载板传输控制系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种载板传输控制系统，系统包括第一门阀传感器和伺服系统；第一门阀传感器用于检测载板是否达到装载腔的第一通过口；如果是，则伺服系统直接控制载板以设定的第一速度前进设定的第一距离，以达到装载腔内的第一位置；伺服系统还用于在第一位置直接控制载板以设定的第二速度前进设定的第二距离，以达到设定的第二位置；其中，第一速度和第二速度均为匀速速度，第二速度小于第一速度；第一位置为装载腔内靠近上料腔的一侧；第二位置为装载腔内靠近工艺腔的一侧。本实用新型专利技术提供的载板传输控制系统，利用伺服系统直接控制载板运行，与现有技术相比，取消了过多的传感器，在降低设备成本的同时，还提高了传输效率和传输精度。

Board transmission control system

The utility model discloses a carrier plate transmission control system, which comprises a first door valve sensor and a servo system; the first door valve sensor is used to detect whether the carrier plate reaches the first through port of the loading chamber; if so, the servo system directly controls the carrier plate to advance the first distance set at the first speed to reach the first position in the loading chamber; the servo system is also used for In the first position, the carrier plate is directly controlled to advance the set second distance at the set second speed to reach the set second position; wherein, the first speed and the second speed are both uniform speed, and the second speed is less than the first speed; the first position is the side of the loading cavity close to the loading cavity; the second position is the side of the loading cavity close to the process cavity. The carrier plate transmission control system of the utility model uses the servo system to directly control the operation of the carrier plate. Compared with the prior art, the utility model cancels too many sensors, reduces the equipment cost, and improves the transmission efficiency and the transmission accuracy.

【技术实现步骤摘要】
载板传输控制系统
本技术涉及太阳能电池的制造技术，尤其涉及一种载板传输控制系统。
技术介绍
MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和Ⅴ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及他们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD设备中的晶体生长都是在常压或者低压(10-100Torr)下通氢气的不锈钢反应室中进行，衬底温度为500-1200℃，用高温灯管加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方)，氢气通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。其中在生产过程中承载石墨基座的载板是由传输系统传输到反应腔内，在产品生成后再从反应腔中传输到外边将晶片进行下一道工序的处理。MOCVD设备的载板传输是通过如下方式进行的：载板从上料腔传输到装载腔，在装载腔进行加热工艺处理后，传输到工艺腔进行晶片的生成。完成后，载板从工艺腔传输到装载腔进行冷却工艺处理后，再传输到上料腔将晶片取出。如图1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载板传输控制系统，其特征在于，包括第一门阀传感器和伺服系统；/n所述第一门阀传感器，用于检测载板是否达到装载腔的第一通过口；/n所述伺服系统用于直接控制所述载板以设定的第一速度前进设定的第一距离，以达到装载腔内的第一位置；/n所述伺服系统，还用于在所述第一位置直接控制所述载板以设定的第二速度前进设定的第二距离，以达到设定的第二位置；/n其中，所述第一速度和所述第二速度均为匀速速度，所述第二速度小于所述第一速度；/n所述第一位置为装载腔内靠近上料腔的一侧；/n所述第二位置为装载腔内靠近工艺腔的一侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种载板传输控制系统，其特征在于，包括第一门阀传感器和伺服系统；
所述第一门阀传感器，用于检测载板是否达到装载腔的第一通过口；
所述伺服系统用于直接控制所述载板以设定的第一速度前进设定的第一距离，以达到装载腔内的第一位置；
所述伺服系统，还用于在所述第一位置直接控制所述载板以设定的第二速度前进设定的第二距离，以达到设定的第二位置；
其中，所述第一速度和所述第二速度均为匀速速度，所述第二速度小于所述第一速度；
所述第一位置为装载腔内靠近上料腔的一侧；
所述第二位置为装载腔内靠近工艺腔的一侧。


2.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述伺服系统包括定位控制模块，与所述第一门阀传感器相连，所述定位控制模块用于直接控制所述载板以设定的第一速度前进设定的第一距离，以达到装载腔内的第一位置；以及，在所述第一位置直接控制所述载板以设定的第二速度前进设定的第二距离，以达到设定的第二位置。


3.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述伺服系统还用于直接控制所述载板以设定的第三速度减速前进设定的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王广军，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11