一种用于硅片贴片机的涂蜡装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于硅片贴片机的涂蜡装置，包括底板和升降台，第二升降气缸的上端与升降台相连，升降台中部内安装有真空罩杯，真空罩杯内设置有真空腔，真空罩杯的下端安装有伺服电机，真空腔内转动安装有加长轴，加长轴穿过真空罩杯的上端连接有第二吸盘，加长轴的下端与伺服电机的输出轴相连，加长轴内设置有用于连接第二吸盘和真空腔的真空通道，真空罩杯的一侧开有与真空腔连通的通孔，通孔通过气管与抽真空设备相连，升降台的上方设置有甩涂蜡箱，甩涂蜡箱的上端连接有滴蜡管，位于后方的第一升降气缸其上方设置有烤蜡箱。本实用自动化程度高，适合大批量生产。

A wax coating device for wafer mounter

The utility model relates to a wax coating device for a silicon chip mounter, which comprises a base plate and a lifting platform, the upper end of the second lifting cylinder is connected with the lifting platform, the middle part of the lifting platform is equipped with a vacuum cup, the vacuum cup is equipped with a vacuum cavity, the lower end of the vacuum cup is equipped with a servo motor, the vacuum cavity is rotated and installed with a lengthening shaft, and the lengthening shaft is connected through the upper end of the vacuum cup The lower end of the extension shaft is connected with the output shaft of the servo motor. The extension shaft is provided with a vacuum channel for connecting the second suction disk and the real cavity. One side of the vacuum cup is provided with a through hole which is connected with the vacuum cavity. The through hole is connected with the vacuum pumping equipment through the air pipe. The upper part of the lifting platform is provided with a wax spraying box, and the upper end of the wax spraying box is connected with a wax dropping pipe, which is located at the second rear A wax baking box is arranged above the lifting cylinder. The utility model has high automation degree and is suitable for mass production.

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片贴片机的涂蜡装置
本技术涉及硅片贴片机
，特别是涉及一种用于硅片贴片机的涂蜡装置。
技术介绍
硅片贴片是在硅片加工过程中必不可少的程序，目前主要人工借助定制的工装夹具手工操作工作效率低，贴片速度慢，贴片质量不稳定，影响产品质量及企业发展。在贴片过程中，其中一个工序是对硅片进行涂胶处理，但目前没有专门用于硅片涂胶的设备，导致生产效率低下。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种用于硅片贴片机的涂蜡装置，结构简单，自动化程度高，适合大批量生产。