可转移的透明柔性透气天线的制作方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种可转移的透明柔性透气天线的制作方法及装置，其中，方法包括：通过HFSS软件模拟得到满足预设条件的天线结构设计，并根据天线结构设计确定光刻掩膜版；选择导电衬底，在导电衬底的表面旋涂一层光刻胶，并使用光刻掩膜版进行光刻，得到天线设计形状的网格结构的凹槽；由于衬底导电而光刻胶绝缘，通过电沉积将金属沉积在凹槽中；将网状天线图案转移到目标衬底上或直接从导电衬底上剥离，得到目标天线。根据本发明专利技术实施例的制作方法，具备可剥离转移的特性，可适应各种曲面，以满足在生物表面以及透明物体上面附着天线的需求，完善了物联网中对于移动终端天线功能的要求。

Fabrication method and device of transparent flexible air permeable antenna

【技术实现步骤摘要】
可转移的透明柔性透气天线的制作方法及装置
本专利技术涉及移动终端天线
，特别涉及一种可转移的透明柔性透气天线的制作方法及装置。
技术介绍
目前，天线技术是一种广泛应用于无线通信中的必要技术，从最初的电报通信，到如今已广泛普及的手机、电脑，以及各种交通工具如飞机、轮船他们之间的通信都离不开天线技术的支持。随着互联网时代的发展，移动通信技术变得越来越重要，它对于通信终端的尺寸和种类都提出更高的要求，进而衍生出“物联网”的概念。相关技术中，由于物联网技术希望通过移动通信技术，实现各个物体间的通信，完成一个物与物之间信息交互的网络，因此作为物联网技术的基石，不同物体上必须要具有性能良好的天线，而现有的天线大多采用金属材料，不具有透明以及柔性的特点，在一些场合下如透明物体或生物体表面的应用中会存在一些问题，亟待改进。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种可转移的透明柔性透气天线的制作方法，该方法可以具备可剥离转移的特性，可适应各种曲面，以满足在生物表面以及透明物体上面附着天线的需求。本专利技术的另一个目的在于提出一种可转移的透明柔性透气天线的制作装置。为达到上述目的，本专利技术一方面实施例提出了一种可转移的透明柔性透气天线的制作方法，包括以下步骤：通过HFSS(HighFrequencyStructureSimulator，高频结构仿真)软件模拟得到满足预设条件的天线结构设计，并根据所述天线结构设计确定光刻掩膜版；选择导电衬底，在所述导电衬底的表面旋涂一层光刻胶，并使用所述光刻掩膜版进行光刻，得到天线设计形状的网格结构的凹槽；由于所述衬底导电而光刻胶绝缘，通过电沉积将金属沉积在所述凹槽中；将网状天线图案转移到目标衬底上或直接从所述导电衬底上剥离，得到目标天线。本专利技术实施例的可转移的透明柔性透气天线的制作方法，具备可剥离转移的特性，可适应各种曲面，以满足在生物表面以及透明物体上面附着天线的需求，完善了物联网中对于移动终端天线功能的要求。另外，根据本专利技术上述实施例的可转移的透明柔性透气天线的制作方法还可以具有以下附加的技术特征：可选地，在本专利技术的一个实施例中，所述光刻掩膜版的尺寸可以要求为网格的间距为100μm至500μm，且网格线条的宽度约为5μm至6μm。可选地，在本专利技术的一个实施例中，所述预设条件为阻抗、反射系数和方向性均满足预设要求。进一步地，在本专利技术的一个实施例中，所述方法还包括：去除表面光刻胶，并对样品进行清洗和吹干。进一步地，在本专利技术的一个实施例中，所述方法还包括：利用网格分析仪获取所述目标天线的阻抗和反射系数。为达到上述目的，本专利技术另一方面实施例提出了一种可转移的透明柔性透气天线的制作装置，包括：模拟模块，用于通过HFSS软件模拟得到满足预设条件的天线结构设计，并根据所述天线结构设计确定光刻掩膜版；光刻模块，用于选择导电衬底，在所述导电衬底的表面旋涂一层光刻胶，并使用所述光刻掩膜版进行光刻，得到天线设计形状的网格结构的凹槽；沉积模块，用于由于所述衬底导电而光刻胶绝缘，通过电沉积将金属沉积在所述凹槽中；制作模块，用于将网状天线图案转移到目标衬底上或直接从所述导电衬底上剥离，得到目标天线。本专利技术实施例的可转移的透明柔性透气天线的制作装置，具备可剥离转移的特性，可适应各种曲面，以满足在生物表面以及透明物体上面附着天线的需求，完善了物联网中对于移动终端天线功能的要求。另外，根据本专利技术上述实施例的可转移的透明柔性透气天线的制作装置还可以具有以下附加的技术特征：可选地，在本专利技术的一个实施例中，所述光刻掩膜版的尺寸可以要求为网格的间距为100μm至500μm，且网格线条的宽度约为5μm至6μm。可选地，在本专利技术的一个实施例中，所述预设条件为阻抗、反射系数和方向性均满足预设要求。进一步地，在本专利技术的一个实施例中，所述装置还包括：处理模块，用于去除表面光刻胶，并对样品进行清洗和吹干。