一种去除三氟化氮中二氟二氮、四氟二氮的吸附剂制造技术

本发明专利技术涉及一种去除三氟化氮中二氟二氮、四氟二氮的吸附剂，属于三氟化氮纯化技术领域。本发明专利技术所述吸附剂是将无机还原剂和碱性物质吸附于多孔性材料上制备而成的，主要是利用多孔性材料的吸附作用以及其微孔的纳米效应，能够大大提高常温常压下与二氟二氮、四氟二氮的反应速度，从而实现在常温常压下去除三氟化氮中的二氟二氮、四氟二氮。另外，采用本发明专利技术所述吸附剂去除二氟二氮、四氟二氮的条件温和、设备简单、操作安全以及去除效率高。

An adsorbent for the removal of difluorodiazo and tetrafluorodinitrogen from nitrogen trifluoride

【技术实现步骤摘要】
一种去除三氟化氮中二氟二氮、四氟二氮的吸附剂
本专利技术具体涉及一种在常温、常压下能够去除三氟化氮中二氟二氮、四氟二氮的吸附剂，属于三氟化氮纯化

技术介绍
三氟化氮是一种重要的电子化工产品，主要用于集成电路蚀刻和清洗。目前主要采用电解法和化学反应法制备三氟化氮，这两种方法制备的三氟化氮中均含有二氟二氮、四氟二氮。当前去除二氟二氮、四氟二氮的方法主要有蒸馏、精馏法、热裂解法和化学吸收法。CN03122352.4、CN200480009983.X等专利中，根据三氟化氮与二氟二氮、四氟二氮的沸点差异，用蒸馏法去除部分二氟二氮、四氟二氮。但三氟化氮中的二氟二氮、四氟二氮在液体状态下稳定性差，容易发生爆炸。CN03122353.2、CN200480007748.9、KR20110128144、US19780894114等专利中，用高温将二氟二氮、四氟二氮分解成氟气、氮气，再对氟气、氮气进行处理。这种方法设备简单、不存在爆炸危险，但产生的剧毒性氟气存在安全隐患。《三氟化氮纯化的新工艺》(宋海华，现代化工，2004年04期)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种去除三氟化氮中二氟二氮、四氟二氮的吸附剂，其特征在于：所述吸附剂是将多孔性材料在浸渍液中浸渍、沥干、干燥而获得的；/n所述多孔性材料的比表面积≥200m

【技术特征摘要】
1.一种去除三氟化氮中二氟二氮、四氟二氮的吸附剂，其特征在于：所述吸附剂是将多孔性材料在浸渍液中浸渍、沥干、干燥而获得的；
所述多孔性材料的比表面积≥200m2/g、粒径0.5mm～5mm以及微孔直径0.1nm～5nm；
所述浸渍液是无机还原剂和碱性物质配制而成的水溶液，其中，无机还原剂为水溶性的亚硫酸盐、硫代硫酸盐或焦亚硫酸盐，碱性物质为水溶性的氢氧化物。


2.根据权利要求1所述的去除三氟化氮中二氟二氮、四氟二氮的吸附剂，其特征在于：多孔性材料包括活性炭、活性氧化铝、分子筛或硅胶。


3.根据权利要求1所述的去除三氟化氮中二氟二氮、四氟二氮的吸附剂，其特征在于：多孔性材料为活性炭或分子筛。


4.根据权利要求1所述的去除三氟化氮中二氟二氮、四氟二氮的吸附剂，其特征在于：无机还原剂为亚硫酸钠、硫代硫酸钠、焦亚硫酸钠、亚硫酸...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐海云，宋富财，郭君，岳立平，胡帅，张帅，郑艺，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13