一种硅片生产用自动化硅片脱胶机制造技术

技术编号:22646682 阅读:32 留言:0更新日期:2019-11-26 17:19
本发明专利技术公开了一种硅片生产用自动化硅片脱胶机,包括脱胶机本体,所述脱胶机本体内部包括有电控箱,且电控箱左侧固定连接有脱胶箱体,所述脱胶箱体内部固定连接有分隔板,且分隔板将脱胶箱体内部从右至左依次等分为第一脱胶室、第二脱胶室和第三脱胶室和烘干室,所述脱胶箱体前端铰接连接有脱胶箱门,所述脱胶箱体下端固定连接有收集箱体,所述脱胶箱体内部固定安装有输送机构。该硅片生产用自动化硅片脱胶机,增加了整体脱胶的效果,从而增加了硅片生产的效果,从而增加额了整体实用性,且生产中的水均通过循环的方式进行再利用,降低了整体的资源消耗,增加了整体实用性,从而增加了整体的实用性。

An automatic wafer degumming machine for wafer production

The invention discloses an automatic wafer degumming machine for wafer production, which includes a degumming machine body, the internal part of the degumming machine body includes an electric control box, and the left side of the electric control box is fixedly connected with a degumming box body, the internal part of the degumming box body is fixedly connected with a dividing plate, and the dividing plate divides the internal part of the degumming box body from right to left into the first degumming chamber, the second degumming chamber and the third degumming chamber And a drying chamber, the front end of the degumming box is hinged and connected with a degumming box door, the lower end of the degumming box is fixedly connected with a collecting box body, and the inner part of the degumming box body is fixedly installed with a conveying mechanism. The automatic wafer degumming machine for wafer production has increased the overall degumming effect, thus increasing the effect of wafer production, thus increasing the overall practicability. In addition, the water in production is reused through circulation, reducing the overall resource consumption, increasing the overall practicability, thus increasing the overall practicability.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片生产用自动化硅片脱胶机
本专利技术涉及硅片生产加工
,具体为一种硅片生产用自动化硅片脱胶机。
技术介绍
硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有着惊人的运算能力。无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题,也无论计算的工作量有多大,工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它,并下达解题的思路和指令,计算机就能在极短的时间内把答案告诉你。这样,那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题,计算机可能只需要几分钟就可以解决。甚至有些人力无法计算出结果的问题,计算机也能很快告诉你答案。但硅片生产需要对硅片进行脱胶,在硅片脱胶过程中无法对硅片进行自动的快速高效的脱胶,容易造成硅片脱胶不彻底,从而影响整体后续的工作,降低了整体脱胶效果,且现有的硅片生产脱胶不能连续得的进行,降低了整体脱胶的速度,从而降低了整体的脱胶速度,同时现有的硅片生产脱胶设备只能单纯的进行脱胶,降低了整体的功能性,从而降低了整体实用性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅片生产用自动化硅片脱胶机,以解决上述
技术介绍
中提出但硅片生产需要对硅片进行脱胶,在硅片脱胶过程中无法对硅片进行自动的快速高效的脱胶,容易造成硅片脱胶不彻底,从而影响整体后续的工作,降低了整体脱胶效果,且现有的硅片生产脱胶不能连续得的进行,降低了整体脱胶的速度,从而降低了整体的脱胶速度,同时现有的硅片生产脱胶设备只能单纯的进行脱胶,降低了整体的功能性,从而降低了整体实用性的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种硅片生产用自动化硅片脱胶机,包括脱胶机本体,所述脱胶机本体内部包括有电控箱,且电控箱左侧固定连接有脱胶箱体,所述脱胶箱体内部固定连接有分隔板,且分隔板将脱胶箱体内部从右至左依次等分为第一脱胶室、第二脱胶室和第三脱胶室和烘干室,所述脱胶箱体前端铰接连接有脱胶箱门,所述脱胶箱体下端固定连接有收集箱体,且收集箱体前端铰接连接有收集箱门,所述收集箱体内部活动连接有收集机构,所述脱胶箱体上端固定连接有循环箱体,且循环箱体内部固定安装有循环机构,所述脱胶箱体内部固定安装有输送机构。