及后续的储运、安装过程时，涉及到大量要搬运掩膜版、掩膜版玻璃基板或者掩膜版光学膜的环节，传统的做法是由操作人员用手动的方式对掩膜版、掩膜版玻璃基板或者掩膜版光学膜进行抓取和搬运。这种手动的方式存在一个很严重的问题：操作人员的手、无尘服等部位容易接触到掩膜版或光学膜表面，从而留下指印、污迹，还有可能造成光学膜破损等不可逆损伤导致产品彻底报废。特别地，TFT掩膜版及配套光学膜，其最大尺寸已经达到1620*1780mm，尺寸的变化必然带来产品重量的变化，传统手动的方式已经不再适用。同时，产品尺寸增大后，对脏污、颗粒等缺陷的要求更加严格，传统手动的方式会对产品带来更大的品质风险。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种掩膜版搬运装置，实现对大尺寸掩膜版的搬运，减少人为接触，大幅度降低产品缺陷、报废发生风险，同时提高产品搬运、装卸时的效率和精度。本技术通过下述技术方案实现：一种掩膜版搬运装置，包括行驶部、支撑部、升降部和控制部，所述行驶部包括2个对称设置的支撑板，所述支撑板的前端设置有前置导向轮，所述支撑板的外侧设置有侧面导向轮，所述前置导向轮和侧面导向轮与地面具有一定高度且与地面平行，所述支撑板的底部设置有副轮，所述支撑部包括2个对称设置的立柱，所述立柱垂直设置在支撑板上，所述升降部包括设置在立柱前端的直线导轨，所述直线导轨内设置有牙叉，所述牙叉能够沿着直线导轨在竖直方向上下移动，2个牙叉之间通过连接板连接，所述控制部驱动牙叉上下移动。本技术所述大尺寸掩膜版具体是指4.5代-11代，掩膜版尺寸涵盖520*800*10mm-1620*1780*17mm。本技术所述行驶部用于整个搬运装置在地面上行走，所述前端具体是指搬运装置在使用过程中靠近包装箱(大尺寸掩膜版、掩膜版玻璃基板、掩膜版光学膜或者掩膜版、光学膜在搬运过程中需要放置在包装箱内)的一侧，后端具体是指与前端相对的一端，所述前置导向轮和侧面导向轮与地面具有一定高度且与地面平行具体是指整个搬运装置在地面上行走时，前置导向轮和侧面导向轮不与地面接触，所述牙叉用于支承包装箱。本技术通过设置行驶部、支撑部、升降部和控制部，所述升降部的牙叉用于支承包装箱，通过控制部控制升降部的升降，继而实现牙叉的升降，所述行驶部不仅用于整个搬运装置在地面上行走，且搬运装置与设备进行对接时，所述前置导向轮和侧面导向轮可以在设备定位通道中滑动，采用支撑板进入设备定位通道的这种方式，可以实现搬运装置与设备的精确对接，如此，本技术实现了对大尺寸掩膜版的搬运，减少人为接触，大幅度降低产品缺陷、报废发生风险，同时提高产品搬运、装卸时的效率和精度。进一步地，牙叉的后端设置有主轮。优选地，在牙叉的后端设置有L形板，所述主轮设置在L形板底部。所述主轮控制搬运装置行驶时的方向，所述副轮用于在地面上滑动。进一步地，2个立柱的后端通过把手连接。所述把手的设置便于工作人员推动整个搬运装置进一步地，2个支撑板的一端通过横板连接。即2个支撑板在设置有立柱处通过横板连接，通过设置横板，提高了行驶部的结构稳定性。进一步地，2个支撑板之间设置有多个连接杆。所述连接杆的设置能够提高行驶部的结构稳定性。进一步地，2个立柱的顶部通过顶板连接。所述顶板的设置能够提高支撑部的结构稳定性。进一步地，立柱采用不锈钢制成，所述牙叉为空心钢管，所述支撑板为倒立的U形钢板。所述不锈钢为现有技术。采用空心钢管制成的牙叉利于升降时省力。本技术与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：本技术通过设置行驶部、支撑部、升降部和控制部，所述升降部的牙叉用于支承包装箱，通过控制部控制升降部的升降，继而实现牙叉的升降，所述行驶部不仅用于整个搬运装置在地面上行走，且搬运装置与设备进行对接时，所述前置导向轮和侧面导向轮可以在设备定位通道中滑动，采用牙叉进入设备定位通道的这种方式，可以实现搬运装置与设备的精确对接，如此，本技术实现了对大尺寸掩膜版的搬运，减少人为接触，大幅度降低产品缺陷、报废发生风险，同时提高产品搬运、装卸时的效率和精度。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本技术实施例的限定。