一种微纳加工电镀系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种微纳加工电镀系统，属于电镀技术领域。在水浴缸中装入电镀液，将处理后的长方体衬底与电镀材料分别安装至两个电极夹的凹槽中内，拧紧两个电极夹上的螺钉，将长方体衬底与电镀材料良好地固定在电极夹上。使连接板升降模块带动连接板向水浴缸移动直至电极夹上的长方体衬底与电镀材料接触电镀液，对电极通电并控制连接板朝向水浴缸的底面移动。两个电极夹平行相对，且二者滑动方向均平行水浴缸的底面，保证两个电极夹上的长方体衬底与电镀材料同时进入电镀液，避免电镀液条件发生较大变化影响规则的阶梯状的微结构的形成，结合以一定速度移向水浴缸的底面的连接板，以在长方体衬底的表面形成规则的阶梯状的微结构。

A micro nano electroplating system

The utility model discloses a micro nano processing electroplating system, which belongs to the technical field of electroplating. Install the plating solution in the water bath, install the treated cuboid substrate and the plating material into the grooves of the two electrode clamps, tighten the screws on the two electrode clamps, and fix the cuboid substrate and the plating material on the electrode clamps well. The lifting module of the connecting plate drives the connecting plate to move towards the water bath until the rectangular substrate on the electrode clamp contacts the electroplating material, energizes the electrode and controls the moving of the connecting plate towards the bottom of the water bath. The two electrode clamps are parallel to each other, and their sliding directions are parallel to the bottom of the water bath, so as to ensure that the rectangular substrate on the two electrode clamps and the electroplating material enter the electroplating solution at the same time, so as to avoid the influence of large changes in the electroplating solution conditions on the formation of regular ladder like microstructure. In combination with the connection plate moving to the bottom of the water bath at a certain speed, to form a gauge on the surface of the rectangular substrate The ladder like microstructure.

