掩模夹具、电镀装置制造方法及图纸

掩模夹具(100)具备：接触部件(130)，该接触部件(130)形成有使棒状的活塞杆(10)通过的贯通孔(133)，并且在贯通孔(133)的周围具有，该变形部(134)通过活塞杆(10)的外螺纹(10e)插入到贯通孔(133)中而发生弹性变形并与活塞杆(10)的外周端面接触；以及支撑单元(170)，其沿着与活塞杆(10)的轴心方向交叉的方向可移动地支撑接触部件(130)。

Mask fixture, electroplating device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】掩模夹具、电镀装置
本专利技术涉及掩模夹具、电镀装置。
技术介绍
以往提出了具备对棒状工件(被镀覆部件)的下部进行掩蔽的掩模夹具的电镀装置。例如，专利文献1所记载的电镀装置为将用工件支撑机构悬吊的棒状工件浸渍在具备阳极且填充有电镀液的镀覆槽中的形式的电镀装置，其中，在镀覆槽中具备掩蔽工件下部的掩模夹具，工件的下部在电镀液中被插入到掩模夹具中而进行掩蔽。并且，掩模夹具具备用于收纳工件下部的比工件外径更大的凹部、或直径比工件外径更大的贯通孔。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平9-13191号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题在对于棒状的被镀覆部件的规定部位实施要形成希望镀覆的物质(金属)的薄膜的镀覆处理之前，例如若被镀覆部件的轴心与掩模夹具的凹部或贯通孔的中心错位，则在所要掩蔽的部位也可能会被镀覆(也可能会形成薄膜)。本专利技术的目的在于提供一种能够抑制所要掩蔽的部位被镀覆的掩模夹具、电镀装置。用于解决课题的手段为了实现该目的，本专利技术涉及本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩模夹具，其特征在于，该掩模夹具具备：/n接触部件，该接触部件形成有使棒状的被镀覆部件通过的贯通孔，并且在所述贯通孔的周围具有变形部，该变形部通过所述被镀覆部件的特定部位插入到所述贯通孔中而发生弹性变形并与所述被镀覆部件的外周端面接触，以及/n支撑部，其支撑所述接触部件，所述接触部件可沿着与所述被镀覆部件的轴心方向交叉的方向移动。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170630 JP 2017-1292331.一种掩模夹具，其特征在于，该掩模夹具具备：
接触部件，该接触部件形成有使棒状的被镀覆部件通过的贯通孔，并且在所述贯通孔的周围具有变形部，该变形部通过所述被镀覆部件的特定部位插入到所述贯通孔中而发生弹性变形并与所述被镀覆部件的外周端面接触，以及
支撑部，其支撑所述接触部件，所述接触部件可沿着与所述被镀覆部件的轴心方向交叉的方向移动。


2.如权利要求1所述的掩模夹具，其中，所述变形部以辐射状形成有狭缝而分离成复数部分。


3.如权利要求1或2所述的掩模夹具，其中，所述接触部件为弹性体，并且由沿所述被镀覆部件的轴向重叠的复数个层构成。


4.如权利要求1～3中任一项所述的掩模夹具，其具有抑制部件，该抑制部件抑制希望镀覆的物质去往所述特定部位。


5.如权利要求4所述的掩模夹具，其中，所述抑制部件具有相对于所述被镀覆部件的轴心方向倾斜的倾斜部，随着向所述接触部件的方向行进，该倾斜部与所述被镀覆部...

【专利技术属性】
技术研发人员：小池勇辉，铃木健司，仓持政美，高桥健二，
申请(专利权)人：株式会社昭和，
类型：发明
国别省市：日本;JP