一种设备前端模块及其运行方法技术

本发明专利技术涉及半导体领域，公开了一种设备前端模块及其运行方法，其中设备前端模块包括缓存腔室，所述缓存腔室包括第一传送机构和第二传送机构；所述缓存腔室的输入端与装载腔室的输出端连接，所述缓存腔室的输出端与卸载腔室的输入端连接；所述第二传送机构上放有装载有假晶圆的载体，用于将装有假晶圆的载体输送至卸载腔室；所述第一传送机构用于将从装载腔室的输出端输出的装有晶圆的载体输送至卸载腔室。本发明专利技术提供的设备前端模块在发生晶圆损坏或晶圆没有达到工艺要求等情况时，可以直接使用第二传送机构内的假晶圆，从而有效避免打断工艺生产的节拍，进而达到提高生产产量的目的，同时也减少了人工操作的成本。

A device front-end module and its operation method

【技术实现步骤摘要】
一种设备前端模块及其运行方法
本专利技术涉及半导体领域，特别是涉及一种设备前端模块及其运行方法。
技术介绍
在加工过程中，晶圆需要在生产线上不同工艺加工模块之间进行高效传输和定位，设备前端模块正是完成这一任务的关键装备，其符合半导体工艺精度和净化要求，具有高精度，高效率，高洁净度和高可靠性；设备前端模块是连接物料搬送系统和晶圆处理系统的桥梁，能够对晶圆进行准确的传输。设备前端模块在整个生产线上完成晶圆的分类和预对准等功能，是晶圆生产线不可或缺的组成部分。目前的半导体设备前端模块设备主要包括：外部框架及其附属部分、装载口、预对准装置、机械手、风机滤器单元、控制系统及人机交互设备等组成。以下为各个部分功能介绍：外部框架及其附属部分均由洁净材料铸成，内部形成密封良好的腔室，可以更好的保证内部整体的洁净度，防止晶圆在内部运输过程中造成污染。装载口具有从自动化搬送装置处装载到晶圆盒的功能，作为设备前端模块非常关键的部分，其由支撑系统、开盒装置和映射定位系统组成；实现在生产车间的轨道和加工设备之间搬送晶圆。装载口被安装在设备前端模块前端，用来作为晶圆进出半导体设备前端模块的窗口；其负责将自动化搬送设备运输来的晶圆载体固定到设备前端模块装载口处，然后设备前端模块将晶圆盒中的晶圆再输送到工艺设备中去执行工艺处理。装载口可视为设备前端模块与物料运输系统之间的媒介，当晶圆在某个作业区内执行完工艺流程后，即由设备前端模块的装载口传送至晶圆盒，再由自动化物料搬送系统根据下一作业区来决定传输的目的地。预对准装置包括机械预对准系统，光学预对准系统，确保晶圆在传输过程中位置精度，以保证后续工艺的顺利进行。机械手主要用来执行晶圆进出晶圆盒，协调配合预对准装置补偿晶圆传输过程中的位置误差，实现晶圆进出加工工艺腔等动作。机械手的具体动作流程：①当装载口执行开盒动作时，机械手在横向移动单元的导引下移动至目标工位处，对盒内晶圆执行取片动作；②机械手在横向移动单元的导引下移动至预对准装置处，并将晶圆片放置在石英载体(Carrier)上；然后由预对准装置采集圆心、缺口的误差补偿参数，调节晶圆位置；③待机械手与预对准装置协调配合，调整位置后，再由机械手将石英载体输送到后续工艺加工腔中；④待晶圆加工处理后，再由机械手取出，同时在横向移动单元的导引下把晶圆输送至晶圆盒中。风机过滤单元(FFU)具有过滤功效，是模块化的末端送风装置，风机从FFU顶部把空气吸入并经高效空气过滤器HEPA过滤，用于保证设备前端模块工艺需求的纯净度。控制系统及人机交互设备等组成能够保证整个设备前端模块实现完全自动化运行的设备，但在设备前端模块出现故障时能够及时预警，使维护人员能及时处理，保证生产顺利完成。但是，目前的设备前端模块只具备传统的周转功能，负责将晶圆从晶圆盒中取出进入装载口，然后经由装载口和卸载口输送至工艺设备腔室内。当搬送到设备前端模块的晶圆破损或者不能达到工艺要求，以及一些其他情况需要使用假晶片(Dummy)时，需要将设备前端模块内的载体和晶圆从设备内取出并装上Dummy，然后再重新投入设备内完成周转任务。这可能打断工艺生成节拍，影响生产进程，造成产量降低等问题。