一种放电气体环境离子真空规管辅助仪器制造技术

本实用新型专利技术属于真空测量技术领域，具体涉及一种放电气体环境真空规管辅助仪器。该仪器包括：两个金属网状结构的电子和离子屏蔽电极；在两个屏蔽电极之间以及一个屏蔽电极和真空室器壁之间施加两个屏蔽电压，实现第一级离子屏蔽和第二级电子屏蔽；两个绝缘支柱和一个安放于真空室的连接口。该仪器结构简单、成本低廉，能够很好地解决电离真空规管在等离子体环境中读数偏高甚至不能工作的问题，提高其测量稳定性和准确度，可以在放电气体环境中提供可靠的真空测量，同时配合离子真空规管使用，测量放电气体的电离度，规避了传统气体电离度测量成本高、设备复杂的缺点，是一种易于在工业界推广的新型气体电离度监测仪器。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于真空测量
，具体涉及一种提高电离真空规管在放电气体环 境中测量稳定性和准确度的仪器，同时该仪器配合离子真空规管使用，可以测量放电气体 的电离度。
技术介绍
在真空科学中，真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态。人们 通常把这种稀薄的气体状态称为真空状况。随着现代工业水平的提供，真空设施广泛应用 于金属材料工业、核能工业、汽车工业、食品工业和建筑工业等，同时近年来真空技术已 从传统的工业领域转向半导体、平板显示(LCD、 PDP)、纳米科技、精细化工等高端产业 领域。真空区域的划分，根据我国GB3163-82的规定低真空105~102Pa;中真空102~10 "Pa;高真空10" 10—spa;超高真空<l(T5Pa 。真空测量包括全压力测量、分压力测量 和真空计校准三个部分，人们通常使用间接测量压力的真空计在各对应真空量程范围内进 行测量，如使用电阻真空规管(又名皮拉尼真空计)测量105~10—tpa中低真空压力，使 用普通型电离真空规管测量10" 10—spa高真空压力。电离真空规管的工作原理产生的电子从电场获得能量，若与气体分子碰撞，将使气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放电气体环境电离真空规管辅助仪器，其特征在于，包括如下结构单元：一个金属网状结构的离子屏蔽电极（１）；一个与金属网状结构的离子屏蔽电极平行设置的金属网状结构的电子屏蔽电极（２）；离子屏蔽电极（１）和电子屏蔽电极（２）两者构成第一级离子屏蔽，电子屏蔽电极（２）与真空室器壁（３）之间构成第二级电子屏蔽；两个绝缘支柱（７和６）分别设置于离子屏蔽电极（１）和电子屏蔽电极（２）以及电子屏蔽电极（２）与真空室器壁（３）之间，使三者相互绝缘；一个仪器安装接口（５）设置于电子屏蔽电极（２）外侧，用于与真空室电离真空规管接口（４）对接；在离子屏蔽电极（１）和电子屏蔽电极（２）之间施加电压Ｖ１，在电子屏蔽电极...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐旭，李林森，周前红，梁荣庆，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]