一种微纳加工电镀系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种微纳加工电镀系统，属于电镀技术领域。在水浴缸中装入电镀液，将处理后的长方体衬底与电镀材料分别安装至两个电极夹的凹槽中内，拧紧两个电极夹上的螺钉，将长方体衬底与电镀材料良好地固定在电极夹上。使连接板升降模块带动连接板向水浴缸移动直至电极夹上的长方体衬底与电镀材料接触电镀液，对电极通电并控制连接板朝向水浴缸的底面移动。两个电极夹平行相对，且二者滑动方向均平行水浴缸的底面，保证两个电极夹上的长方体衬底与电镀材料同时进入电镀液，避免电镀液条件发生较大变化影响规则的阶梯状的微结构的形成，结合以一定速度移向水浴缸的底面的连接板，以在长方体衬底的表面形成规则的阶梯状的微结构。

A micro nano electroplating system

The utility model discloses a micro nano processing electroplating system, which belongs to the technical field of electroplating. Install the plating solution in the water bath, install the treated cuboid substrate and the plating material into the grooves of the two electrode clamps, tighten the screws on the two electrode clamps, and fix the cuboid substrate and the plating material on the electrode clamps well. The lifting module of the connecting plate drives the connecting plate to move towards the water bath until the rectangular substrate on the electrode clamp contacts the electroplating material, energizes the electrode and controls the moving of the connecting plate towards the bottom of the water bath. The two electrode clamps are parallel to each other, and their sliding directions are parallel to the bottom of the water bath, so as to ensure that the rectangular substrate on the two electrode clamps and the electroplating material enter the electroplating solution at the same time, so as to avoid the influence of large changes in the electroplating solution conditions on the formation of regular ladder like microstructure. In combination with the connection plate moving to the bottom of the water bath at a certain speed, to form a gauge on the surface of the rectangular substrate The ladder like microstructure.

【技术实现步骤摘要】
一种微纳加工电镀系统
本技术涉及电镀
，特别涉及一种微纳加工电镀系统。
技术介绍
微纳加工技术通常是在长方体衬底上面制备微结构，其常用于制备各种微器件与微结构。当前有一种长方体衬底，需要在其表面上制备出规则的精度较高的阶梯状的微结构，但当前的微纳加工技术难以实现这一功能。
技术实现思路
本技术实施例提供了一种微纳加工电镀系统，能够在长方体衬底的表面上制备出规则的精度较高的阶梯状的微结构。所述技术方案如下：本技术实施例提供了一种微纳加工电镀系统，所述微纳加工电镀系统包括安装架、水浴缸、水浴缸加热模块、连接板、两个结构相同的电极夹、两个电极，所述水浴缸加热模块设置在所述安装架上，所述水浴缸设置在所述水浴缸加热模块上，所述水浴缸包括底面，所述底面为平面，所述微纳加工电镀系统还包括用于驱动所述连接板沿垂直所述水浴缸的底面的方向升降的连接板升降模块，所述连接板升降模块设置在所述安装架上，每个所述电极夹均夹设有一个所述电极，两个所述电极夹平行相对且均可滑动地设置在所述连接板上，每个所述电极夹的滑动方向平行所述水本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微纳加工电镀系统，其特征在于，所述微纳加工电镀系统包括安装架、水浴缸、水浴缸加热模块、连接板、两个结构相同的电极夹、两个电极，所述水浴缸加热模块设置在所述安装架上，所述水浴缸设置在所述水浴缸加热模块上，所述水浴缸包括底面，所述底面为平面，/n所述微纳加工电镀系统还包括用于驱动所述连接板沿垂直所述水浴缸的底面的方向升降的连接板升降模块，所述连接板升降模块设置在所述安装架上，/n每个所述电极夹均夹设有一个所述电极，两个所述电极夹平行相对且均可滑动地设置在所述连接板上，每个所述电极夹的滑动方向平行所述水浴缸的底面，两个所述电极夹的对称面垂直所述水浴缸的底面，每个所述电极夹在所述水浴缸的底面所...

【技术特征摘要】
1.一种微纳加工电镀系统，其特征在于，所述微纳加工电镀系统包括安装架、水浴缸、水浴缸加热模块、连接板、两个结构相同的电极夹、两个电极，所述水浴缸加热模块设置在所述安装架上，所述水浴缸设置在所述水浴缸加热模块上，所述水浴缸包括底面，所述底面为平面，
所述微纳加工电镀系统还包括用于驱动所述连接板沿垂直所述水浴缸的底面的方向升降的连接板升降模块，所述连接板升降模块设置在所述安装架上，
每个所述电极夹均夹设有一个所述电极，两个所述电极夹平行相对且均可滑动地设置在所述连接板上，每个所述电极夹的滑动方向平行所述水浴缸的底面，两个所述电极夹的对称面垂直所述水浴缸的底面，每个所述电极夹在所述水浴缸的底面所在平面上的投影均在所述水浴缸的底面内，每个所述电极夹朝向所述水浴缸的开口的一端设置有凹槽，所述凹槽包括平行相对的两个侧壁，所述侧壁平行两个所述电极夹的对称面，每个所述电极夹上设置有螺纹孔，所述螺纹孔由所述侧壁延伸至所述电极夹外部，所述螺纹孔内插设有螺钉。


2.根据权利要求1所述的微纳加工电镀系统，其特征在于，所述连接板上设置有腰形孔，所述连接板背离所述水浴缸的一面沿所述腰形孔的周向上开设有限位槽，两个所述电极夹均插设在所述腰形孔内，两个所述电极夹上均设置有卡环，所述卡环卡设在所述限位槽的底面上。


3.根据权利要求2所述的微纳加工电镀系统，其特征在于，两个所述电极夹均为圆柱形电极夹，每个所述电极夹上均设置有沿其轴向的通孔，所述通孔由所述电极夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：何荣祥，张正涛，陈勇，
申请(专利权)人：江汉大学，
类型：新型
国别省市：湖北;42