一种双工位悬臂式微加工设备制造技术

本发明专利技术公开了一种双工位悬臂式微加工设备，包括加工平台和承重板，所述加工平台和承重板上分别设置有定位机构和聚光机构，所述定位机构包括底座和推杆，所述底座的侧壁上滑动设置有滑座，所述底座的上表面安装有减阻板，且减阻板与推杆的伸缩端共同支撑有承载台。本发明专利技术结构设计巧妙，通过设置定位机构使工作台实现平面内的任意移动，在加工过程中，聚光机构位于固定的、稳定的状态，光路不会受到扰动，使加工精度更高，并且可以满足长时间高精度微加工的需求，当一个工位处的工件加工好后，承重板在横杆上匀速滑动既能使激光加工装置到达另一工位处，实现一个设备对双工位交替加工的目的，提高了加工效率。

A kind of double position cantilever micromachining equipment

The invention discloses a double position cantilever micromachining device, which includes a processing platform and a bearing plate, the processing platform and the bearing plate are respectively provided with a positioning mechanism and a concentrating mechanism, the positioning mechanism includes a base and a push rod, the side wall of the base is slidably provided with a sliding seat, the upper surface of the base is provided with a drag reduction plate, and the drag reduction plate and the extension end of the push rod are jointly supported The bearing platform is supported. The structure design of the invention is ingenious. By setting the positioning mechanism, the worktable can move arbitrarily in the plane. In the process of processing, the concentrating mechanism is in a fixed and stable state, the light path will not be disturbed, so that the processing accuracy is higher, and it can meet the requirements of long-time high-precision micro processing. When the workpieces at one working position are processed, the bearing plate slides evenly on the crossbar It can not only make the laser processing device reach another station, but also realize the purpose of alternating processing of two stations by one device, and improve the processing efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种双工位悬臂式微加工设备
本专利技术涉及微加工设备
，尤其涉及一种双工位悬臂式微加工设备。
技术介绍
微加工技术是以微小切除量获得很高精度的尺寸和形状的加工，主要指激光微加工技术，与常规的机械加工相比，激光加工更精密、更准确、更迅速.该技术利用激光束与物质相互作用的特性对包括金属与非金属的各种材料进行加工，涉及到了焊接、切割、打标、打孔，热处理、成型等多种加工工艺，激光独一无二的特性使之成为微处理的理想工具，目前广泛应用于微电子、微机械和微光学加工三大领域。目前激光微加工的加工方式主要分为两种，一种是热加工，即使用红外激光，将材料表面的物质加热并使其汽化(蒸发)，以除去材料，另一种是冷加工，即使用紫外激光，高能量的紫外光子直接破坏许多非金属材料表面的分子键，使分子脱离物体，无论哪种加工技术，其对光路的精密性都有很高的要求，但现有的加工设备通常使激光加工部件转动或倾斜来实现对工件不同位置加工，在移动过程中激光光路会受到微小扰动，无法满足高精密度要求，因此，我们提出一种双工位悬臂式微加工设备。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种双工位悬臂式微加工设备。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种双工位悬臂式微加工设备，包括加工平台和承重板，所述加工平台和承重板上分别设置有定位机构和聚光机构，所述定位机构包括底座和推杆，所述底座的侧壁上开设有滑槽，且滑槽内滑动设置有滑座，所述底座的上表面通过螺栓安装有减阻板，且减阻板与推杆的伸缩端共同支撑有承载台，所述承载台上对称开设有两个水平限位槽，且两个限位槽内设有同规格的牵引器，所述承载台的侧壁上固定安装有履带，且履带的末端固定在两个牵引器之间并与牵引器的上端面相齐平，所述水平限位槽的开设方向与减阻板的安装方向相互垂直。