一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置，涉及掩模板制造技术领域，用于使G10代掩膜版自动测量机兼容小尺寸掩膜版，包括基板和安装在基板表面的限位件，基板靠近长边的基板板面上分别设有第一限位孔组和第二限位孔组，基板靠近短边的基板板面上都设有对称的两个第三限位孔组；解决了G10代掩膜版的大尺寸自动测量设备无法兼容小尺寸掩模板的问题，可以模拟成自动测量设备适配达尺寸掩模板，并将小尺寸掩模板固定在该限位装置上，以兼容小尺寸的掩模板。以兼容小尺寸的掩模板。以兼容小尺寸的掩模板。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置


[0001]本技术涉及掩模板制造
，尤其涉及一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置。

技术介绍

[0002]目前掩模板制造行业对不同尺寸掩模板范围越来越广，行业内制程机制造厂商生产了一种G10代掩膜版生产线专用的大尺寸自动测量设备，该设备只能够测量尺寸为800*920mm 至1620*1780mm掩膜版产品，市场逐渐加大了对小尺寸的G10代掩膜版的需求，例如尺寸为800*700mm甚至小的掩模板，G10代掩膜版的大尺寸自动测量设备无法兼容小尺寸掩模板的测量工序，额外制造小型号的测量设备成本较高，且生产过程复杂，因此急需可以使大尺寸自动测量设备兼容小尺寸掩模板的技术。

技术实现思路

[0003]本技术解决了G10代掩膜版的大尺寸自动测量设备无法兼容小尺寸掩模板的问题，提出了一种专用于小尺寸掩模板的限位装置，可以模拟成自动测量设备适配达尺寸掩模板，并将小尺寸掩模板固定在该限位装置上，以兼容小尺寸掩模板。
[0004]本技术通过下述技术方案实现：
[0005]一种适用于小尺寸掩膜版本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置，用于使掩膜版自动测量机兼容小尺寸掩膜版，其特征在于，包括基板(1)和安装在基板(1)表面的限位件(2)，所述基板(1)靠近长边的基板板面上分别设有第一限位孔组(11)和第二限位孔组(12)；所述第一限位孔组(11)与第二限位孔组(12)之间的距离用于与第一尺寸掩模板适配，所述基板(1)靠近短边的基板板面上都设有对称的两个第三限位孔组(13)，所述两个第三限位孔组(13)之间的距离用于与第一尺寸掩模板适配；所述第一限位孔组(11)、第二限位孔组(12)和第三限位孔组(13)都包括间隔布置的两个限位孔，所述限位件(2)包括两个尺寸与各限位孔组适配的安装头(21)，多个所述限位件(2)与第一尺寸掩模板边缘抵接。2.根据权利要求1所述的一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置，其特征在于，所述基板(1)上还设有第四限位孔组(14)，所述第四限位孔组(14)和所述第一限位孔组(11)的排布方向一致，所述第四限位孔组(14)与第一限位孔组(11)之间的距离与第二尺寸掩模板适配，所述第二尺寸掩模板的尺寸小于第一尺寸掩模板，所述第四限位孔组(14)上也安装有限位件(2)。3.根据权利要求2所述的一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置，其特征在于，所述基板(1)上还设有两组第五限位孔组(15)，所述第五限位孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙多卫，李刚，
申请(专利权)人：成都路维光电有限公司，
类型：新型
国别省市：