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种用于硅片贴片机的涂蜡装置，包括底板和升降台，所述的底板上端的前后两侧均竖直布置有第一升降气缸，每个第一升降气缸的活塞杆上端均安装有第一吸盘，两个第一升降气缸之间并排布置有两个第二升降气缸，所述的第二升降气缸的上端与升降台相连，该升降台中部内安装有真空罩杯，所述的真空罩杯内设置有真空腔，该真空罩杯的下端安装有伺服电机，所述的真空腔内转动安装有加长轴，该加长轴穿过真空罩杯的上端连接有第二吸盘，所述的加长轴的下端与伺服电机的输出轴相连，所述的加长轴内设置有用于连接第二吸盘和真空腔的真空通道，所述的真空罩杯的一侧开有与真空腔连通的通孔，该通孔通过气管与抽真空设备相连，所述的升降台的上方设置有甩涂蜡箱，该甩涂蜡箱的上端连接有滴蜡管，位于后方的第一升降气缸其上方设置有烤蜡箱，所述的底板的左右两侧均设置有前后滑动的滑台立板，两个滑台立板的下端通过滑台底板相连，所述的底板底部安装有与滑台底板相连的磁偶气缸，每个滑台立板的上端均对应安装有三个硅片置板。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的真空罩杯的下端与伺服电机之间安装有密封垫。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的伺服电机的下端安装有编码器。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的底板的上端中部安装有气缸固定板，该气缸固定板与底板之间安装有若干个弹性减震部件，两个第二升降气缸安装在气缸固定板的上端。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的气缸固定板的上端位于每个第二升降气缸的内侧均竖直安装有导套固定板，每个导套固定板的上部内侧均竖直安装有导套，所述的导套内安装有相配的导杆，该导杆的上端与升降台相连。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的真空腔上端与真空罩杯之间安装有轴封。有益效果：本技术涉及一种用于硅片贴片机的涂蜡装置，装置共有四个工位，1、接片，2、甩蜡，3、烤蜡，4、翻片，实现四个工位的位置变化。磁偶气缸可以控制滑台立板以及硅片置板前后滑动，使得硅片一片一片由前往后运输进来，运输进来的硅片依次经过滴蜡处理、烘烤处理，最后通过翻转机构将烘烤好的硅片翻转并与陶瓷盘贴合。附图说明图1是本技术的左视结构示意图；图2是本技术的局部结构示意图；图3是本技术的局部结构示意图；图4是本技术去掉烤蜡箱、滴蜡管以及甩涂蜡箱的主视结构示意图；图5是本技术的局部结构示意图；图6是本技术所述的滑台立板和硅片置板的俯视结构示意图。图示：1、磁偶气缸，2、底板，3、第一升降气缸，4、烤蜡箱，5、滴蜡管，6、甩涂蜡箱，7、第二吸盘，8、升降台，9、第二升降气缸，10、伺服电机，11、气缸固定板，12、第一吸盘，13、导套固定板，14、导套，15、导杆，16、弹性减震部件，17、编码器，18、真空腔，19、真空罩杯，20、加长轴，21、真空通道，22、通孔，23、密封垫，24、滑台底板，25、滑台立板，26、硅片置板，27、轴封。具体实施方式下面结合具体实施例，进一步阐述本技术。应理解，这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。此外应理解，在阅读了本技术讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本技术作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。本技术的实施方式涉及一种用于硅片贴片机的涂蜡装置，如图1-6所示，包括底板2和升降台8，所述的底板2上端的前后两侧均竖直布置有第一升降气缸3，每个第一升降气缸3的活塞杆上端均安装有第一吸盘12，两个第一升降气缸3之间并排布置有两个第二升降气缸9，所述的第二升降气缸9的上端与升降台8相连，该升降台8中部内安装有真空罩杯19，所述的真空罩杯19内设置有真空腔18，该真空罩杯19的下端安装有伺服电机10，所述的真空腔18内转动安装有加长轴20，该加长轴20穿过真空罩杯19的上端连接有第二吸盘7，所述的加长轴20的下端与伺服电机10的输出轴相连，所述的加长轴20内设置有用于连接第二吸盘7和真空腔18的真空通道21，所述的真空罩杯19的一侧开有与真空腔18连通的通孔22，该通孔22通过气管与抽真空设备相连，所述的升降台8的上方设置有甩涂蜡箱6，该甩涂蜡箱6的上端连接有滴蜡管5，位于后方的第一升降气缸3其上方设置有烤蜡箱4，所述的底板2的左右两侧均设置有前后滑动的滑台立板25，两个滑台立板25的下端通过滑台底板24相连，所述的底板2底部安装有与滑台底板24相连的磁偶气缸1，每个滑台立板25的上端均对应安装有三个硅片置板26。所述的真空罩杯19的下端与伺服电机10之间安装有密封垫23。