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术的目的是提供一种设备前端模块及其运行方法，旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种设备前端模块，包括：缓存腔室，所述缓存腔室包括第一传送机构、第二传送机构和移动机构；所述第一传送机构的输入端与装载腔室的输出端连接，输出端与卸载腔室的输入端连接；所述第二传送机构上放有装载假晶圆的载体；所述移动机构连接所述第一传送机构和所述第二传送机构，用于带动所述第一传送机构和所述第二传送机构移动，使所述第一传送机构与所述装载腔室及所述卸载腔室构成传送线；或者，使所述第二传送机构与所述卸载腔室构成传送线。其中，所述的设备前端模块，还包括：移动机构；所述第一传送机构和所述第二传送机构上下布置；所述移动机构的一端与所述第一传送机构相连，所述移动机构的另一端与所述第二传送机构相连，用于带动所述第一传送机构和所述第二传送机构上下移动，以使所述第一传送机构与所述装载腔室及所述卸载腔室构成传送线；或者，使所述第二传送机构与所述卸载腔室构成传送线。其中，所述第一传送机构包括多个第一横向传送滚轮，所述第一横向传送滚轮沿横向方向分别设置在所述第一传送机构的框架体的两侧边；所述第二传送机构包括多个第二横向传送滚轮，所述第二横向传送滚轮沿横向方向分别设置在所述第二传送机构的框架体的两侧边；其中，所述横向为从所述装载腔室至所述缓存腔室的方向。其中，所述第一传送机构还包括多个第一纵向传送滚轮，所述第一纵向传送滚轮沿纵向方向分别设置在所述第一传送机构的框架体的另外两侧边；所述第二传送机构还包括多个第二纵向传送滚轮，所述第二纵向传送滚轮沿纵向方向分别设置在所述第二传送机构的框架体的另外两侧边。其中，所述第一传送机构和所述第二传送机构左右布置；所述第一传送机构的输入端与所述装载腔室的输出端相连，输出端与所述卸载腔室的输入端相连；所述第二传送机构的输出端与所述第一传送机构的第三端相连，所述第一传送机构的第三端为所述第一传送机构除了输入端和输出端以外的任一端。其中，所述第一传送机构包括多个第三横向传送滚轮和多个第三纵向传送滚轮，所述第三横向传送滚轮沿横向方向分别设置在所述第一传送机构的框架体的两侧边；所述第三纵向传送滚轮沿纵向方向分别设置在所述第一传送机构的框架体的另外两侧边；所述第二传送机构包括多个第四纵向传送滚轮，所述第四纵向传送滚轮沿纵向方向分别设置在所述第二传送机构的框架体的两侧边；其中，所述横向为从所述装载腔室至所述缓存腔室的方向。其中，所述的设备前端模块，还包括：清洗腔室；所述装载腔室、所述清洗腔室、所述缓存腔室和所述卸载腔室沿一条直线依次布置；或者，所述装载腔室、所述缓存腔室、所述清洗腔室和所述卸载腔室沿一条直线依次布置。其中，所述的设备前端模块，还包括：清洗腔室；所述装载腔室、所述清洗腔室、所述缓存腔室沿第一直线依次布置，所述缓存腔室和所述卸载腔室沿第二直线依次布置，所述第一直线与所述第二直线相交；所述装载腔室和所述缓存腔室沿第三直线依次布置，所述缓存腔室、所述清洗腔室和所述卸载腔室沿第四直线依次布置，所述第三直线与所述第四直线相交；或者，所述装载腔室和所述缓存腔室沿第五直线依次布置，所述缓存腔室和所述卸载腔室沿第六直线依次布置，所述清洗腔室和所述缓存腔室沿第七直线依次布置，且所述第六直线分别与所述第五直线及所述第七直线相交。其中，所述清洗腔室包括多个第四横向传送滚轮，所述第四横向传送滚轮沿横向方向分别设置在所述清洗腔室的两侧边；所述卸载腔室包括多个第五横向传送滚轮，所述第五横向传送滚轮沿横向方向分别设置在所述卸载腔室的两侧边；所述装载腔室包括多个第六横向传送滚轮，所述第六横向传送滚轮分别沿横向方向设在所述装载腔室的两本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设备前端模块，其特征在于，包括：缓存腔室，所述缓存腔室包括第一传送机构和第二传送机构；/n所述缓存腔室的输入端与装载腔室的输出端连接，所述缓存腔室的输出端与卸载腔室的输入端连接；/n所述第二传送机构上放有装载有假晶圆的载体，用于将装有假晶圆的载体输送至卸载腔室；/n所述第一传送机构用于将从装载腔室的输出端输出的装有晶圆的载体输送至卸载腔室。/n

