下载一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置的技术资料

文档序号:22676099

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本实用新型提供了一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置。该步进式移动平台包括底部支撑板、中部滑板和上部支撑台面,所述支撑台面上设有支撑圆环,所述中部滑板分别与所述底部支撑板和所述上部支撑台面滑动步进连接,并且所述底部支撑板相对于中部滑板...
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