所述的伺服电机10的下端安装有编码器17。所述的底板2的上端中部安装有气缸固定板11，该气缸固定板11与底板2之间安装有若干个弹性减震部件16，两个第二升降气缸9安装在气缸固定板11的上端。所述的气缸固定板11的上端位于每个第二升降气缸9的内侧均竖直安装有导套固定板13，每个导套固定板13的上部内侧均竖直安装有导套14，所述的导套14内安装有相配的导杆15，该导杆15的上端与升降台8相连。所述的真空腔18上端与真空罩杯19之间安装有轴封27。实施例本装置共有四个工位，1、接片，2、甩蜡，3、烤蜡，4、翻片，磁偶气缸1可以控制滑台立板25以及硅片置板26前后滑动，实现四个工位的位置变化。在接片工位上，首先机械手将硅片放到前方的第一吸盘12上，抽真空设备抽气，第一吸盘12吸住硅片，第一升降气缸3的活塞杆伸长，接着磁偶气缸1控制滑台立板25向前运动，运动至前端的两个硅片置板26刚好位于前方的第一吸盘12的下方，第一升降气缸3的活塞杆收缩，同时松开第一吸盘12，将硅片放到前端的两个硅片置板26之间，然后磁偶气缸1控制滑台立板25向后运动，移动至甩蜡工位，硅片运动至第二吸盘7的上方，接着第二升降气缸9的活塞杆伸长，第二吸盘7吸住硅片后继续上升一段高度，然后磁偶气缸1控制滑台立板25再次向前运动，重复上述的接片过程，于此同时伺服电机10启动，控制第二吸盘7以及硅片高速转动，滴蜡管5不断往硅片中部滴蜡，高速转动的硅片使得滴下来的蜡能够均匀的分散在硅片表面，完成滴蜡后，第二升降气缸9的活塞杆收缩，第二吸盘7松开硅片，使得滴完蜡的硅片放到中间的两个硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硅片贴片机的涂蜡装置，包括底板(2)和升降台(8)，其特征在于：所述的底板(2)上端的前后两侧均竖直布置有第一升降气缸(3)，每个第一升降气缸(3)的活塞杆上端均安装有第一吸盘(12)，两个第一升降气缸(3)之间并排布置有两个第二升降气缸(9)，所述的第二升降气缸(9)的上端与升降台(8)相连，该升降台(8)中部内安装有真空罩杯(19)，所述的真空罩杯(19)内设置有真空腔(18)，该真空罩杯(19)的下端安装有伺服电机(10)，所述的真空腔(18)内转动安装有加长轴(20)，该加长轴(20)穿过真空罩杯(19)的上端连接有第二吸盘(7)，所述的加长轴(20)的下端与伺服电机(10)的输出轴相连，所述的加长轴(20)内设置有用于连接第二吸盘(7)和真空腔(18)的真空通道(21)，所述的真空罩杯(19)的一侧开有与真空腔(18)连通的通孔(22)，该通孔(22)通过气管与抽真空设备相连，所述的升降台(8)的上方设置有甩涂蜡箱(6)，该甩涂蜡箱(6)的上端连接有滴蜡管(5)，位于后方的第一升降气缸(3)其上方设置有烤蜡箱(4)，所述的底板(2)的左右两侧均设置有前后滑动的滑台立板(25)，两个滑台立板(25)的下端通过滑台底板(24)相连，所述的底板(2)底部安装有与滑台底板(24)相连的磁偶气缸(1)，每个滑台立板(25)的上端均对应安装有三个硅片置板(26)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片贴片机的涂蜡装置，包括底板(2)和升降台(8)，其特征在于：所述的底板(2)上端的前后两侧均竖直布置有第一升降气缸(3)，每个第一升降气缸(3)的活塞杆上端均安装有第一吸盘(12)，两个第一升降气缸(3)之间并排布置有两个第二升降气缸(9)，所述的第二升降气缸(9)的上端与升降台(8)相连，该升降台(8)中部内安装有真空罩杯(19)，所述的真空罩杯(19)内设置有真空腔(18)，该真空罩杯(19)的下端安装有伺服电机(10)，所述的真空腔(18)内转动安装有加长轴(20)，该加长轴(20)穿过真空罩杯(19)的上端连接有第二吸盘(7)，所述的加长轴(20)的下端与伺服电机(10)的输出轴相连，所述的加长轴(20)内设置有用于连接第二吸盘(7)和真空腔(18)的真空通道(21)，所述的真空罩杯(19)的一侧开有与真空腔(18)连通的通孔(22)，该通孔(22)通过气管与抽真空设备相连，所述的升降台(8)的上方设置有甩涂蜡箱(6)，该甩涂蜡箱(6)的上端连接有滴蜡管(5)，位于后方的第一升降气缸(3)其上方设置有烤蜡箱(4)，所述的底板(2)的左右两侧均设置有前后滑动的滑台立板(25)，两个滑台立板(25)的下端通过滑台底板(24)相连，所述的底板(2)底部安装有与滑台底板(24)相连的磁偶气...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡晓光，厉惠宏，徐继东，
申请(专利权)人：金瑞泓科技衢州有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33