光电芯片制造技术

本公开的实施例涉及光电芯片。本实用新型专利技术涉及光电芯片，该光电芯片包括：光学输入对，其具有相同的通带，并且每个光学输入被适配于不同的偏振；至少一个待测试的光子电路；以及被配置成将两个输入耦合到待测试的电路的光学耦合装置。

Photoelectric chip

The embodiment of the present disclosure relates to a photoelectric chip. The utility model relates to a photoelectric chip, which comprises: an optical input pair having the same passband, and each optical input is adapted to different polarization; at least one photon circuit to be tested; and an optical coupling device configured to couple two inputs to the electric circuit to be tested.

【技术实现步骤摘要】
光电芯片
本公开一般涉及光电芯片。
技术介绍
为了确保芯片的光子电路工作，对后者进行测试或表征。为此目的，在芯片的光学输入的层级处注入(inject)的光学信号被提供给待测试的电路。然后观察电路的输出信号以确定电路是否工作。
技术实现思路
在第一方面，提供了一种光电芯片，其包括：光学输入对，其具有相同的带宽，并且光学输入对均被适配于不同偏振；待测试的光子电路；以及光学耦合装置，其被配置成将光学输入对耦合到待测试的光子电路。根据一个实施例，光学耦合装置被配置成：当光电芯片的输入接收在输入的带宽中的波长的、被适配于输入的偏振信号时，向待测试的光子电路提供具有相同波长和相同偏振的信号。根据一个实施例，光学耦合装置包括光学耦合器。根据一个实施例，光学耦合器是多模干涉仪类型的。根据一个实施例，光学耦合器是渐逝耦合器。根据一个实施例，渐逝耦合器具有两个输入和两个输出。根据一个实施例，光学耦合装置包括：多模干涉仪类型的光学耦合器；以及渐逝耦合器。根据一个实施例，光学耦合装置包括光学分路器，光学分路器具有被耦合到芯片的光学输入对的输入，并且光学分路器具有被耦合到待测试的光子电路的输出。根据一个实施例，光电芯片还包括多个光学输入对，多个光学输入对中的每对的光学输入均被适配于不同的偏振，并且多个光学输入对中的每对的光学输入具有相同的带宽，相同的带宽与其他光学输入对的带宽不同。在第二方面，提供了一种光电芯片，其包括：第一光学输入对，其包括第一输入和第二输入，第一输入和第二输入均被适配于第一波长的不同的偏振；待测试的光子电路；以及第一光学耦合装置，其被配置成将第一光学输入对耦合到待测试的光子电路。根据一个实施例，第一光学输入对的第一输入与第一光学输入对的第二输入平衡。根据一个实施例，光电芯片还包括：第二光学耦合装置，其被耦合到第一光学耦合装置的输出，第二光学耦合装置被配置成将第一光学耦合装置的输出耦合到待测试的光子电路。根据一个实施例，光电芯片还包括波导交叉装置，波导交叉装置被耦合在第一光学耦合装置和第二光学耦合装置之间。根据一个实施例，光电芯片还包括：第三光学耦合装置，其被耦合到第二光学耦合装置的输出，第三光学耦合装置被配置成将第二光学耦合装置的输出耦合到待测试的光子电路。根据一个实施例，光电芯片还包括：第二光学输入对，其包括第三输入和第四输入，第三输入和第四输入均被适配于不同的偏振，并且第三输入和第四输入均被适配于与第一波长不同的第二波长；以及第二光学耦合装置，其被配置成将第二光学输入对耦合到待测试的光子电路。根据一个实施例，第一光学输入对具有与第二光学输入对不同的通带。根据一个实施例，第一光学输入对的通带与第二光学输入对的通带相邻。根据一个实施例，当第一光学输入对的第一输入接收第一波长和第一偏振的第一信号时，第一光学耦合装置被配置成将第一波长和第一偏振的信号提供给待测试的光子电路；以及当第一光学输入对的第二输入接收第一波长和第二偏振的第二信号时，第一光学耦合装置被配置成将第一波长和第二偏振的信号提供给待测试的光子电路。根据一个实施例，当第二光学输入对的第三输入接收第二波长和第一偏振的第三信号时，第二光学耦合装置被配置成将第二波长和第一偏振的信号提供给待测试的光子电路；以及当第二光学输入对的第四输入接收第二波长和第二偏振的第四信号时，第二光学耦合装置被配置成将第二波长和第二偏振的信号提供给待测试的光子电路。附图说明图1是图示根据第一方面的光电芯片的一个实施例的局部简化的俯视图，芯片包括待测试的光子电路；图2是图示图1的芯片的另一实施例的局部简化的俯视图；图3是图示图1的芯片的备选实施例的局部简化的俯视图；图4是图示图1的芯片的另一备选实施例的局部简化的俯视图；图5是图示测试图1至图4中的类型的芯片的光子电路的方法的一个实施例的流程图；以及图6是图示根据第二方面的光电芯片的一个实施例的局部简化的俯视图，芯片包括一个或多个待测试的集成光子电路；图7是图示图6的芯片的另一实施例的局部简化的俯视图；以及图8是图示图6的芯片的备选实施例的局部简化的俯视图。具体实施方式期望具有一种克服了已知测试装置的至少一些缺点的、用于测试光电芯片的电路的装置，特别是使得能够在不同波长的(特别是在宽的波长范围上)和/或针对不同的偏振模式(即横电和横磁)测试芯片的一个或多个电路的装置。还期望具有一种克服了已知测试方法的至少某些缺点的、测试光电芯片的光子电路的方法，特别是使得能够在不同波长的(例如，在宽的波长范围上)和/或针对不同的偏振模式测试这种电路的方法。因此，根据第一方面，一个实施例提供了一种光电芯片，该光电芯片包括：具有不同的通带的光学输入、待测试的至少一个光子电路、以及被配置成将所述输入耦合到待测试的电路的光学耦合装置。根据一个实施例，装置被配置成当芯片的输入接收在该输入的通带中的波长的信号时，向待测试的电路提供相同波长的信号。根据一个实施例，装置包括至少一个光学耦合器。根据一个实施例，每个光学耦合器是多模干涉仪类型的。根据一个实施例，每个光学耦合器是渐逝(evanescent)耦合器。根据一个实施例，装置包括：多模干涉仪类型的至少一个光学耦合器；以及至少一个渐逝耦合器。根据一个实施例，每个渐逝耦合器具有两个输入和两个输出。根据一个实施例，装置包括至少一个光学分路器，该至少一个光学分路器具有被耦合到芯片的输入的输入，并且具有被耦合到待测试的光子电路的输出。根据一个实施例，不同的通带是相邻的。根据一个实施例，针对所述不同的通带中的每个通带，芯片包括两个光学输入，该两个光学输入具有该通带并且各自被适配于不同的偏振，耦合装置被配置成将所述两个光学输入耦合到待测试的电路。根据一个实施例，装置被配置成当芯片的输入接收在该输入的通带中的波长的、被适配于该输入的偏振信号时，向待测试的电路提供具有相同波长和相同偏振的信号。根据第一方面的另一实施例提供了测试诸如上文所限定的芯片的方法，该方法包括：针对芯片的每个输入，向所述输入提供在所述芯片的所述输入的通带中的波长的信号。根据一个实施例，向芯片的输入所提供的信号在芯片的所述输入被适配所至的偏振。根据一个实施例，通过光纤将信号提供给芯片的所述输入，方法包括将所述光纤的一个端部与芯片的所述输入对准的步骤。根据一个实施例，所述光纤属于在支撑件中固定就位的光纤的阵列，并且在所述光纤的所述端部的对准时，阵列的其他光纤的端部与芯片的其他输入对准。根据第二方面，一个实施例提供了一种光电芯片，该光电芯片包括：光学输入对，其具有相同的通带，并且其中每个光学输入被适配于不同的偏振；待测试的至少一个光子电路；以及光学耦合装置，其被配置成将两个输入耦合到待测试的电路。根据一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光电芯片，其特征在于，包括：/n光学输入对，其具有相同的带宽，并且所述光学输入对均被适配于不同偏振；/n待测试的光子电路；以及/n光学耦合装置，其被配置成将所述光学输入对耦合到所述待测试的光子电路。/n

