气体供给单元和气体供给系统技术方案

小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元（１１Ａ）安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块（１２－１７）连通且控制工作气体的流体控制装置（２－６，９）。气体供给单元具有第一流路模块（１４），包括在流体控制装置内的入口开关阀（４）固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块（１７），包括在流体控制装置内的净化阀（９）固定至其一侧。第一流路模块（１４）和第二流路模块（１７）在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀（４）和净化阀（９）设置在质量流控制器（５）和安装表面之间，其中所述质量流控制器（５）安装在工作气体输送管路上，单元（１１Ａ）安装在所述安装表面内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及气体供给单元和气体供给系统，所述气体供给单元和 气体供给系统安装在供给气体输送管路上，并且设置有用于控制供给 气体的流体控制装置。
技术介绍
迄今为止，在半导体制造工艺中，采用腐蚀性气体用于光刻工艺 中的蚀刻或类似操作。在半导体制造工艺中，光刻工艺(光刻胶涂渍、 曝光、显象和蚀刻)重复数次。因此，用于提供所需要的腐蚀性气体 的气体供给单元用于实际的半导体制造工艺中。图15是气体供给单元的回路框图的一个实例。在气体供给单元中，工作气体和净化气体在图中从气体供给单元 的左侧流向右侧。工作气体供给源1依次连接至调节器2、压力传感器 3、入口开关阀4 (对应于权利要求中的"第一流体控制装置")、质量流 控制器5以及出口开关阀6。出口开关阀6的出口端口连接至真空室7。 另一方面，净化气体供给源8连接至净化阀(对应于权利要求中的"第 二流体控制装置")9。净化阀9的输出端口连接至入口开关阀4和质量 流控制器5，并且位于两者之间。图16是传统的气体供给单元100的侧视图，其包括图15中所示 的回路框图。传统的气体供给单元100具有如下结构。调节器2通过从上方紧 固的螺栓固定在输入模块101和流路模块102的顶表面上，并且，调节器2的输入端口通过输入模块101与工作气体供给源1连通。压力传感器3通过从上方紧固的螺栓固定在流路模块102和流路模块103 的顶表面上，并且，压力传感器3的输入端口与调节器的输出端口连 通。入口开关阀4通过从上方紧固的螺栓固定在流路模块103和流路 模块104的顶表面上，并且，入口开关阀4的输入端口与压力传感器3 的输出端口连通。净化阀9通过从上方紧固的螺栓固定在流路模块104、 流路模块105和净化模块108的顶表面上。净化阀9的工作气体输入 端口与入口开关阀4的输出端口连通，并且，净化阀9的净化气体输 入端口通过净化模块108与净化气体供给源8连通。质量流控制器5 通过从上方紧固的螺栓固定在流路模块105和流路模块106的顶表面 上，并且，质量流控制器5的输入端口与净化阀9的公共输出端口连 通。出口开关阀6通过从上方紧固的螺栓固定在流路模块106和输出 模块107的顶表面上，并且，出口开关阀6的输出端口通过输出模块 107与真空室7连通。气体供给单元100配备有装置2至9，所述装置 2至9通过从上方紧固的螺栓固定，从而全长可以更短，并且，与所有 装置2至9通过利用管路连接的情况(参见专利文献1)相比，单元 IOO可以制造得更为紧凑。此外，质量流控制器5通过流路模块105和106保持在上升位置， 以与安装表面之间形成空隙。在此情况下，要求更换的频率较低的入 口开关阀4或出口开关阀6在流路模块105和106上安装在旁侧，并 且设置在质量流控制器5和安装表面之间，从而使气体供给单元的全 长进一步縮短。已经提出了这样的技术(参见专利文献2)。专利文献l:日本在审专利公开No.JPll ( 1999) —159649 专利文献2:国际公开No.W02002/09305
技术实现思路