进一步地，在本专利技术的一个实施例中，所述装置还包括：测试模块，用于利用网格分析仪获取所述目标天线的阻抗和反射系数。本专利技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1为根据本专利技术实施例的可转移的透明柔性透气天线的制作方法的流程图；图2为根据本专利技术一个实施例的导电薄膜制造过程示意图；图3为根据本专利技术一个实施例的天线设计的反射系数S11的仿真与实验测试结果示意图；图4为根据本专利技术一个实施例的隐形眼镜上的眼压传感器结构示意图；图5为根据本专利技术一个实施例的隐形眼睛上电容电感结构的俯视示意图；图6为根据本专利技术一个实施例的眼镜片上的激励与接收天线结构示意图；图7为根据本专利技术实施例的可转移的透明柔性透气天线的制作装置的结构示意图。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。下面参照附图描述根据本专利技术实施例提出的可转移的透明柔性透气天线的制作方法及装置，首先将参照附图描述根据本专利技术实施例提出的可转移的透明柔性透气天线的制作方法。图1是本专利技术实施例的可转移的透明柔性透气天线的制作方法的流程图。如图1所示，该可转移的透明柔性透气天线的制作方法包括以下步骤：在步骤S101中，通过HFSS软件模拟得到满足预设条件的天线结构设计，并根据天线结构设计确定光刻掩膜版。可选地，在本专利技术的一个实施例中，光刻掩膜版的尺寸可以要求为网格的间距为100μm至500μm，且网格线条的宽度约为5μm至6μm，预设条件为阻抗、反射系数和方向性均满足预设要求。需要说明的是，预设条件和预设要求均可以由本领域技术人员根据实际情况进行设置。具体而言，使用HFSS软件模拟计算得到天线设计，得到满足阻抗，反射系数，方向性的天线设计结果，根据得到的天线结构设计所需的光刻掩膜版，其中的尺寸要求是网格的间距约为100μm至500μm，网格线条的宽度约为5～6μm。在步骤S102中，选择导电衬底，在导电衬底的表面旋涂一层光刻胶，并使用光刻掩膜版进行光刻，得到天线设计形状的网格结构的凹槽。例如，选择适当的导电衬底如ITO，在ITO表面旋涂一层光刻胶，然后使用上一步得到的光刻掩膜版进行光刻，得到天线设计形状的网格结构的凹槽。具体地，如图2所示，本专利技术实施例首先使用光刻技术，其中，光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。其主要过程为：首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可转移的透明柔性透气天线的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：/n通过HFSS软件模拟得到满足预设条件的天线结构设计，并根据所述天线结构设计确定光刻掩膜版；/n选择导电衬底，在所述导电衬底的表面旋涂一层光刻胶，并使用所述光刻掩膜版进行光刻，得到天线设计形状的网格结构的凹槽；/n由于所述衬底导电而光刻胶绝缘，通过电沉积将金属沉积在所述凹槽中；以及/n将网状天线图案转移到目标衬底上或直接从所述导电衬底上剥离，得到目标天线。/n

【技术特征摘要】
1.一种可转移的透明柔性透气天线的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
通过HFSS软件模拟得到满足预设条件的天线结构设计，并根据所述天线结构设计确定光刻掩膜版；
选择导电衬底，在所述导电衬底的表面旋涂一层光刻胶，并使用所述光刻掩膜版进行光刻，得到天线设计形状的网格结构的凹槽；
由于所述衬底导电而光刻胶绝缘，通过电沉积将金属沉积在所述凹槽中；以及
将网状天线图案转移到目标衬底上或直接从所述导电衬底上剥离，得到目标天线。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光刻掩膜版的尺寸要求为网格的间距为100μm至500μm，且网格线条的宽度约为5μm至6μm。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设条件为阻抗、反射系数和方向性均满足预设要求。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
去除表面光刻胶，并对样品进行清洗和吹干。


5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
利用网格分析仪获取所述目标天线的阻抗和反射系数。


6.一种可转移的透明柔性透...

【专利技术属性】
技术研发人员：任天令，刘厚方，贾秀峰，邱皓川，李宇星，邵明昊，杨轶，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京;11