【技术特征摘要】
20180213 FR 18512011.一种光电芯片，其特征在于，包括：
光学输入对，其具有相同的带宽，并且所述光学输入对均被适配于不同偏振；
待测试的光子电路；以及
光学耦合装置，其被配置成将所述光学输入对耦合到所述待测试的光子电路。


2.根据权利要求1所述的光电芯片，其特征在于，所述光学耦合装置被配置成：当所述光电芯片的输入接收在所述输入的所述带宽中的波长的、被适配于所述输入的偏振信号时，向所述待测试的光子电路提供具有相同波长和相同偏振的信号。


3.根据权利要求1所述的光电芯片，其特征在于，所述光学耦合装置包括光学耦合器。


4.根据权利要求3所述的光电芯片，其特征在于，所述光学耦合器是多模干涉仪类型的。


5.根据权利要求3所述的光电芯片，其特征在于，所述光学耦合器是渐逝耦合器。


6.根据权利要求5所述的光电芯片，其特征在于，所述渐逝耦合器具有两个输入和两个输出。


7.根据权利要求1所述的光电芯片，其特征在于，所述光学耦合装置包括：多模干涉仪类型的光学耦合器；以及渐逝耦合器。


8.根据权利要求1所述的光电芯片，其特征在于，所述光学耦合装置包括光学分路器，所述光学分路器具有被耦合到所述芯片的所述光学输入对的输入，并且所述光学分路器具有被耦合到所述待测试的光子电路的输出。


9.根据权利要求1所述的光电芯片，其特征在于，还包括多个光学输入对，所述多个光学输入对中的每对的所述光学输入均被适配于不同的偏振，并且所述多个光学输入对中的每对的所述光学输入具有相同的带宽，所述相同的带宽与其他光学输入对的带宽不同。


10.一种光电芯片，其特征在于，包括：
第一光学输入对，其包括第一输入和第二输入，所述第一输入和所述第二输入均被适配于第一波长的不同的偏振；
待测试的光子电路；以及
第一光学耦合装置，其被配置成将所述第一光学输入对耦合到所述待测试的光子电路。


11.根据权利要求10所述的光电芯片，其特征在于，所述第一光学输入对的所述第一输入与所述第一光学输入对的所述第二输入平衡。


12.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：P·勒迈特瑞，JF·卡彭蒂尔，
申请(专利权)人：意法半导体克洛尔二公司，
类型：新型
国别省市：法国;FR