一种用于光罩的旋转检验台制造技术

本实用新型专利技术涉及光罩检验辅助设备领域，公开了一种用于光罩的旋转检验台，包括升降架，旋转检验台还包括基座、机架和两个夹具组件，基座固定在升降架上，机架呈半环形结构，且机架内凹的一侧朝向上侧，机架的底端活动安装有转动座，转动座转动安装在基座上，机架上侧的两端固定有夹具安装部，两个夹具组件相互对称设置，且两个夹具组件分别转动安装在两侧的夹具安装部上。本实用新型专利技术通过设置基座、机架、夹具组件、转动座、夹具安装部等结构，既便于夹持不同尺寸的光罩，又能够实现光罩的垂直翻转和水平翻转，并且还能够使光罩沿主旋转导轨的方向转动，从而便于工作人员对光罩进行全方位检测，提高检测效率和检测质量。提高检测效率和检测质量。提高检测效率和检测质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光罩的旋转检验台


[0001]本技术涉及光罩检验辅助设备
，尤其涉及一种用于光罩的旋转检验台。

技术介绍

[0002]光罩(Mask/Reticle)业内又称为掩膜版或掩模板，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，是IC制作的过程中必不可少的工具。
[0003]在光罩的制作过程中，需要对光罩的性能进行检测，以此避免有缺陷、有瑕疵的光罩进入后续工序，增加光罩的不合格率。检验光罩时，因一般不能用手直接触摸光罩，所以一般是将光罩放置在一个带有夹持机构的支架上，然后再对光罩进行检测。但是在将光罩放置在夹持机构上时，整个光罩的放置角度就被固定了，十分不便于对光罩的全方位检测，使得检测结果容易出现偏差。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的是提供一种用于光罩的旋转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光罩的旋转检验台，包括升降架，其特征在于：所述旋转检验台还包括基座、机架和两个夹具组件，所述基座固定在升降架上，所述机架呈半环形结构，且所述机架内凹的一侧朝向上侧，所述机架的底端活动安装有转动座，所述转动座转动安装在基座上，所述机架上侧的两端固定有夹具安装部，两个所述夹具组件相互对称设置，且两个所述夹具组件分别转动安装在两侧的夹具安装部上。2.根据权利要求1所述的一种用于光罩的旋转检验台，其特征在于：所述夹具组件包括夹具杆和操控套杆，所述夹具杆的一端固定有适配光罩的夹具头，所述夹具杆的外侧壁上设有安装键槽，所述夹具杆于安装键槽内固定有连接键，所述连接键的一侧凸出于安装键槽外，所述操控套杆套设在夹具杆外，所述操控套杆的内侧壁上沿操控套杆的轴线方向开设有限位槽，所述连接键凸出于安装键槽外的一侧位于限位槽内，所述操控套杆远离夹具头的一侧固定有第一操作手柄。3.根据权利要求2所述的一种用于光罩的旋转检验台，其特征在于：所述夹具安装部包括定位座和连接套，所述定位座固定在机架上的一端，所述连接套贯穿定位座并与定位座滑动连接，所述连接套的一端固定有连接环，所述连接环可拆卸安装在定位座的一侧。4.根据权利要求3所述的一种用于光罩的旋转检验台，其特征在于：所述连接环上设有转孔，所述连接环于转孔内贯穿并转动安装有定位螺栓，所述定位座上开设有定位螺孔，所述定位螺栓的一端螺纹连接在定位螺孔内。5.根据权利要求3或4所述的一种用于光罩的旋转检验台，其特征在于：所述夹具组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：金龙，王敬，冯永明，王凤玲，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：