管道的绝热保温结构及绝热保温成套工具制造技术

一种绝热保温成套工具，由以下部分构成：管道，至少由耐热材料层、优选进而包含加热体并由耐热性树脂薄膜包覆的带状的绝热保温单元，由在管体的管轴方向的全长上具有狭缝状开口部的Ｃ型截面的管体构成的支撑罩，优选进而具有大致同型的外部罩。收容所述绝热保温单元，使其非加热面与支撑罩的管体内壁吻合，在将绝热保温单元的两端的耳部从狭缝状开口部拉出的状态下，将所述绝热保温部的两端相接部、即支撑罩的狭缝状开口部推靠于管道，由绝热保温部与支撑罩包覆管道，然后，以将外部罩的开口部扩大的状态向支撑罩的狭缝状开口部一侧推接，由外部罩包覆绝热保温单元与支撑罩，从而形成绝热保温结构。由此，容易进行狭窄空间内的管道的重复拆装。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及管道的绝热保温结构及绝热保温成套工具，更具体地，是涉及能够容易反复装拆狭窄空间内的管道，且能够以稳定的形式固定，加热面紧密接合于管道的外周面，热传导率高，加热部不会过热，能够进行稳定的温度控制，极少发生粉尘，能够在洁净室(clean room)等使用的管道用的绝热保温成套工具及使用该成套工具的绝热保温结构。
技术介绍
历来，在半导体、液晶、电子部件等的制造工厂中，在搬送工序、蚀刻工序、洗净工序等工序中使用反应气体及处理液等。输送这些反应气体及处理液的管道根据使用条件而实施有保温结构。此时，在加工现场，很多管道接近配置，进而，由于加工对象是精密部件，所以加工现场是洁净室，要求室内有很高的洁净度。作为可以对上述输送反应气体及处理液的管道进行保温或加热的加热器，例如在特开2002-250498号公报中记述有如下的保温输送用管道使由树脂或金属制的移送管的周围与软线加热器(cord heater)等接触，同时在其外周覆盖由铝箔与玻璃纤维片的叠层体所构成的均热层，进而在其外周分别盘卷螺旋状的由薄热塑性树脂片包住玻璃带而成的保温层及由聚酯的带所构成的防湿层，最外层覆盖由氯乙烯制的圆筒状管。这样的保温输送用管道，由于抑制了保温层中所包含的玻璃纤维的飞散，所以能够使用于洁净室等要求高洁净度的环境。但是，在安装现场所使用的部件种类多，是多层结构，进而，由于保温层与防湿层必须盘卷成螺旋状，安装时很麻烦，特别是在管道混杂的情况下，有安装困难的担心(参照专利文献1)。而且，例如在特开平8-93989号公报中记述了如下的绝热保温管沿着由树脂发泡体等所构成的软质绝热性管状体的轴向设置从外周面向内周面贯通的切口，外周面被软质合成树脂片所覆盖，并延伸设置着与该合成树脂片的两侧相连接、且内面上涂敷有粘结剂的舌片。根据该公报的记载，使用时所述管状体的切口扩大，嵌合于被保温管，合成树脂片的一侧的舌片临时固定于被保温管的外壁，之后，另一侧的舌片贴附于合成树脂片的外面，覆盖切口。根据这样的绝热保温管，可期待提高覆盖管道的操作的施工性。但是，由于该绝热保温管中不具有加热功能，所以不能将被保温管控制在既定的温度范围。进而，由于是由粘结剂固定，所以在对管道检修时等有必要将绝热保温管取下的情况下，存在有损伤舌片的危险性。进而，由于在重复使用的情况下必须再一次涂敷粘结剂，很麻烦，不适用于多次利用(参照专利文献2)。专利文献1特开2002-250498号公报专利文献2特开平8-93989号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述历来的问题而提出的，其目的在于，提供一种能够容易反复装拆狭窄空间内的管道，且极少发生粉尘，能够在洁净室等中使用，进而能够以稳定的形式固定，加热面紧密接合于管道的外周面，热传导率高，加热部不会过热，且能够进行稳定的温度控制的管道用的绝热保温成套工具及使用该成套工具的绝热保温结构。本专利技术之一是一种管道的绝热保温结构，由以下部分所构成管道；带状的绝热保温单元层，至少绝热材料层由耐热性树脂薄膜包覆、且在管道的外周沿宽度方向缠绕；支撑罩层，是在管体的管轴方向的全长上具有狭缝状开口部的C型截面的管体，并从外侧包覆所述绝热保温层单元层。本专利技术之二是一种绝热保温成套工具，由以下部分所构成带状的绝热保温单元，至少绝热材料层由耐热性树脂薄膜包覆、且可在管道的外周沿宽度方向缠绕；支撑罩，是在管体的管轴方向的全长上具有狭缝状开口部的C型截面的管体，并可以从外侧包覆所述绝热保温层单元。由于构成所述第一专利技术的管道的绝热保温结构与所述第二专利技术的绝热保温成套工具的各要素都是共通的，所以以下以管道的绝热保温结构为中心进行说明，根据需要适当地对绝热保温成套工具追加必要的说明。