一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极制造技术

本实用新型专利技术涉及一种电极，具体是一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管及设置在加热管下端的电极，所述加热管设置在真空腔体内部；所述电极通过安装法兰固定在真空腔体下端，电极上端贯穿在真空腔体内部，电极上端设有导电柱，导电柱和加热管为可拆卸式连接。本实用新型专利技术加热管与电极螺纹配合安装，方便拆卸，利于加热管更换维修；大气环境的电流通过电极传导给真空腔体内部真空环境中的加热管，进行工作。进而解决了传统的电极和加热管焊接为一体造成拆卸更换维修不便的问题。

A vacuum heating coil electrode for atomic layer deposition equipment

The utility model relates to an electrode, in particular to a vacuum heating coil electrode for an atomic layer deposition device, which comprises a heating pipe and an electrode arranged at the lower end of the heating pipe, the heating pipe is arranged inside the vacuum chamber; the electrode is fixed at the lower end of the vacuum chamber through a mounting flange, the upper end of the electrode is penetrated inside the vacuum chamber, the upper end of the electrode is provided with a conductive column, and the conductive column And heating pipe is detachable connection. The heating pipe and the electrode thread of the utility model are installed in coordination, which is convenient for disassembly and replacement and maintenance of the heating pipe; the current in the atmospheric environment is transmitted to the heating pipe in the vacuum environment inside the vacuum cavity through the electrode to work. Furthermore, the traditional electrode and heating pipe are welded together, which makes the disassembly, replacement and maintenance inconvenient.

【技术实现步骤摘要】
一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极
本技术涉及一种电极，具体是一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极。
技术介绍
原子层沉积，是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。电极，电子或电器装置、设备中的一种部件，用做导电介质(固体、气体、真空或电解质溶液)中输入或导出电流的两个端。输入电流的一极叫阳极或正极，放出电流的一极叫阴极或负极。应用在原子层沉积设备中的空式电极是通过大气和真空腔体式的常用连接，已存在的技术是把电极和加热管焊接为一体，在维修空间比较大的地方经常所见。然而对一些小的腔体和维修空间较窄的地方，电极和加热管焊接为一体，进而会造成拆卸更换维修不便的问题。为解决上述问题，特提出了一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管及设置在加热管下端的电极，所述加热管设置在真空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管（1）及设置在加热管（1）下端的电极（5），其特征在于，所述加热管（1）设置在真空腔体（2）内部；所述电极（5）通过安装法兰（4）固定在真空腔体（2）下端，电极（5）上端贯穿在真空腔体（2）内部，电极（5）上端设有导电柱（6），导电柱（6）和加热管（1）为可拆卸式连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管（1）及设置在加热管（1）下端的电极（5），其特征在于，所述加热管（1）设置在真空腔体（2）内部；所述电极（5）通过安装法兰（4）固定在真空腔体（2）下端，电极（5）上端贯穿在真空腔体（2）内部，电极（5）上端设有导电柱（6），导电柱（6）和加热管（1）为可拆卸式连接。


2.根据权利要求1所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述导电柱（6）和加热管（1）为螺纹连接。


3.根据权利要求1所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述导电柱（6）和加热管（1）为限位销穿插连接。


4.根据权利要求1所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述导电柱（6）的材质为铜。

【专利技术属性】
技术研发人员：逯文冬，郑锦，耿晨宇，黄省三，
申请(专利权)人：南京原磊纳米材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32