【技术实现步骤摘要】
一种微纳加工电镀系统
本技术涉及电镀
，特别涉及一种微纳加工电镀系统。
技术介绍
微纳加工技术通常是在长方体衬底上面制备微结构，其常用于制备各种微器件与微结构。当前有一种长方体衬底，需要在其表面上制备出规则的精度较高的阶梯状的微结构，但当前的微纳加工技术难以实现这一功能。
技术实现思路
本技术实施例提供了一种微纳加工电镀系统，能够在长方体衬底的表面上制备出规则的精度较高的阶梯状的微结构。所述技术方案如下：本技术实施例提供了一种微纳加工电镀系统，所述微纳加工电镀系统包括安装架、水浴缸、水浴缸加热模块、连接板、两个结构相同的电极夹、两个电极，所述水浴缸加热模块设置在所述安装架上，所述水浴缸设置在所述水浴缸加热模块上，所述水浴缸包括底面，所述底面为平面，所述微纳加工电镀系统还包括用于驱动所述连接板沿垂直所述水浴缸的底面的方向升降的连接板升降模块，所述连接板升降模块设置在所述安装架上，每个所述电极夹均夹设有一个所述电极，两个所述电极夹平行相对且均可滑动地设置在所述连接板上，每个所述电极夹的滑动方向平行所述水浴缸的底面，两个所述电极夹的对称面垂直所述水浴缸的底面，每个所述电极夹在所述水浴缸的底面所在平面上的投影均在所述水浴缸的底面内，每个所述电极夹朝向所述水浴缸的开口的一端设置有凹槽，所述凹槽包括平行相对的两个侧壁，所述侧壁平行两个所述电极夹的对称面，每个所述电极夹上设置有螺纹孔，所述螺纹孔由所述侧壁延伸至所述电极夹外部，所述螺纹孔内插设有螺钉。可选地，所述连接板上设置有腰形孔，所述连接板背离所述水浴缸的一面沿所述腰形孔的周向上开设有限位槽，两个所述电极夹均插设在所述腰形孔内，两个所述电极夹上均设置有卡环，所述卡环卡设在所述限位槽的底面上。可选地，两个所述电极夹均为圆柱形电极夹，每个所述电极夹上均设置有沿其轴向的通孔，所述通孔由所述电极夹的一端延伸至所述电极夹上的所述凹槽，所述通孔内插设一个所述电极。可选地，每个所述电极夹上的凹槽的侧壁上，设置有与所述电极夹所夹设的电极相同的金属层，所述电极夹所夹设的电极与所述金属层相接。可选地，两个所述电极夹的轴线之间的距离为1～200mm。可选地，所述连接板背离所述水浴缸的一面上设置有刻度，所述刻度沿所述腰形孔的长度方向延伸。可选地，所述连接板升降模块包括丝杆、螺母、限位杆与丝杆驱动结构，所述丝杆的一端与所述安装架连接，所述丝杆的另一端与所述丝杆驱动结构连接，所述丝杆驱动结构固定在所述安装架上，所述螺母套设在所述丝杆上，所述螺母与所述丝杆转动连接，所述限位杆平行所述丝杆设置在所述安装架上，所述螺母上设置有限位孔，所述限位杆插设在所述限位孔内，所述连接板与所述螺母连接。可选地，所述丝杆的螺距为0.5mm。可选地，所述丝杆驱动结构为步进电机。可选地，所述步进电机的步距角小于或等于1.8°。本技术实施例提供的技术方案带来的有益效果是：当需要在长方体衬底的表面制作出规则的阶梯状的微结构的时候，先对长方体衬底的表面不需要电镀的部分涂覆上光刻胶。在水浴缸中装入电镀液，调整安装在连接板上的两个电极夹之间的距离，结合电镀液控制长方体衬底与电镀材料进入电镀液之后的电镀条件。水浴缸加热模块将水浴缸加热至一定温度，将处理后的长方体衬底与电镀材料分别安装至两个电极夹的凹槽中内，长方体衬底的需要电镀的表面与凹槽的侧壁平行。拧紧两个电极夹上的螺钉，一个电极夹上的螺钉的一端顶设在长方体衬底上，另一个电极夹上的螺钉的一端顶设在电镀材料上，能够将长方体衬底与电镀材料良好地固定在两个电极夹上。使连接板升降模块工作带动连接板向水浴缸移动直至两个电极夹上的长方体衬底与电镀材料接触电镀液，此时对两个电极通电并控制连接板以一定速度朝向水浴缸的底面移动。两个平行相对的相同的电极夹的对称面垂直水浴缸的底面，且二者的滑动方向均平行水浴缸的底面，两个电极夹的对称面垂直所述水浴缸的底面，可保证两个电极夹上的长方体衬底与电镀材料同时进入电镀液，避免电镀液条件发生较大变化影响规则的阶梯状的微结构的形成，结合以一定速度移向水浴缸的底面的连接板，长方体衬底的表面上不同部分进入电镀液的时间不同，最终在长方体衬底的表面制作出规则的阶梯状的微结构。附图说明图1是本技术实施例提供的一种微纳加工电镀系统的结构示意图；图2是本技术提供的连接板升降模块与电极夹的装配示意图；图3是本技术提供的限位槽的俯视图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术实施方式作进一步地详细描述。图1是本技术实施例提供的一种微纳加工电镀系统的结构示意图，如图1所示，该微纳加工电镀系统包括安装架1、水浴缸2、水浴缸加热模块3、连接板4、两个结构相同的电极夹5、两个电极6，水浴缸加热模块3设置在安装架1上，水浴缸2设置在水浴缸加热模块3上，水浴缸2包括底面21，底面21为平面。微纳加工电镀系统还包括用于驱动连接板4沿垂直水浴缸2的底面21的方向升降的连接板升降模块7，连接板升降模块7设置在安装架1上。每个电极夹5均夹设有一个电极6，两个电极夹5平行相对且均可滑动地设置在连接板4上，每个电极夹5的滑动方向平行水浴缸2的底面21，两个电极夹5的对称面垂直水浴缸2的底面21。每个电极夹5在水浴缸2的底面21所在平面上的投影均在水浴缸2的底面21内。每个电极夹5朝向水浴缸2的开口的一端设置有凹槽51，凹槽51包括平行相对的两个侧壁，侧壁平行两个电极夹5的对称面(图中未示出)。每个电极夹5上设置有螺纹孔，螺纹孔由侧壁延伸至电极夹5外部，螺纹孔内插设有螺钉8。当需要在长方体衬底B的表面制作出规则的阶梯状的微结构的时候，先对长方体衬底B的表面不需要电镀的部分涂覆上光刻胶。在水浴缸2中装入电镀液，调整安装在连接板4上的两个电极夹5之间的距离，结合电镀液控制长方体衬底B与电镀材料A进入电镀液之后的电镀条件。水浴缸加热模块3将水浴缸2加热至一定温度后，将处理后的长方体衬底B与电镀材料A分别安装至两个电极夹5的凹槽51中内，长方体衬底B的需要电镀的表面与凹槽51的侧壁平行。拧紧两个电极夹5上的螺钉8，一个电极夹5上的螺钉8的一端顶设在长方体衬底B上，另一个电极夹5上的螺钉8的一端顶设在电镀材料A上，能够将长方体衬底B与电镀材料A良好地固定在两个电极夹5上。使连接板升降模块7工作带动连接板4向水浴缸2移动直至两个电极夹5上的长方体衬底B与电镀材料A接触电镀液，此时对两个电极6通电并控制连接板4以一定速度朝向水浴缸2的底面21移动。两个平行相对的相同的电极夹5的对称面垂直水浴缸2的底面21，且二者的滑动方向均平行水浴缸2的底面21，可保证两个电极夹5上的长方体衬底B与电镀材料A同时进入电镀液，避免电镀液条件发生较大变化影响规则的阶梯状的微结构的形成，结合以一定速度移向水浴缸2的底面的连接板4，长方体衬底B的表面上不同部分进入电镀液的时间不同，最终在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微纳加工电镀系统，其特征在于，所述微纳加工电镀系统包括安装架、水浴缸、水浴缸加热模块、连接板、两个结构相同的电极夹、两个电极，所述水浴缸加热模块设置在所述安装架上，所述水浴缸设置在所述水浴缸加热模块上，所述水浴缸包括底面，所述底面为平面，/n所述微纳加工电镀系统还包括用于驱动所述连接板沿垂直所述水浴缸的底面的方向升降的连接板升降模块，所述连接板升降模块设置在所述安装架上，/n每个所述电极夹均夹设有一个所述电极，两个所述电极夹平行相对且均可滑动地设置在所述连接板上，每个所述电极夹的滑动方向平行所述水浴缸的底面，两个所述电极夹的对称面垂直所述水浴缸的底面，每个所述电极夹在所述水浴缸的底面所在平面上的投影均在所述水浴缸的底面内，每个所述电极夹朝向所述水浴缸的开口的一端设置有凹槽，所述凹槽包括平行相对的两个侧壁，所述侧壁平行两个所述电极夹的对称面，每个所述电极夹上设置有螺纹孔，所述螺纹孔由所述侧壁延伸至所述电极夹外部，所述螺纹孔内插设有螺钉。/n

