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一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置及方法制造方法及图纸
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下载一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置及方法的技术资料
文档序号:22815166
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本发明公开了一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置及方法。其中测量装置包括干涉仪、CGH、光学透镜,通过在CGH设置主检测区域、与光学透镜对准区域、与干涉仪对准区域、镜面基准区域及透镜基准区域五种衍射区域对装置中的光学器件之间的位置进行...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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