一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置。该步进式移动平台包括底部支撑板、中部滑板和上部支撑台面，所述支撑台面上设有支撑圆环，所述中部滑板分别与所述底部支撑板和所述上部支撑台面滑动步进连接，并且所述底部支撑板相对于中部滑板的滑动方向与所述上部支撑台面相对于中部滑板的滑动方向互为垂直，所述支撑圆环与所述支撑台面转动步进连接。该装置包括上述的步进式移动平台。采用该装置测试锗单晶的位错密度，操作简单，方便实用，定位准确，读数精准的优势，提高工作效率，解决了现有技术中测试位错密度时存在的操作繁琐、读数有偏差、工作效率较低等技术问题。

A step-by-step mobile platform and dislocation density testing device for germanium single crystal

The utility model provides a step-by-step mobile platform and a dislocation density testing device of germanium single crystal. The step-by-step mobile platform includes a bottom support plate, a middle sliding plate and an upper support platform, the support platform is provided with a support ring, the middle sliding plate is respectively connected with the bottom support plate and the upper support platform sliding step by step, and the sliding direction of the bottom support plate relative to the middle sliding plate and the sliding direction of the upper support platform relative to the middle sliding plate They are mutually vertical, and the support ring is connected with the rotation step of the support table. The device comprises the step-by-step mobile platform. Using this device to measure the dislocation density of germanium single crystal, it has the advantages of simple operation, convenient and practical, accurate positioning and accurate reading, and improves the working efficiency. It solves the technical problems of tedious operation, deviation of reading and low working efficiency existing in the existing technology when measuring the dislocation density.

