【技术实现步骤摘要】
一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置及方法
本专利技术属于光学检测领域，更具体地，涉及一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置及方法。
技术介绍
随着国家技术的进步，空间探测、地面遥感、航空、航天、照明、显示等领域对光学系统的轻量化、小型化、系统像质优化等方面提出了更高的要求。将自由曲面应用于光学系统，可以提升系统优化自由度，减少光学系统设计残差和光学元件数量，在改善系统像质的同时简化光学系统结构。上述优点使得光学系统设计者可根据光学系统设计参数的特殊需要，突破传统光学系统的概念，将自由曲面运用于全新的系统设计方案中。因而，自由曲面光学系统具有减少光学元件数量，提高成像质量，适应轻量化要求等优势。目前自由曲面已在空间相机、照明光学、头盔显示等光学系统中得到了成功应用。基于自由曲面的光学系统应用研究已经成为现代高性能光学系统发展的重要方向，对高精度自由曲面光学元件的制造需求随之而来，而自由曲面的高精度测量则是高精度自由曲面光学元件制造的基础，是先进光学系统开发中的核心步骤之一，对于先进光学系统的制造具有重要意义。
【技术保护点】
1.一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置，其特征在于，包括干涉仪、CGH、光学透镜；/n所述CGH用于接收干涉仪发送的干涉光，发生衍射后经光学透镜汇聚垂直入射到待测自由曲面反射镜上，从而对待测自由曲面反射镜实现零位补偿检测；/n所述光学透镜用于接收CGH发送过来的衍射光，并对光线进行汇聚以缩短检测光路的长度。/n
【技术特征摘要】
1.一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置，其特征在于，包括干涉仪、CGH、光学透镜；
所述CGH用于接收干涉仪发送的干涉光，发生衍射后经光学透镜汇聚垂直入射到待测自由曲面反射镜上，从而对待测自由曲面反射镜实现零位补偿检测；
所述光学透镜用于接收CGH发送过来的衍射光，并对光线进行汇聚以缩短检测光路的长度。
2.根据权利要求1所述的大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置，其特征在于，所述光学透镜的前后表面均为球面，其后表面的曲率半径与待测自由曲面反射镜的顶点曲率半径相等，所述后表面是指离待测自由曲面反射镜较近的那一面。
3.根据权利要求1所述的大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置，其特征在于，所述CGH包含主检测区域、与光学透镜对准区域、与干涉仪对准区域、镜面基准区域、透镜基准区域。
4.根据权利要求3所述的大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置，其特征在于，所述主检测区域位于所述CGH的中心区域，向外依次分布着所述与光学透镜对准区域和所述与干涉仪对准区域；所述镜面基准区域均匀的分布在所述与光学透镜对准区域中；所述透镜基准区域均匀的分布在所述与干涉仪对准区域中。
5.根据权利要求3或权利要求4所述的大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置，其特征在于，所述主检测区域为待测自由曲面反射镜零位补偿测量区域；所述与光学透镜对准区域用于实现干涉测量中CGH与光学透镜的对准；所述与干涉仪对准区域用于CGH与干涉仪进行对准；所述镜面基准区域用于实现待测自由曲面反射镜在检测光路中的粗对准；所述透镜基准区域用于对光学透镜的位置进行粗调。
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【专利技术属性】
技术研发人员：闫力松，冀慧茹，晁联盈，莫言，马冬林，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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