The utility model belongs to the field of semiconductor manufacturing equipment, in particular to an abrasive fluid recovery device, which is used to recover magnetic abrasive particles in abrasive fluid. The recovery device at least comprises a waste liquid storage tank, a circulating liquid supply pump and a magnetic adsorption device. The upper end of the waste liquid storage tank is provided with a waste liquid inlet, the inlet is provided with a filter screen, and the lower end is provided with a waste liquid outlet, and the circulating liquid supply pump is discharged from the waste liquid One part of the waste liquid extracted from the outlet enters the magnetic adsorption device through the first pipeline, the other part returns to the waste liquid storage tank from the outlet after passing the second pipeline, and the waste liquid in the magnetic adsorption device returns to the waste liquid storage tank through the third pipeline.
【技术实现步骤摘要】
一种研磨液回收装置
本技术属于半导体制造设备领域，尤其涉及一种研磨液回收装置。
技术介绍
芯片衬底研磨工艺主要目的是去除切片加工工序中衬底表面因切割产生的表面损伤，并使衬底表面具有一定的几何尺寸精度。研磨时所使用的研磨液在使用后直接排放，造成研磨液中金刚石研磨颗粒的无法回收，致使生产成本增加。
技术实现思路
为解决以上问题，本技术提出一种研磨液回收装置，用于回收研磨液中的磁性研磨颗粒，该回收装置至少包括废液储罐、循环供液泵和磁吸附装置，废液储罐上端开设有废液入口，入口处设置有过滤网，下端开设有废液出口，循环供液泵从废液排出口抽取废液，一部分通过第一管路进入磁吸附装置，另一部分通过第二管路返后从排出口返回废液储罐。优选的，所述磁性研磨颗粒为铁氧体复合金刚石颗粒。优选的，所述磁吸附装置内废液经由第三管路返回至废液储罐内。优选的，所述磁吸附装置包括容滤芯桶、设置于滤芯桶内的滤芯、容置于滤芯中的可拆卸的软铁芯以及设置于滤芯桶外壁的电磁感应线圈。优选的，该回收装置还包括一稀释装置。<...
【技术保护点】
1.一种研磨液回收装置，用于回收研磨液中的磁性研磨颗粒，其特征在于：该回收装置至少包括废液储罐、循环供液泵和磁吸附装置，废液储罐上端开设有废液入口，入口处设置有过滤网，下端开设有废液出口，循环供液泵从废液排出口抽取废液，一部分通过第一管路进入磁吸附装置，另一部分通过第二管路返后从排出口返回废液储罐,所述磁吸附装置内废液则经由第三管路返回至废液储罐内。/n
【技术特征摘要】
1.一种研磨液回收装置，用于回收研磨液中的磁性研磨颗粒，其特征在于：该回收装置至少包括废液储罐、循环供液泵和磁吸附装置，废液储罐上端开设有废液入口，入口处设置有过滤网，下端开设有废液出口，循环供液泵从废液排出口抽取废液，一部分通过第一管路进入磁吸附装置，另一部分通过第二管路返后从排出口返回废液储罐,所述磁吸附装置内废液则经由第三管路返回至废液储罐内。
2.根据权利要求1所述的一种研磨液回收装置，其特征在于：所述磁性研磨颗粒为铁氧体复合金刚石颗粒。
3.根据权利要求1所述的一种研磨液回收装置，其特征在于：所述磁吸附装置包括容滤芯桶、设置于滤芯桶内的滤芯、容置于滤芯中的可拆卸的软...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯克耀，杨淼，张书豪，蔡家豪，邱智中，蔡吉明，
申请(专利权)人：安徽三安光电有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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