下载一种用于掩膜版的洗边装置的技术资料

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本实用新型公开了一种用于掩膜版的洗边装置,涉及掩膜版清洗工具技术领域,包括支撑主体和旋转组件,支撑主体上设置有可滑动的喷头组件,该旋转组件用于驱动掩膜版转动,旋转组件包括驱动电机和支撑平台,驱动电机可滑动地设置在支撑主体上,支撑平台与驱动电...
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