在附图中：图1是搬运装置的立体示意图；图2是搬运装置的侧视图；图3是搬运装置的正视图。附图中标记及对应的零部件名称：1-支撑板，2-立柱，3-直线导轨，4-丝杠，11-主轮，12-侧面导向轮，13-副轮，14-前置导向轮，15-连接杆，16-横板，21-顶板，22-把手，31-牙叉，32-连接板，41-转盘。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本技术作进一步的详细说明，本技术的示意性实施方式及其说明仅用于解释本技术，并不作为对本技术的限定。实施例1：如图1至图3所示，一种掩膜版搬运装置，包括行驶部、支撑部、升降部和控制部，所述行驶部包括2个对称设置的支撑板1，所述支撑板1的前端设置有前置导向轮14，所述支撑板1的外侧设置有侧面导向轮12，所述前置导向轮14和侧面导向轮12与地面具有一定高度且与地面平行，所述支撑板1的底部设置有副轮13，所述支撑部包括2个对称设置的立柱2，所述立柱2垂直设置在支撑板1上，所述升降部包括设置在立柱2前端的直线导轨3，所述直线导轨3内设置有牙叉31，所述牙叉31能够沿着直线导轨3在竖直方向上下移动，2个牙叉31之间通过连接板32连接，所述控制部驱动牙叉31上下移动，具体地，控制部可以是液压缸，所述通过液压缸的活塞杆上下伸缩实现牙叉31上下移动，所述控制部也可以是包括丝杠4，所述丝杠4与通过一水平板与连接板32的底部连接，所述水平板一端与连接板32的底部固定连接，另一端设置有与丝杠配合的螺纹孔，所述丝杠4穿设在螺纹孔内，所述丝杠4的上端和下端在轴向进行固定，只能周向转动，不能上下移动，所述丝杠4通过锥齿轮与转盘41连接，转动转盘41时，锥齿轮带动丝杠4转动，由于水平板的端部与连接板32固定连接，不能转动，所以只能随着丝杠的转动上下移动，也可以是转盘41和丝杠4的连接方式为采用一对锥齿轮连接，丝杠4直接与连接板32连接，所述转盘41将水平方向的转动转换为丝杠4竖直方向的转动，从而实现丝杠4带动升降部上下移动。本实施例的工作原理：当掩膜版、光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜版搬运装置，其特征在于，包括行驶部、支撑部、升降部和控制部，所述行驶部包括2个对称设置的支撑板(1)，所述支撑板(1)的前端设置有前置导向轮(14)，所述支撑板(1)的外侧设置有侧面导向轮(12)，所述前置导向轮(14)和侧面导向轮(12)与地面具有一定高度且与地面平行，所述支撑板(1)的底部设置有副轮(13)，所述支撑部包括2个对称设置的立柱(2)，所述立柱(2)垂直设置在支撑板(1)上，所述升降部包括设置在立柱(2)前端的直线导轨(3)，所述直线导轨(3)内设置有牙叉(31)，所述牙叉(31)能够沿着直线导轨(3)在竖直方向上下移动，2个牙叉(31)之间通过连接板(32)连接，所述控制部驱动牙叉(31)上下移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版搬运装置，其特征在于，包括行驶部、支撑部、升降部和控制部，所述行驶部包括2个对称设置的支撑板(1)，所述支撑板(1)的前端设置有前置导向轮(14)，所述支撑板(1)的外侧设置有侧面导向轮(12)，所述前置导向轮(14)和侧面导向轮(12)与地面具有一定高度且与地面平行，所述支撑板(1)的底部设置有副轮(13)，所述支撑部包括2个对称设置的立柱(2)，所述立柱(2)垂直设置在支撑板(1)上，所述升降部包括设置在立柱(2)前端的直线导轨(3)，所述直线导轨(3)内设置有牙叉(31)，所述牙叉(31)能够沿着直线导轨(3)在竖直方向上下移动，2个牙叉(31)之间通过连接板(32)连接，所述控制部驱动牙叉(31)上下移动。


2.根据权利要求1所述的一种掩膜版搬运装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林伟，郑宇辰，
申请(专利权)人：成都路维光电有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51