一种热绝缘电接触探针制造技术

本发明专利技术公开了一种热绝缘电接触探针，包括安装板，其具有限定销钉通过的管状销钉导向器；盖，其联接至安装板并具有包围该销钉导向器的颈部；以及绝缘销，该绝缘销具有位于其内部的柄部。销通孔并限定出导体通孔，凸缘部分从柄部在销导向器的顶部上方径向向外延伸，并且袋状部分从凸缘部分延伸并且限定了孔状。所述电接触探头还可以包括设置中间的弹簧凸缘部和所述安装板，所述弹簧从所述安装板偏压离开凸缘部分，一个电接触垫设置在袋中，并且电导体联接到电接触垫并延伸穿过导体穿通部。

A thermal insulation electric contact probe

【技术实现步骤摘要】
一种热绝缘电接触探针
本专利技术涉及电连接装置
，具体为一种隔热电接触探针。
技术介绍
离子注入是用于将改变导电性的杂质引入到诸如晶片或其他工件的衬底中的技术。所需的杂质材料在离子束注入机的离子源中被离子化，离子被加速以形成具有规定能量的离子束，并且该离子束被导向基板的表面。离子束中的高能离子会渗透到基板材料的主体中，并嵌入到材料的晶格中，以形成所需电导率的区域。在一些离子注入工艺中，通过在高温下将离子注入到目标衬底中来实现期望的掺杂分布。可以通过在离子注入过程中将基板支撑在加热的压板上来实现基板的加热。常规的加热压板可以通过多个电接触探针连接到电源。可以将附加的电接触探针连接到加热的压板，以实现基板的静电夹持。在操作期间，连接到加热的压板的各种电接触探针可从加热的压板吸收热量，并且可降低与电接触探针相邻的局部区域中的加热的压板的温度。可以理解，加热台板的材料中的任何温度变化都可能影响传递到由加热台板支撑和加热的目标基板的热量的均匀性，从而可能对离子注入工艺产生不利影响。在某些情况下，加热的压板中的温度变化会导致加热的压板翘曲，弯曲甚至破裂。鉴于前述内容，需要减轻经由加热压板中的电连接的热损失，以实现均匀的压板温度。
技术实现思路
提供本概述是为了以简化形式介绍一些概念。本概述既不旨在标识所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不旨在帮助确定所要求保护的主题的范围。根据本公开的用于提供与加热的压板的电连接的绝热电接触探针的示例性实施例可以包括：安装板，其具有限定销钉通过的管状销引导件；盖，其联接至安装板；以及绝缘体具有：颈部，其包围所述销引导件；以及绝缘销，所述绝缘销具有位于所述销通过件内并限定导体贯穿件的柄部；以及凸缘部，其从所述柄部在所述销引导件的顶部上方径向向外延伸，袋部从凸缘部延伸并限定袋。所述电接触探针可进一步包括布置在所述凸缘部分和所述安装板之间的弹簧，所述弹簧将所述凸缘部分偏置远离所述安装板。绝缘插脚，其具有设置在插脚穿通孔内并限定导体穿通孔的柄部分，从插脚引导件的顶部上方的柄部分沿径向向外延伸的凸缘部分以及从该凸缘部分延伸的袋状部分并定义一个口袋。所述电接触探针还可包括：螺旋弹簧，其围绕所述销引导件并设置在所述凸缘部分和所述安装板之间；所述弹簧将所述凸缘部分偏置远离所述安装板；布置在所述凹穴内的电接触垫；以及电导体。耦合到电接触垫并延伸穿过导体穿通。袋部从凸缘部延伸并限定袋。所述电接触探针还可包括：螺旋弹簧，其围绕所述销引导件并设置在所述凸缘部分和所述安装板之间；所述弹簧将所述凸缘部分偏置远离所述安装板；布置在所述凹穴内的电接触垫；以及电导体。耦合到电接触垫并延伸穿过导体穿通。袋部从凸缘部延伸并限定袋。所述电接触探针还可包括：螺旋弹簧，其围绕所述销引导件并设置在所述凸缘部分和所述安装板之间；所述弹簧将所述凸缘部分偏置远离所述安装板；布置在所述凹穴内的电接触垫；以及电导体。耦合到电接触垫并延伸穿过导体穿通。根据本公开的加热台板组件的示例性实施例可包括：加热台板，联接至该加热台板的基座，设置在该加热台板和该基座之间并联接至该加热台板和该基座的隔热罩，电接触探针。所述电接触探针包括：安装板，其具有限定销钉通过的管状销引导件；盖，所述盖连接至所述安装板并且具有颈部，所述颈部围住所述销引导件，所述颈部延伸到所述底部并穿过所述底部和所述隔热罩。绝缘插脚，其具有设置在插脚穿通孔内并限定导体穿通孔的柄部分，从插脚引导件的顶部上方的柄部分沿径向向外延伸的凸缘部分以及从该凸缘部分延伸的袋状部分并定义一个口袋。加热的压板组件可进一步包括：电接触垫，其布置在凹穴内；电导体，其联接至电接触垫并延伸穿过导体通孔；以及弹簧，其布置在凸缘部分和安装板之间，弹簧偏置凸缘部分远离安装板并保持电接触垫与加热台板背面上的金属化层接合。弹簧使凸缘部分偏离安装板并保持电接触垫与加热的压板背面上的金属化层接合。弹簧使凸缘部分偏离安装板并保持电接触垫与加热的压板背面上的金属化层接合。附图说明图1是示出根据本公开的绝热电接触探针的示例性实施例的透视图；图2是示出图1所示的绝热电接触探针的截面图；图3是示出根据本公开的包括图1和图2所示的热绝缘电接触探针的加热压板组件的示例性实施例的剖视图；图4是示出根据本公开的加热台板组件的示例性实施例的底部透视图。具体实施方式参照图1至图4。具体实施方式参考图1，示出了根据本公开的绝热电接触探针10（在下文中为“探针10”）的示例性实施例。可以提供探针10，以在电源和离子注入机的加热的压板之间建立电连接，例如用于加热压板或便于静电夹持设置在加热的压板上的基板。在操作期间，探头10可操作以最小化从加热的压板吸收的热量，以减轻整个加热的压板的温度变化。可以理解，探针可以在用于在基板的处理期间支撑基板的加热的压板中实施图1所示的基板。例如，加热的压板可在离子注入工艺，等离子体沉积工艺，蚀刻工艺，化学机械平坦化工艺或通常将半导体基板支撑在加热的任何工艺期间用于支撑基板。滚筒。这样，下面描述了示例性的加热压板组件。本公开的实施例不受本文描述的示例性加热压板组件的限制，并且可以发现其应用于在各种半导体制造工艺中使用的各种其他压板应用中的任何一种。探针10通常可以包括安装板12，盖14，绝缘销16，螺旋弹簧18（图1），电接触垫20和电导体22。为了方便和清楚起见，“顶部”，“底部”，“上部”，“下部”，“垂直”，“水平”，“侧面”，“纵向”，“径向”，“内部”，本文中可使用“一个”和“外部”来描述探针10的组件相对于探针的几何形状和取向的相对放置和取向。如图1和2中所示。所述术语将包括具体提到的词，其派生词以及类似含义的词。在安装板12的探针10可以包括大致平面基座部分24具有一对管状安装凸台26一，26b从它们的顶表面延伸。在安装凸台26一，26b可以限定相应的扣件道直通28一个，28b穿过安装板延伸12，用于接受相应的机械紧固件如下面进一步描述。基部26还可以具有管状销导向30（图1从顶面延伸它们中间的安装凸台）26一个，26b。销引导件30可以限定延伸穿过安装板12的销通孔32，以容纳绝缘销16和电导体22，如下文进一步描述的。安装板12可由耐高温，隔热和电绝缘的材料制成，例如氧化锆，氧化铝，各种热塑性塑料等。参考图1，绝缘销16可以是具有袋部的大致管状部件34限定的口袋36，柄部38从该袋部的底部延伸34并限定导体直通40从袋的底部延伸36，以及凸缘部42从柄部的顶部径向向外延伸的38。导体直通40凹口36可以与凹口36同轴并且可以具有比凹口36小的直径。绝缘销16可以由具有高温能力的，热和电绝缘的材料形成，例如氧化锆，氧化铝，各种热塑性塑料等。弹簧18可以是由具有高温能力的金属形成的螺旋弹簧。弹簧18可以围绕销引导件30并且可以在销引导件30上方延伸，并且可以位于安装板12中的环形沟槽44内，以防止弹簧18相对于安装板12过度的水平运动。绝缘销16的凸缘部42可以位于弹簧18的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热绝缘电接触探针，包括：安装板，其具有限定销钉通过的管状销钉导向器；绝缘销，该绝缘销设置在所述销穿通孔内并限定导体穿通孔；弹簧设置在安装板和绝缘销的凸缘部分之间，该弹簧使凸缘部分远离安装板,电接触垫，其由绝缘销支撑并从导体穿通部突出，和电导体，其耦合到电接触垫并且延伸穿过导体穿通部。/n

