一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对真空室抽真空的真空泵系统，真空泵系统包括都与真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与高真空冷阴极电离规相连通的直流电源和电压表、以及与真空室相连通的皮拉尼真空计。该高真空冷阴极电离规的性能检测装置能够方便地检测高真空冷阴极电离规的性能，其结构较为简单，检测效率较高，能够缩短真空磁控溅射设备的停机时间，降低对生产的影响。

A performance testing device of high vacuum cold cathode ionization gauge

【技术实现步骤摘要】
一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置
本技术涉及一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置。
技术介绍
高真空冷阴极电离规，又称为冷规、IG表，其利用低压下气体分子的电离与压力有关的特性，用放电电流作为真空度的度量，其可以用在真空磁控溅射设备中测量真空度。高真空冷阴极电离规在使用一定周期后需要进行保养维护。在保养维护后，技术人员不能确定其性能是否完全正常。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其能够方便快速地检测出高真空冷阴极电离规的性能是否满足要求，不影响真空磁控溅射设备的使用。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对所述真空室抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统包括都与所述真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与所述真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与所述高真空冷阴极电离规相连通的直流电源本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，其特征在于：所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对所述真空室抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统包括都与所述真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与所述真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与所述高真空冷阴极电离规相连通的直流电源和电压表、以及与所述真空室相连通的皮拉尼真空计。/n

【技术特征摘要】
1.一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，其特征在于：所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对所述真空室抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统包括都与所述真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与所述真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与所述高真空冷阴极电离规相连通的直流电源和电压表、以及与所述真空室相连通的皮拉尼真空计。


2.根据权利要求1所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述高真空冷阴极电离规与所述真空室之间设置有第一蝶阀。


3.根据权利要求1所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：张青涛，饶杰奎，解孝辉，
申请(专利权)人：吴江南玻华东工程玻璃有限公司，中国南玻集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32