优选的,所述脱胶箱体与收集箱体和循环箱体的内部结构相同,且收集箱体和循环箱体内部被分隔板次等分为四组,所述四组等分的收集箱体和循环箱体内部空间分别与第一脱胶室、第二脱胶室、第三脱胶室和烘干室对应分布。优选的,所述分隔板在脱胶箱体内部等间距分布,且分隔板关于脱胶箱体水平中心线对称分布,所述分隔板中间开设有活动槽,且活动槽与分隔板垂直中心线重叠。优选的,所述收集机构内部包括有收集箱,且收集箱后端固定连接有连接管,所述连接管穿过收集箱体内侧延伸至收集箱体后端,且连接管与第一脱胶室、第二脱胶室、第三脱胶室和烘干室对应分布,且第一脱胶室、第二脱胶室、第三脱胶室对应分布的连接管后端固定连接有循环泵,所述循环泵上端固定连接有循环管,且循环管内侧过定连接有过滤箱。优选的,所述收集箱体内部固定连接有导流框,所述导流框内部固定连接有滤胶板,且滤胶板内部开设有漏水孔,所述导流框与收集箱对应分布有四组,且导流框中的漏水孔等间距分布。优选的,所述过滤箱内部固定连接有过滤组件,且过滤组件为两层滤布夹装活性炭颗粒结构,并且活性炭颗粒结构优选压缩活性炭。优选的,所述烘干室对应分布的循环箱体隔层内部固定连接有风机,且风机出风口穿过循环箱体下端延伸至脱胶箱体内部,所述烘干室对应分布的循环箱体下端固定连接有电热灯组,且电热灯组外侧与风机出风口不贴合,所述风机进风口穿过循环箱体内侧延伸至循环箱体上端。优选的,所述循环机构内部包括有储水箱,且储水箱后端固定连接有对接管,所述穿过循环箱体内侧延伸至循环箱体后端,且对接管后端与循环管固定连接,所述储水箱内部固定连接有加压泵,所述加压泵出水口穿过循环箱体下端延伸至脱胶箱体内部,且加压泵出水口固定连接有加压喷头,所述储水箱、加压泵和加压喷头对应第一脱胶室、第二脱胶室、第三脱胶室分布。优选的,所述输送机构内部包括有安装板,且安装板外侧固定连接有电动机,所述电动机输出端穿过安装板延伸至安装板内侧,且电动机输出端固定连接有主动辊,所述主动辊外侧活动连接有输送带,所述输送带内侧活动连接有从动辊,所述输送带内侧开设有通孔,且输送带外侧固定连接有定位工装。优选的,所述定位工装内部包括有安装框,且安装框前端固定连接有驱动电机,所述驱动电机输出端穿过安装框延伸至安装框内侧,且驱动电机输出端固定连接有固定框,所述固定框与安装框活动连接,所述固定框外侧固定连接有气缸,且气缸活动端穿过固定框外侧延伸至固定框内侧,所述定位工装在输送带外侧等间距分布,且定位工装内部安装框下端开设有通水孔。本专利技术的有益效果是:1、该硅片生产用自动化硅片脱胶机,通过使用三组脱胶室对整体进行不同程度的脱胶,可以在第一脱胶室、第二脱胶室和第三脱胶室对应的收集箱和循环箱分别添加温水、冷水和乳酸,对硅片进行三重脱胶,从而使整体进行完全的脱胶,增加了整体脱胶的效果,从而增加了硅片生产的效果,从而增加额了整体实用性;2、该硅片生产用自动化硅片脱胶机,通过使用输送机构带动硅片进行输送,并通过循环机构的高压喷头对硅片进行高压脱胶,从而使整体可以及西宁自动化的脱胶,整个过程中只需要人工上下料即可,降低了人力消耗,同时增加了硅片脱胶和生产的速度,且生产中的水均通过循环的方式进行再利用,降低了整体的资源消耗,增加了整体实用性;3、该硅片生产用自动化硅片脱胶机,通过在硅片脱胶机最后端增加了风机和电热灯组,从而对脱胶的硅片进行烘干,使硅片脱胶机具有烘干的效果,增加了整体的功能性,并保证了整体的加工速度,从而增加了整体的实用性。附图说明图1为本专利技术立体结构示意图;图2为本专利技术脱胶箱体内部结构示意图;图3为本专利技术俯视出结构示意图;图4为本专利技术收集机构连接结构示意图;图5为本专利技术处理箱输送机构立体结构示意图;图6为本专利技术过导流框立体结构示意图;图7为本专利技术过过滤箱内部结构示意图;图8为本专利技术过定位工装立体结构示意图。图中:1、脱胶机本体;2、电控箱;3、脱胶箱体;4、分隔板;5、第一脱胶室;6、第二脱胶室;7、第三脱胶室;8、烘干室;9、脱胶箱门;10、收集箱体;11、收集箱门;12、收集机构;13、循环箱体;14、循环机构;15、输送机构;16、导流框;17、风机;18、电热灯组;19、活动槽;1201、收集箱;1202、连接管;1203、循环泵;1204、循环管;1205、过滤箱;1401、储水箱;1402、对接管;1403、加压泵;1404、加压喷头;1601、滤胶板;1602、漏水孔;1501、安装板;1502、电动机;1503、主动辊;1504、输送带;1505、通孔;1506、定位工装;1507、从动辊;12051、过滤组件;12052、滤布;12053、活性炭颗粒;15061、安装框;15062、驱动电机;15063、固定框;15064、气缸;15065、通水孔。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片生产用自动化硅片脱胶机,包括脱胶机本体(1),其特征在于:所述脱胶机本体(1)内部包括有电控箱(2),且电控箱(2)左侧固定连接有脱胶箱体(3),所述脱胶箱体(3)内部固定连接有分隔板(4),且分隔板(4)将脱胶箱体(3)内部从右至左依次等分为第一脱胶室(5)、第二脱胶室(6)和第三脱胶室(7)和烘干室(8),所述脱胶箱体(3)前端铰接连接有脱胶箱门(9),所述脱胶箱体(3)下端固定连接有收集箱体(10),且收集箱体(10)前端铰接连接有收集箱门(11),所述收集箱体(10)内部活动连接有收集机构(12),所述脱胶箱体(3)上端固定连接有循环箱体(13),且循环箱体(13)内部固定安装有循环机构(14),所述脱胶箱体(3)内部固定安装有输送机构(15)。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片生产用自动化硅片脱胶机,包括脱胶机本体(1),其特征在于:所述脱胶机本体(1)内部包括有电控箱(2),且电控箱(2)左侧固定连接有脱胶箱体(3),所述脱胶箱体(3)内部固定连接有分隔板(4),且分隔板(4)将脱胶箱体(3)内部从右至左依次等分为第一脱胶室(5)、第二脱胶室(6)和第三脱胶室(7)和烘干室(8),所述脱胶箱体(3)前端铰接连接有脱胶箱门(9),所述脱胶箱体(3)下端固定连接有收集箱体(10),且收集箱体(10)前端铰接连接有收集箱门(11),所述收集箱体(10)内部活动连接有收集机构(12),所述脱胶箱体(3)上端固定连接有循环箱体(13),且循环箱体(13)内部固定安装有循环机构(14),所述脱胶箱体(3)内部固定安装有输送机构(15)。