【技术特征摘要】
1.一种热绝缘电接触探针，包括：安装板，其具有限定销钉通过的管状销钉导向器；绝缘销，该绝缘销设置在所述销穿通孔内并限定导体穿通孔；弹簧设置在安装板和绝缘销的凸缘部分之间，该弹簧使凸缘部分远离安装板,电接触垫，其由绝缘销支撑并从导体穿通部突出，和电导体，其耦合到电接触垫并且延伸穿过导体穿通部。


2.根据权利要求1所述的热绝缘电接触探针，其中，所述电接触垫设置在由所述绝缘销限定的凹穴内，其中，所述凹穴的直径比所述电接触垫的直径大至少0.010英寸,接触垫在口袋内水平移动。


3.根据权利要求2所述的热绝缘电接触探针，其中，在所述凹处和所述导体通过的接合处限定有环形肩部，所述肩部提供用于限制所述电接触垫的运动的止动件。


4.根据权利要求1所述的热绝缘电接触探针，其中，所述插脚的直径大于所述插脚的直径为0.0015英寸，在柄部分和销导向件之间装配，并允许柄部分在销通过孔内倾斜。


5.根据权利要求1所述的绝热电接触探针，其中，所述弹簧是围绕所述销引导件的螺旋弹簧。


6.根据权利要求8所述的绝热电接触探针，其中，所述弹簧位于所述安装板中的环形沟槽中。


7.加热压板组...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋贺，
申请(专利权)人：江苏长易电气有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32