【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光刻显影领域,特别涉及一种光固化型透明聚酰亚胺及光固化型透明聚酰亚胺的制备方法和高透明光固化组合物。
技术介绍
1、聚酰亚胺(polyimide,pi)是指聚合物主链上以酰亚胺环为结构特征的杂环高分子。pi分子中稳定的芳杂环结构单元,使其具有优良的综合性能,优良的综合性能包括在200~400℃内具有突出的介电性能、力学性能、耐磨性及耐腐蚀性。同时,在高温高辐射剂量下能长期保持其力学性能和介电性能,是一种理想的绝缘材料。在聚酰亚胺的细分领域中,光敏聚酰亚胺(photosensitivepolyimide,pspi)是一类具备光敏特性的聚酰亚胺的树脂,因此可以利用聚酰亚胺的优异理化性质,进一步改进其性能。随着科学技术的发展,许多研究机构着手研究一种在传统聚酰亚胺基础上适当接入光敏基团形成光敏聚酰亚胺的工艺,因为使用光敏聚酰亚胺体系不仅可以节约光刻成本,缩短工艺周期,而且还能显著提高光刻效果,是当前电子和微电子领域理想的一种微流道光刻材料。
2、但是,目前的光敏聚酰亚胺在应用过程中存在灵敏度较低的缺点,如一般的丙烯酸酯型
...【技术保护点】
1.一种光固化型透明聚酰亚胺,其特征在于,所述光固化型透明聚酰亚胺的结构通式如下:
2.根据权利要求1所述的光固化型透明聚酰亚胺,其特征在于,Ar1为如下基团中的至少一种:
3.根据权利要求1所述的光固化型透明聚酰亚胺,其特征在于,所述芳香族二胺的二价有机基团包括:
4.一种如权利要求1所述的光固化型透明聚酰亚胺的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
5.根据权利要求4所述的光固化型透明聚酰亚胺的制备方法,其特征在于,所述非质子极性溶剂为N-甲基吡咯烷酮和二甲基乙酰胺中的至少一种。
6.根据权利要求4所述的光
...【技术特征摘要】
1.一种光固化型透明聚酰亚胺,其特征在于,所述光固化型透明聚酰亚胺的结构通式如下:
2.根据权利要求1所述的光固化型透明聚酰亚胺,其特征在于,ar1为如下基团中的至少一种:
3.根据权利要求1所述的光固化型透明聚酰亚胺,其特征在于,所述芳香族二胺的二价有机基团包括:
4.一种如权利要求1所述的光固化型透明聚酰亚胺的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
5.根据权利要求4所述的光固化型透明聚酰亚胺的制备方法,其特征在于,所述非质子极性溶剂为n-甲基吡咯烷酮和二甲基乙酰胺中的至少一种。
6.根据权利要求4所述的光固化型透明聚酰亚胺的制备方法,其特征在于,所述二酐单体为以下二酐结构式中的至少一种:
7.根据权利要求4所述的光固化型透明聚酰亚胺的制备方...
【专利技术属性】
技术研发人员:尤庆亮,程攻,刘学清,蒋湛,胡璟煜,肖标,刘志宏,何荣祥,刘继延,肖媛媛,陈婷,孙凌龙,李淇,蔡晨,
申请(专利权)人:江汉大学,
类型:发明
国别省市:
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