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本实用新型公开了一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对真空室抽真空的真空泵系统，真空泵系统包括都与真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、...该专利属于吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司授权不得商用。