本专利技术要解决的问题传统的气体供给单元IOO被设置成这样，即，装置2至9从上方安装在模块101至107上，并且， 一个装置安装在质量流控制器5和 安装表面之间，以使单元100结构紧凑。然而，即使这样的布置结构 仍然不能满足今天更紧凑的工作气体供给单元的需求。换句话说，在装置2至4和安装表面之间存在不必要的空间，从而导致大的台面面 积(footprint)。此外，各装置与两个模块固定到一起以与其他装置相连 通，因此，模块和密封部件的数量增加以密封装置与模块之间的连接 部分。因此，传统的气体供给单元需要较高的用于例如各模块和密封 件的材料的材料成本，并且需要更高的用于加工密封部件的加工成本， 从而导致总成本增加。本专利技术致力于解决上述问题，并且其目的是提供紧凑、经济的气 体供给单元和气体供给系统。用于解决问题的方案为实现上述目的，本专利技术的气体供给单元被形成为具有下列结构。(1) 一种气体供给单元，其安装在工作气体输送管路上，并且包 括多个流体控制装置，所述流体控制装置通过流路模块彼此连通以控 制工作气体，所述气体供给单元包括第一流路模块和第二流路模块， 所述第一流路模块具有包括在流体控制装置内的第一流体控制装置连 接在其上的侧表面，所述第二流路模块具有包括在流体控制装置内的 第二流体控制装置连接在其上的侧表面，其中，在垂直于工作气体的 输送方向的方向上，第一流路模块和第二流路模块彼此堆叠，并且， 第一流体控制装置和第二流体控制装置设置在流体控制装置和安装表 面之间，所述流体控制装置安装在工作气体输送管路上，所述单元安 装在所述安装表面上。(2) 在根据(1)所述的气体供给单元中，优选地，第一流路模 块被形成为在顶表面和底表面上具有至少一个端口 ，所述端口通过第 一流体控制装置相互连通，并且，第二流路模块被形成为在顶表面和 侧表面上具有至少一个端口 ，所述侧表面与将第二流体控制装置连接到的侧表面相对，所述端口通过第二流体控制装置相互连通。(3) 在根据(2)所述的气体供给单元中，优选地，第一流路模 块被形成为具有在与将第一流体控制装置连接到的侧表面相对的侧表 面内开口的至少一个端口，所述端口通过流体控制装置与在第一流路 模块的顶表面和底表面内开口的端口连通。(4) 在根据(1)至(3)中所述的气体供给单元中的任一个气体 供给单元中，优选地，用于将第一流路模块或者第二流路模块连接至 安装在工作气体输送管路上的流路模块的旁通管设置在流体控制装置 和安装表面之间。此外，为实现上述目的，本专利技术的气体供给系统被形成为具有下 列结构。(5) —种气体供给系统，其包括一对支架，所述支架安装在根据 (1)至(4)中任何一项所述的气体供给单元的两端上，用于水平地保持气体供给单元，其中，所述一对支架固定至安装构件，由此，气 体供给单元被集成。专利技术效果下面描述本专利技术的操作和优点。在本专利技术的气体供给单元中，例如，为了在水平方向上提供工作 气体，第一流路模块和第二流路模块沿垂直方向设置，或者沿相对于 工作气体的输送方向的竖直方向设置。因此，固定至第一流路模块的 一侧表面的第一流体控制装置和固定至第二流路模块的一侧表面的第 二流体控制装置在流体控制装置和安装表面之间的间隙内横向安装， 所述流体控制装置设置在工作气体供给管路和安装表面上，所述气体 供给单元固定至所述安装表面。简而言之，在安装在气体供给单元内的流体控制装置中，除第一和第二流体控制装置以外的其他流体控制 装置设置在工作气体输送管路上。此外，第一和第二流路模块在垂直 方向上堆叠，以消除单元总长方向上的不必要的空间，因此，与一个 流体控制装置固定至两个流路模块的情形相比，流路模块之间的不必 要的空间减小。在此情况下，第一和第二流体控制装置分别直接地固 定至第一和第二流路模块。因此，在气体供给单元中，与一个装置固 定至两个流路模块的情形相比，模块和密封部件的数量可以减少。因此，在本专利技术的气体供给单元中，流路模块中的不必要的空间 减小，同样，安装在工作气体输送管路上的流体控制装置的数量减少， 从而单元的总长可以縮短，并且单元本身可以制造得紧凑。此外，在 本专利技术的气体供给单元中，通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体供给单元，该气体供给单元要安装在工作气体输送管路上，并且包括多个流体控制装置，所述多个流体控制装置通过流路模块彼此连通，以控制工作气体，所述气体供给单元包括：　第一流路模块，该第一流路模块具有侧表面，包括在所述流体控制装置中的 第一流体控制装置连接在上述侧表面上；和　第二流路模块，该第二流路模块具有侧表面，包括在所述流体控制装置中的第二流体控制装置连接在上述侧表面上，其中　在与所述工作气体的输送方向垂直的方向上，所述第一流路模块和所述第二流路模块彼此堆 叠，并且，所述第一流体控制装置和所述第二流体控制装置布置在所述流体控制装置和安装表面之间，所述流体控制装置安装在所述工作气体输送管路上，所述单元要安装在所述安装表面上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：守谷修司，长冈秀树，冈部庸之，板藤宽，土居广树，伊藤稔，
申请(专利权)人：喜开理株式会社，东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]