一种截取锥清洗装置及使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种截取锥清洗装置及使用方法，内部清洗装置包括第一圆柱部件和设于该第一圆柱部件一端用于套设空心锥头的圆锥部件；外部清洗装置包括底座和位于底座上的第二圆柱部件，第二圆柱部件的上表面处设有用于嵌入空心锥头的锥形孔；用于套设圆锥部件的砂纸以及用于镶嵌于锥形孔内的砂纸。将圆锥部件套上砂纸，置于截取锥的空心锥头内，朝一个方向打磨转圈；在锥形孔内放置砂纸，将截取锥的空心锥头置于放置了砂纸的锥形孔内，朝一个方向打磨转圈。本发明专利技术根据截取锥的尺寸大小设计专用的配套工具给清洗带来便捷和延长锥头的使用寿命。

A cleaning device for cutting cone and its application

The invention provides an intercepting cone cleaning device and a method of use. The internal cleaning device includes a first cylinder part and a cone part arranged at one end of the first cylinder part for setting a hollow cone head; the external cleaning device includes a base and a second cylinder part arranged on the base, and the upper surface of the second cylinder part is provided with a cone hole for embedding the hollow cone head; the internal cleaning device is used for setting a cone Sandpaper for components and for inlaying in tapered holes. Put the cone part on the sandpaper, place it in the hollow cone head of the cutting cone, and polish the turning circle in one direction; place the sandpaper in the cone hole, place the hollow cone head of the cutting cone in the cone hole where the sandpaper is placed, and polish the turning circle in one direction. According to the size of the intercepting cone, the invention designs a special matching tool, which brings convenience for cleaning and prolongs the service life of the cone head.

【技术实现步骤摘要】
一种截取锥清洗装置及使用方法
本专利技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种截取锥清洗装置及使用方法。
技术介绍
ICP-MS机台是分析金属污染的关键机台，截取锥是进样系统的组成部分。在分析样品的过程中污染物会残留在锥的表面，为了保证机台的信号值所以截取锥要每天清洗，原有的清洗方法是用氧化铝粉加水搅拌成糊状，然后用棉签蘸着糊状的氧化铝粉轻轻擦拭，清洗费时费力，而且在擦拭的时候会碰到锥头(锥头的孔径为0.4mm)，锥孔的变大或变形就不能使用了，所以一个新锥的使用寿命在一个月左右。因此，需要提出一种新的截取锥清洗装置及使用方法。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种截取锥清洗装置及使用方法，用于解决现有技术中清洗费时费力且影响截取锥使用寿命的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种截取锥清洗装置，所述截取锥由一圆锥形的空心锥头和相接于该空心锥头底面的圆片以及相接于该圆片的扁圆柱组成，该装置至少包括：内部清洗装置和外部清洗装置；所述内部清洗装置包括第一圆柱部件和设于该第一圆柱部件一端用于套设所述空心锥头的圆锥部件；所述外部清洗装置包括底座和位于所述底座上的第二圆柱部件，所述第二圆柱部件的表面处设有用于嵌入所述空心锥头的锥形孔；套设于所述圆锥部件的砂纸以及镶嵌于所述锥形孔内的砂纸。优选地，所述空心锥头形状为圆锥形，其底面直径为10mm，该圆锥的高度为7mm。优选地，组成所述截取锥的圆片直径大于该组成截取锥的扁圆柱的直径。优选地，所述内部清洗装置中的圆锥部件，其圆锥的底面直径与该内部清洗装置中的第一圆柱部件的底面直径相等。优选地，所述内部清洗装置中的第一圆柱部件的底面直径为5mm。优选地，所述内部清洗装置中的圆锥部件的椎体高度为7mm。优选地，组成所述外部清洗装置的底座为圆柱形底座，其底面直径为60mm，高度为10mm。优选地，组成所述外部清洗装置的第二圆柱部件的底面直径为50mm，高度为30mm。优选地，设于所述第二圆柱部件表面处的所述锥形孔的底面直径为11mm，高度为8mm。优选地，用于套设所述圆锥部件的砂纸的形状为圆锥形，其底面直径为5mm，高度为7mm；用于镶嵌于所述锥形孔内的砂纸的底面直径为10mm，高度为7mm。优选地，该方法包括以下步骤：步骤一、将所述内部清洗装置的所述圆锥部件套上所述砂纸，置于所述截取锥的空心锥头内，朝一个方向打磨转圈；步骤二、在所述外部清洗装置的所述锥形孔内放置所述砂纸，将所述截取锥的空心锥头置于放置了砂纸的所述锥形孔内，朝一个方向打磨转圈。优选地，步骤一中打磨转圈的时间为30秒。优选地，步骤二中打磨转圈的时间为30秒。优选地，步骤一中打磨转圈的方向为顺时针方向。优选地，步骤二中打磨转圈的方向为顺时针方向。如上所述，本专利技术的截取锥清洗装置及使用方法，具有以下有益效果：本专利技术根据截取锥的尺寸大小设计专用的配套工具给清洗带来便捷和延长锥头的使用寿命。附图说明图1a显示为本专利技术的截取锥的三维结构示意图；图1b显示为本专利技术的截取锥的纵截面示意图；图2a显示为本专利技术的内部清洗装置三维结构示意图；图2b显示为本专利技术的内部清洗装置纵截面示意图；图3a显示为本专利技术的外部清洗装置三维结构示意图；图3b显示为本专利技术的外部清洗装置纵截面示意图；图4显示为本专利技术的砂纸的结构示意图。具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图1a至图4。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本专利技术的基本构想，遂图式中仅显示与本专利技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。本专利技术提供一种截取锥清洗装置，如图1a和图1b所示，图1a显示为本专利技术的截取锥的三维结构示意图；图1b显示为本专利技术的截取锥的纵截面示意图。所述截取锥由一圆锥形的空心锥头03和相接于该空心锥头底面的圆片02以及相接于该圆片的扁圆柱01组成。所述截取锥的空心锥头的椎体内部为空，清洗时所述空心锥头的椎体内部和外部都需要清洗。因此本专利技术提供的所述清洗装置至少包括：内部清洗装置和外部清洗装置。如图2a和图2b所示，图2a显示为本专利技术的内部清洗装置三维结构示意图；图2b显示为本专利技术的内部清洗装置纵截面示意图。其中所述内部清洗装置包括第一圆柱部件07和设于该第一圆柱部件07一端用于套设所述空心锥头的圆锥部件08。如图1b所示，本专利技术进一步地，所述空心锥头03形状为圆锥形，其底面直径为10mm，该圆锥的高度为7mm。并且组成所述截取锥的圆片02直径大于该组成截取锥的扁圆柱01的直径。也就是说，所述圆片02的下底面设置于所述空心锥头03的底面上，而所述扁圆柱01的底面设置于所述圆片02的上底面。并且所述圆片02的直径大于所述扁圆柱01的底面直径。如图2a和图2b所示，所述内部清洗装置中的圆锥部件08，其圆锥的底面直径与该内部清洗装置中的第一圆柱部件07的底面直径相等。本专利技术进一步地，所述内部清洗装置中的第一圆柱部件07的底面直径为5mm。因此，所述圆锥部件08的底面直径亦为5mm。如图2b所示，所述圆锥部件08的底面设置于所述第一圆柱部件07的上底面上。本专利技术跟进一步地，图2b中所述内部清洗装置中的圆锥部件08的椎体高度为7mm。如图3a和图3b所示，图3a显示为本专利技术的外部清洗装置三维结构示意图；图3b显示为本专利技术的外部清洗装置纵截面示意图。所述外部清洗装置包括底座04和位于所述底座04上的第二圆柱部件05，所述第二圆柱部件05的上表面处设有用于嵌入所述空心锥头的锥形孔06。本专利技术进一步地，如图3b所示，组成所述外部清洗装置的底座04为圆柱形底座，其底面直径为60mm，高度为10mm。并且组成所述外部清洗装置的第二圆柱部件05的底面直径为50mm，高度为30mm。本专利技术更进一步地，设于所述第二圆柱部件05上表面处的所述锥形孔06的底面直径为11mm，高度为8mm。本专利技术的所述截取锥清洗装置还包括：用于套设所述圆锥部件的砂纸以及用于镶嵌于所述锥形孔内的砂纸。参考图4，图4显示为本专利技术的砂纸的结构示意图。也就是说，所述内部清洗装置中的所述圆锥部件上需要套上所述砂纸才能用于清洗所述截取锥的空心锥头的内部。本专利技术进一步地，所述砂纸的形状为圆锥形，其底面直径为5mm，高度为7mm。当清洗所述截取锥的空心锥头的外部时，将所述第二圆柱部件05上表面处的锥形孔06内放置所述砂纸，将所述空心锥头倒扣于所述置有砂纸的所述锥形孔内。本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种截取锥清洗装置，其特征在于，所述截取锥由一圆锥形的空心锥头和相接于该空心锥头底面的圆片以及相接于该圆片的扁圆柱组成，该装置至少包括：/n内部清洗装置和外部清洗装置；/n所述内部清洗装置包括第一圆柱部件和设于该第一圆柱部件一端用于套设所述空心锥头的圆锥部件；/n所述外部清洗装置包括底座和位于所述底座上的第二圆柱部件，所述第二圆柱部件的上表面处设有用于嵌入所述空心锥头的锥形孔；/n用于套设所述圆锥部件的砂纸以及用于镶嵌于所述锥形孔内的砂纸。/n