【技术实现步骤摘要】
一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置
本技术涉及位错密度测试装置
，具体涉及一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置。
技术介绍
低位错密度的锗单晶广泛应用于太阳能领域，位错密度是材料核心指标，目前位错密度的测试遵循标准采用九点测量法。图1示出了一种依据测试标准所采用的九点法测量套板，套板贴于测试片测量测面上，通过套板上的九个定位孔读取位错数量。为使测量结果更真实的反映测量面的整体位错密度状况，采用三组九点法进行测试，即通过套板围绕圆心分别旋转30°、60°后再次进行读数，最后取三次读数平均值作为测试结果。此种测量方法较为准确可靠，但是此方式在测试过程中存在以下问题：1、贴有九孔套板的测试片置于常用显微镜移动平台上，通过调节手轮调节平台的位置。由于定位孔孔径较小，使定位孔和显微镜镜头对齐需要多次调节显微镜移动平台，特别对于倒置显微镜来讲，需要测试人员从平台底部观察调节。套板偏转时，需要取下套板重新贴合，操作繁琐，工作效率较低。2、由于加工精度的限制，套板九个定位孔边缘轮廓度不佳，显微镜内所呈现的视野边缘模糊，易造成读数偏差。因此，针对以上问题，开发一种操作简便、定位准确、读数精准且工作效率高的用于位错密度测试的装置是十分必要的。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置，设有该步进式移动平台的装置可用于锗单晶位错密度的测试，并且采用该装置测试锗单晶的位错密度，具有操作简单，方便实用，定位准确，读数精准的优势，提高工作效率，以解决现有技术中测试位错密度时存在的操作繁琐、读数有偏差、工作效率较低等技术问题。为了实现上述目的，根据本技术的第一方面，提供了一种步进式移动平台。该步进式移动平台包括底部支撑板、中部滑板和上部支撑台面，所述支撑台面上设有支撑圆环，所述中部滑板分别与所述底部支撑板和所述上部支撑台面滑动步进连接，并且所述底部支撑板相对于中部滑板的滑动方向与所述上部支撑台面相对于中部滑板的滑动方向互为垂直，所述支撑圆环与所述支撑台面转动步进连接。进一步的，所述中部滑板上部与所述上部支撑台面通过两侧平行设置的第一滑动导向机构滑动步进连接，所述中部滑板下部与所述底部支撑板通过与所述第一滑动导向机构垂直的方向平行设置的第二滑动导向机构滑动步进连接。进一步的，所述第一滑动导向机构包括设置在所述中部滑板上部两侧的滑槽或导轨以及对应设置在所述上部支撑台面两侧的导轨或滑槽；所述第二滑动导向机构包括设置在所述中部滑板下部两侧的滑槽或导轨以及对应设置在所述底部支撑板两侧的导轨或滑槽。进一步的，所述滑槽的纵向截面或横向截面为半圆形，且半圆形截面的开口朝向外侧。进一步的，所述导轨的纵向截面或横向截面为半圆形，且半圆形截面的开口朝向所述滑槽的截面开口。进一步的，所述上部支撑台面上设有圆形阶梯槽，所述圆形阶梯槽的台阶支撑所述支撑圆环，使得所述支撑圆环容置在所述阶梯槽内且所述支撑圆环周向与所述阶梯槽周向之间具有转动步进连接机构。进一步的，所述步进为在导轨或滑槽一者上设置有若干间隔凹孔，在另一者上设置有伸缩卡止机构，所述伸缩卡止机构包括垂直于导轨或滑槽的长度方向设置的凹槽内的弹簧和弹簧外侧设置的钢珠。进一步的，所述转动步进连接机构包括台阶上部的槽周向间隔设置有若干定位凹孔或伸缩卡止机构，以及所述支撑圆环上设置有伸缩卡止机构或若干定位凹孔，所述伸缩卡止机构包括所述支撑圆环径向方向设置的凹槽内的弹簧和弹簧外侧设置的钢珠。进一步的，所述凹槽为圆柱型结构。进一步的，所述第一滑动导向机构上设有5个间隔凹孔和一个与之配合的伸缩卡止机构；所述第二滑动导向机构上也设有5个间隔凹孔和一个与之配合的伸缩卡止机构，所述第一滑动导向机构和所述第二滑动导向机构上的5个所述凹孔的间距均依次为14.9mm、28.3mm、28.3mm和14.9mm。进一步的，所述第一滑动导向机构和/或所述第二滑动导向机构的两端设有限位部件。进一步的，所述限位部件为螺钉。进一步的，所述定位凹孔的数量为12个，均匀分布在所述圆形阶梯槽周边，每两个相邻的所述定位凹孔所对应的圆心角为30°。进一步的，所述底部支撑板和所述中部滑板的中部分别设有第一通孔和第二通孔，所述圆形阶梯槽下端设有第三通孔。进一步的，所述第一通孔和/或所述第二通孔的形状为方形。进一步的，所述第三通孔的形状为圆形。为了实现上述目的，根据本技术的第二方面，提供了一种锗单晶位错密度测试装置。该装置包括上述的步进式移动平台。在本技术实施例中，上述设置有步进式移动平台的位错密度测试装置可以用于锗单晶的位错密度测试，采用上述装置进行位错密度测试具有操作简单、实用方便、定位准确，读数精准的优势，提高了工作效率，从而解决了采用现有技术中装置测试位错密度时存在的操作繁琐、读数有偏差、工作效率较低等技术问题。附图说明通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本技术的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：图1为九点法测量套板的结构示意图；图2为本技术中步进式移动平台的结构示意图；图3a为本技术中底部支撑板的主视图；图3b为本技术中底部支撑板的左视图；图3c为本技术中底部支撑板的俯视图；图4a为本技术中中部滑板的主视图；图4b为本技术中中部滑板的左视图；图4c为本技术中中部滑板的俯视图；图5a为本技术中上部支撑台面的主视图；图5b为本技术中上部支撑台面的左视图；图5c为本技术中上部支撑台面的俯视图；图6a为本技术中支撑圆环的主视图；图6b为本技术中支撑圆环的左视图；图6c为本技术中支撑圆环的俯视图。图中：1、底部支撑板；101、第一滑槽；102、第一凹孔；103、第一通孔；2、中部滑板；201、第二滑槽；202、第一导轨；203、第二通孔；204、第二凹孔；3、上部支撑台面；301、第二导轨；302、第三通孔；303、圆形阶梯槽；304、定位凹孔；4、支撑圆环；5、限位部件；6、伸缩卡止机构。具体实施方式下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。本技术公开了一种步进式移动平台，如图2-6c所示，该步进式移动平台包括底部支撑板1、中部滑板2和上部支撑台面3，支撑台面3上设有支撑圆环4，中部滑板2分别与底部支撑板1和上部支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种步进式移动平台，其特征在于，包括底部支撑板(1)、中部滑板(2)和上部支撑台面(3)，所述支撑台面(3)上设有支撑圆环(4)，所述中部滑板(2)分别与所述底部支撑板(1)和所述上部支撑台面(3)滑动步进连接，并且所述底部支撑板(1)相对于中部滑板(2)的滑动方向与所述上部支撑台面(3)相对于中部滑板(2)的滑动方向互为垂直，所述支撑圆环(4)与所述支撑台面(3)转动步进连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种步进式移动平台，其特征在于，包括底部支撑板(1)、中部滑板(2)和上部支撑台面(3)，所述支撑台面(3)上设有支撑圆环(4)，所述中部滑板(2)分别与所述底部支撑板(1)和所述上部支撑台面(3)滑动步进连接，并且所述底部支撑板(1)相对于中部滑板(2)的滑动方向与所述上部支撑台面(3)相对于中部滑板(2)的滑动方向互为垂直，所述支撑圆环(4)与所述支撑台面(3)转动步进连接。


2.根据权利要求1所述的步进式移动平台，其特征在于，所述中部滑板(2)上部与所述上部支撑台面(3)通过两侧平行设置的第一滑动导向机构滑动步进连接，所述中部滑板(2)下部与所述底部支撑板(1)通过与所述第一滑动导向机构垂直的方向平行设置的第二滑动导向机构滑动步进连接。


3.根据权利要求2所述的步进式移动平台，其特征在于，所述第一滑动导向机构包括设置在所述中部滑板(2)上部两侧的滑槽或导轨以及对应设置在所述上部支撑台面(3)两侧的导轨或滑槽；所述第二滑动导向机构包括设置在所述中部滑板(2)下部两侧的滑槽或导轨以及对应设置在所述底部支撑板(1)两侧的导轨或滑槽。


4.根据权利要求1所述的步进式移动平台，其特征在于，所述上部支撑台面(3)上设有圆形阶梯槽(303)，所述圆形阶梯槽(303)的台阶支撑所述支撑圆环(4)，使得所述支撑圆环(4)容置在所述圆形阶梯槽(303)内且所述支撑圆环(4)周向与所述圆形阶梯槽(303)周向之间具有转动步进连接机构。


5.根据权利要求3所述的步进式移...

【专利技术属性】
技术研发人员：张路，马会超，冯德伸，
申请(专利权)人：北京国晶辉红外光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11