对所述管道并无特别的限制，例如可以是输送液体及气体等流体的管道，其中，特别适用于需要对在清洁环境中所使用的精密仪器或装置中所使用的液体、气体等进行加热或保温的管道的情况。构成所述绝热保温单元层的绝热保温单元的绝热保温部，具有带状的形状，至少是由耐热性树脂片包覆具有耐热性、可弯曲性、及绝热性的带状的绝热层所构成。作为构成该绝热层的绝热材料，可以列举出PTFE、PET、FEP、PCTFE、ETFE、ECTFE、PVdF等氟树脂，芳族聚酰胺树脂、聚酰胺、聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚缩醛、聚对苯二甲酸乙二醇酯、改性聚亚苯基醚、聚亚苯硫醚、聚砜、聚醚砜、聚芳基酯、聚醚醚酮等耐热有机材料，以及玻璃、陶瓷、硅石、氧化铝等无机材料所构成的纤维的编织物或无纺布(毡制品)。进而，在这些材料为容易弯曲的情况下还可以使用其连续体的薄片，可以根据作为对象的管道的保温温度或加热温度而进行适宜的选择使用。而且，还可以将两种以上的上述材料配合或叠层使用。所述绝热层的厚度一般为0.5～5mm。优选所述绝热保温部的宽度是大体能够覆盖所述管道外周的程度，其两端在管道的外周相接。而且，其长度可以根据管道的长度而适当地调节，在管道长的情况下，为了使用方便，例如可以作为30～100cm长的定尺寸的结构而制造。能够在所述绝热保温单元内，配置发热体部。作为该发热体，并无特别限制，例如，可以使用通电发热的发热体。作为该发热体的形状，可以是线状、片状、或网状等，其中可以将线状的镍铬丝作为通用发热体使用。该发热体的消耗电力，根据本专利技术的绝热保温结构或绝热保温成套工具的对象管道及其加热、保温的温度而适宜地设定，通常为10～500W。所述各发热体，优选外周面被具有耐热性、电绝缘性的保护材料所覆盖。作为该绝缘体，例如可以列举出硅石套管或织物，氧化铝套管或织物，玻璃套管或织物等，其中硅石套管安全且通用。而且，由于所述绝热保温单元在宽度方向上缠绕于管道的外周面而使用，所以在发热体为线状加热器的情况下，原则上优选在宽度方向上弯曲小，沿绝热保温单元的长度方向蛇行配置。而且，优选所述发热体固定于绝热保温单元内，作为固定场所，例如可以是所述绝热材料的管道外周侧表面上，但为了固定，也可以另外将带状基材在面对所述绝热材料的管道外周面一侧而夹隔叠层，将所述发热体固定于该带状基材的管道外周面一侧的表面。作为所述带状基材，由具有耐热性、可弯曲性，进而优选绝热性优异的材料所构成。作为该类材料，例如可以列举出玻璃，陶瓷，硅石等无机材料所构成的可弯曲的连续体片，纤维织物或无纺布，或者是PTFE、PET、FEP、PCTFE、ETFE、ECTFE、PVdF等氟树脂，芳族聚酰胺树脂、聚酰胺、聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚缩醛、聚对苯二甲酸乙二醇酯、改性聚亚苯基醚、聚亚苯硫醚、聚砜、聚醚砜、聚芳基酯、聚醚醚酮等耐热有机材料，可以根据作为对象的保温或加热温度而适宜地选择使用，进而，还可以将其混合或叠层为层状使用。其中玻璃纤维织物由于耐热性好及使用方便，最适合使用。将所述发热体固定于所述绝热材料或带状基材上的方法，并没有特别的限制，可以列举出由玻璃纱线、硅石纱线、氧化铝纱线、以及用氟树脂包覆这些纱线而成的细的耐热性纤维或细丝，将电加热丝包边缝于带状基材部分的固定方法，由网眼状的薄片将电加热丝部推压粘结到绝热材料上或带状基材表面的方法，由缝纫机将电加热丝自身缝到绝热材料上或带状基材上的方法。还有，此时从传热的观点看，优选所述固定中所使用的材料应尽量不覆盖发热体。在绝热保温单元内配置所述发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种管道的绝热保温结构，其特征在于：由以下部分所构成：管道；带状的绝热保温单元层，至少绝热材料层由耐热性树脂薄膜包覆、且在管道的外周沿宽度方向缠绕；支撑罩层，是在管体的管轴方向的全长上具有狭缝状开口部的Ｃ型截面的管体 ，并从外侧包覆所述绝热保温层单元层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小林强，本吉芳之，福田启一，
申请(专利权)人：霓佳斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]