一种用于掩膜版的洗边装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于掩膜版的洗边装置，涉及掩膜版清洗工具技术领域，包括支撑主体和旋转组件，支撑主体上设置有可滑动的喷头组件，该旋转组件用于驱动掩膜版转动，旋转组件包括驱动电机和支撑平台，驱动电机可滑动地设置在支撑主体上，支撑平台与驱动电机的主轴连接，喷头组件和驱动电机呈间隔设置，实际工作中，将需要洗边的掩模版放在支撑平台，支撑主体上的喷头组件移动到掩模版的边缘处，然后喷头组件喷出相应的药液对掩模版的边缘进行清理，当掩模版的一边清理完后，驱动电机转动使支撑平台转动，进而使掩模版另一边与喷头组件对应，反复循环直至掩模版的四边被清理干净，本实用新型专利技术操作简单且具有较好地清洗效果和清洗效率。和清洗效率。和清洗效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于掩膜版的洗边装置


[0001]本技术涉及掩膜版清洗工具
，具体涉及一种用于掩膜版的洗边装置。

技术介绍

[0002]在掩模版制造的过程中，需要对掩膜版的边缘进行涂胶、显影及刻蚀等加工操作，若掩摸版的边缘不清理干净的话，会影响后期对掩摸版的边缘进一步加工的效果，对掩膜版的边缘清理内容有版边脱膜、版边去铬等，随着市场发展,掩模板需求量越来越大,小尺寸掩模板需求量更高，在需要对不同尺寸的掩膜版时，现有的掩膜版洗边装置上的冲洗装置不能灵活地调整位置来对不同尺寸的掩膜版进行清洗，这样会出现掩膜版的部分边缘清洗不到的情况，从而导致后期加工出来的掩膜版的质量不符合要求。

技术实现思路

[0003]目的在于提供了一种用于掩膜版的洗边装置，通过将需要进行洗边的掩膜版放置在支撑平台上，在驱动电机的作用下，支撑平台转动使得掩膜版的四边依次与支撑主体上的喷头组件相对应，然后喷头组件移动到合适的位置并喷出相应的药液对掩膜版的边进行清洗，从而解决了现有的掩膜版洗边装置上的冲洗装置不能灵活地调整位置来对不同尺寸的掩膜版进行边缘清洗，这样会出现掩膜版本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于掩膜版的洗边装置，其特征在于，包括:支撑主体，所述支撑主体上设置有可上下左右滑动的喷头组件(7)；旋转组件，该旋转组件用于驱动掩膜版(14)转动，所述旋转组件包括驱动电机(1)和支撑平台(2)，所述驱动电机(1)可水平滑动地设置在支撑主体上，所述支撑平台(2)与驱动电机(1)的主轴连接，所述喷头组件(7)和驱动电机(1)呈间隔设置；控制器，该控制器分别与喷头组件(7)和驱动电机(1)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种用于掩膜版的洗边装置，其特征在于，所述支撑主体包括第一支撑板(4)和第二支撑板(3)，所述第一支撑板(4)的一边沿和第二支撑板(3)的一边沿垂直设置；所述第一支撑板(4)上设置有竖向滑轨(10)和横向滑轨(6)，所述横向滑轨(6)的一侧设置有与竖向滑轨(10)配合的第一滑槽，所述横向滑轨(6)背离第一滑槽的一侧设置有滑块(8)，所述喷头组件(7)设置在滑块(8)上；所述第二支撑板(3)上设置有水平滑轨(5)，所述驱动电机(1)上设置有与水平滑轨(5)配合的第二滑槽(13)。3.根据权利要求1所述的一种用于掩膜版的洗边装置，其特征在于，所述支撑主体上还设置有阻隔板(9)，所述阻隔板(9)与所述支撑平台(2)垂直设置。4.根据权利要求1所述的一种用于掩膜版的洗边装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙多卫，李刚，
申请(专利权)人：成都路维光电有限公司，
类型：新型
国别省市：