【技术特征摘要】
1.一种设备前端模块，其特征在于，包括：缓存腔室，所述缓存腔室包括第一传送机构和第二传送机构；
所述缓存腔室的输入端与装载腔室的输出端连接，所述缓存腔室的输出端与卸载腔室的输入端连接；
所述第二传送机构上放有装载有假晶圆的载体，用于将装有假晶圆的载体输送至卸载腔室；
所述第一传送机构用于将从装载腔室的输出端输出的装有晶圆的载体输送至卸载腔室。


2.根据权利要求1所述的设备前端模块，其特征在于，还包括：移动机构；所述第一传送机构和所述第二传送机构上下布置；
所述移动机构的一端与所述第一传送机构相连，所述移动机构的另一端与所述第二传送机构相连，用于带动所述第一传送机构和所述第二传送机构上下移动，以使所述第一传送机构与所述装载腔室及所述卸载腔室构成传送线；或者，使所述第二传送机构与所述卸载腔室构成传送线。


3.根据权利要求2所述的设备前端模块，其特征在于，所述第一传送机构包括多个第一横向传送滚轮，所述第一横向传送滚轮沿横向方向分别设置在所述第一传送机构的框架体的两侧边；
所述第二传送机构包括多个第二横向传送滚轮，所述第二横向传送滚轮沿横向方向分别设置在所述第二传送机构的框架体的两侧边；
其中，所述横向为从所述装载腔室至所述缓存腔室的方向。


4.根据权利要求3所述的设备前端模块，其特征在于，所述第一传送机构还包括多个第一纵向传送滚轮，所述第一纵向传送滚轮沿纵向方向分别设置在所述第一传送机构的框架体的另外两侧边；
所述第二传送机构还包括多个第二纵向传送滚轮，所述第二纵向传送滚轮沿纵向方向分别设置在所述第二传送机构的框架体的另外两侧边。


5.根据权利要求1所述的设备前端模块，其特征在于，所述第一传送机构和所述第二传送机构左右布置；
所述第一传送机构的输入端与所述装载腔室的输出端相连，所述第一传送机构的输出端与所述卸载腔室的输入端相连；
所述第二传送机构的输出端与所述第一传送机构的第三端相连，所述第一传送机构的第三端为所述第一传送机构除了输入端和输出端以外的任一端。


6.根据权利要求5所述的设备前端模块，其特征在于，所述第一传送机构包括多个第三横向传送滚轮和多个第三纵向传送滚轮，所述第三横向传送滚轮沿横向方向分别设置在所述第一传送机构的框架体的两侧边；所述第三纵向传送滚轮沿纵向方向分别设置在所述第一传送机构的框架体的另外两侧边；
所述第二传送机构包括多个第四纵向传送滚轮，所述第四纵向传送滚轮沿纵向方向分别设置在所述第二传送机构的框架体的两侧边；<...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈健健，姚立强，陆涛，田洪生，赵兵权，
申请(专利权)人：深圳市永盛隆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44