【技术特征摘要】
1.一种截取锥清洗装置，其特征在于，所述截取锥由一圆锥形的空心锥头和相接于该空心锥头底面的圆片以及相接于该圆片的扁圆柱组成，该装置至少包括：
内部清洗装置和外部清洗装置；
所述内部清洗装置包括第一圆柱部件和设于该第一圆柱部件一端用于套设所述空心锥头的圆锥部件；
所述外部清洗装置包括底座和位于所述底座上的第二圆柱部件，所述第二圆柱部件的上表面处设有用于嵌入所述空心锥头的锥形孔；
用于套设所述圆锥部件的砂纸以及用于镶嵌于所述锥形孔内的砂纸。


2.根据权利要求1所述的截取锥清洗装置，其特征在于：所述空心锥头形状为圆锥形，其底面直径为10mm，该圆锥的高度为7mm。


3.根据权利要求2所述的截取锥清洗装置，其特征在于：组成所述截取锥的圆片直径大于该组成截取锥的扁圆柱的直径。


4.根据权利要求2所述的截取锥清洗装置，其特征在于：所述内部清洗装置中的圆锥部件，其圆锥的底面直径与该内部清洗装置中的第一圆柱部件的底面直径相等。


5.根据权利要求4所述的截取锥清洗装置，其特征在于：所述内部清洗装置中的第一圆柱部件的底面直径为5mm。


6.根据权利要求5所述的截取锥清洗装置，其特征在于：所述内部清洗装置中的圆锥部件的椎体高度为7mm。


7.根据权利要求1或6所述的截取锥清洗装置，其特征在于：组成所述外部清洗装置的底座为圆柱形底座，其底面直径为60mm，高度为10mm。

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【专利技术属性】
技术研发人员：朱丹，宋健，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31