2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用自动化硅片脱胶机,其特征在于:所述脱胶箱体(3)与收集箱体(10)和循环箱体(13)的内部结构相同,且收集箱体(10)和循环箱体(13)内部被分隔板(4)次等分为四组,所述四组等分的收集箱体(10)和循环箱体(13)内部空间分别与第一脱胶室(5)、第二脱胶室(6)、第三脱胶室(7)和烘干室(8)对应分布。


3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用自动化硅片脱胶机,其特征在于:所述分隔板(4)在脱胶箱体(3)内部等间距分布,且分隔板(4)关于脱胶箱体(3)水平中心线对称分布,所述分隔板(4)中间开设有活动槽(19),且活动槽(19)与分隔板(4)垂直中心线重叠。


4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用自动化硅片脱胶机,其特征在于:所述收集机构(12)内部包括有收集箱(1201),且收集箱(1201)后端固定连接有连接管(1202),所述连接管(1202)穿过收集箱体(10)内侧延伸至收集箱体(10)后端,且连接管(1202)与第一脱胶室(5)、第二脱胶室(6)、第三脱胶室(7)和烘干室(8)对应分布,且第一脱胶室(5)、第二脱胶室(6)、第三脱胶室(7)对应分布的连接管(1202)后端固定连接有循环泵(1203),所述循环泵(1203)上端固定连接有循环管(1204),且循环管(1204)内侧过定连接有过滤箱(1205)。


5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用自动化硅片脱胶机,其特征在于:所述收集箱体(10)内部固定连接有导流框(16),所述导流框(16)内部固定连接有滤胶板(1601),且滤胶板(1601)内部开设有漏水孔(1602),所述导流框(16)与收集箱(1201)对应分布有四组,且导流框(16)中的漏水孔(1602)等间距分布。


6.根据权利要求1所述的一种硅片生产用自动化硅片脱胶机,其特征在于:所述过滤箱(1205)内部固定连接有过滤组件(12051),且过滤组件...

【专利技术属性】
技术研发人员:余江湖刘君郑松
申请(专利权)人:安徽晶天新能源科技有限责任公司
类型:发明
国别省市:安徽;34

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