【技术特征摘要】
1.一种微纳加工电镀系统，其特征在于，所述微纳加工电镀系统包括安装架、水浴缸、水浴缸加热模块、连接板、两个结构相同的电极夹、两个电极，所述水浴缸加热模块设置在所述安装架上，所述水浴缸设置在所述水浴缸加热模块上，所述水浴缸包括底面，所述底面为平面，
所述微纳加工电镀系统还包括用于驱动所述连接板沿垂直所述水浴缸的底面的方向升降的连接板升降模块，所述连接板升降模块设置在所述安装架上，
每个所述电极夹均夹设有一个所述电极，两个所述电极夹平行相对且均可滑动地设置在所述连接板上，每个所述电极夹的滑动方向平行所述水浴缸的底面，两个所述电极夹的对称面垂直所述水浴缸的底面，每个所述电极夹在所述水浴缸的底面所在平面上的投影均在所述水浴缸的底面内，每个所述电极夹朝向所述水浴缸的开口的一端设置有凹槽，所述凹槽包括平行相对的两个侧壁，所述侧壁平行两个所述电极夹的对称面，每个所述电极夹上设置有螺纹孔，所述螺纹孔由所述侧壁延伸至所述电极夹外部，所述螺纹孔内插设有螺钉。


2.根据权利要求1所述的微纳加工电镀系统，其特征在于，所述连接板上设置有腰形孔，所述连接板背离所述水浴缸的一面沿所述腰形孔的周向上开设有限位槽，两个所述电极夹均插设在所述腰形孔内，两个所述电极夹上均设置有卡环，所述卡环卡设在所述限位槽的底面上。


3.根据权利要求2所述的微纳加工电镀系统，其特征在于，两个所述电极夹均为圆柱形电极夹，每个所述电极夹上均设置有沿其轴向的通孔，所述通孔由所述电极夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：何荣祥，张正涛，陈勇，
申请(专利权)人：江汉大学，
类型：新型
国别省市：湖北;42