优选地，所述聚光机构包括保护箱，所述保护箱内设有控制器、激光发生器、扩束镜和固定筒，所述固定筒贯穿承重板，且固定筒的内部安装喷嘴，所述喷嘴内设置有聚焦透镜，所述保护箱的顶壁上安装有捕捉器和反射镜，且反射镜与聚焦透镜位于同一竖直直线上，所述承重板上焊接有气体发生器，所述气体发生器的输出端通过软管连接有泵机，所述泵机的出气口与喷嘴相连通并位于聚焦透镜的下方。优选地，所述履带包括多个链环，多个所述链环之间通过转轴转动连接，且每个链环上均开设有减重孔，每个所述链环均由高强钛合金制成。优选地，所述减阻板的上表面平行设置有多个安装板，且每个安装板上均匀安装有多个滚珠，且滚珠与承载台的下表面滚动相连。优选地，所述滑座的侧壁上对称焊接有两个支撑柱，每个所述支撑柱上均焊接有固定块，两个所述支撑柱之间固定安装有下支撑板，两个所述固定块之间固定安装有上支撑板，且上支撑板与下支撑板相互平行，所述履带呈U形，且履带位于下方的部分和位于上方的部分分别放置在下支撑板和上支撑板上。优选地，所述履带和牵引器上固定安装有工作台，且工作台的中心轴线与喷嘴的轴线相重合，所述工作台与履带的接触面积大于工作台的面积的一半。优选地，所述加工平台上对称焊接有四根支撑杆，每两根位置相对应的支撑杆之间均通过螺栓安装有横杆，所述承重板滑动设置在两个横杆之间。本专利技术的有益效果：1、通过设置履带、牵引器、承载台等移动部件，在使用激光加工设备时，可以将喷嘴与工作台之间的距离先调节好，然后固定承重板，在加工过程中，推杆推动承载台移动，牵引器带动履带在承载台上移动，两种移动方向相互垂直，通过运动的合成实现工作台不同方向的运动，从而使激光对工件不同位置处进行加工，加工时聚光机构位于固定状态，光路不会被扰动，通过捕捉器捕捉到的微粒对加工过程进行监测即可，不需要频繁校准光路，可以满足连续性的高精度微加工要求。2、通过设置承重板和横杆，当一处工作台上的工件加工完成后，在工件进行传输或替换时，承重板可以在横杆上运动，直至到达另一工位处，在大规模或批量加工时，同一批次装置往往加工要求相同，所以不需要再调节承重板的高度，同时承重板只在同一水平面内同一直线上运动，运动平稳，相较于普通微加工设备中聚光机构的倾斜甚至转动，本装置中的聚光机构工作更加稳定，可以实现双工位微加工，提高加工效率。3、通过在减阻板上设置平行分布排列的滚珠，可以减少承载台与底座之间的摩擦，在带动工作台移动时减少摩擦带来的能量损耗，并且可以降低承载台运动的延迟性，提高加工效率与精度。4、通过使用下支撑板和上支撑板来固定履带，同时使支撑柱与履带卡合，当牵引器运动时，上支撑板与下支撑板起到对履带的限位作用，减少链环左右摆动的影响，并且使用履带代替伸缩杆或其他装置驱动工作台移动，增加了接触面积，提高了工作台运动时的平稳度。综上所述，本专利技术结构设计巧妙，通过设置定位机构使工作台实现平面内的任意移动，在加工过程中，聚光机构位于固定的、稳定的状态，光路不会受到扰动，使加工精度更高，并且可以满足长时间高精度微加工的需求，当一个工位处的工件加工好后，承重板在横杆上匀速滑动既能使激光加工装置到达另一工位处，实现一个设备对双工位交替加工的目的，提高了加工效率。附图说明图1为本专利技术提出的一种双工位悬臂式微加工设备的结构示意图；图2为本专利技术提出的一种双工位悬臂式微加工设备中支撑柱与履带连接处的结构示意图；图3为本专利技术提出的一种双工位悬臂式微加工设备中推杆与承载台部分的俯视图；图4为本专利技术提出的一种双工位悬臂式微加工设备中减阻板部分的结构示意图；图5为本专利技术提出的一种双工位悬臂式微加工设备中履带的部分结构示意图；图6为本专利技术提出的一种双工位悬臂式微加工设备中支撑柱与固定块部分的结构示意图。图中：1保护箱、2激光发生器、3扩束镜、4捕捉器、5反射镜、6聚焦透镜、7泵机、8气体发生器、9固定筒、10喷嘴、11控制器、12横杆、13工作台、14牵引器、15支撑杆、16承载台、17固定块、18履带、19支撑柱、20滑座、21底座、22减阻板、23推杆、24下支撑板、25上支撑板、26链环、27减重孔、28安装板、29滚珠、30承重板、31加工平台。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-6，一种双工位悬臂式微加工设备，包括加工平台31和承重板30，加工平台31和承重板30上分别设置有定位机构和聚光机构，定位机构包括底座21和推杆23，底座21的侧壁上开设有滑槽，且滑槽内滑动设置有滑座20，底座21的上表面通过螺栓安装有减阻板22，且减阻板22与推杆23的伸缩端共同支撑有承载台16，承载台16上对称开设有两个水平限位槽，且两个限位槽内设有同规格的牵引器14，承载台16的侧壁上固定安装有履带18，且履带18的末端固定在两个牵引器14之间并与牵引器14的上端面相齐平，水平限位槽的开设方向与减阻板22的安装方向相互垂直。本专利技术中，聚光机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双工位悬臂式微加工设备，包括加工平台(31)和承重板(30)，其特征在于，所述加工平台(31)和承重板(30)上分别设置有定位机构和聚光机构，所述定位机构包括底座(21)和推杆(23)，所述底座(21)的侧壁上滑动设置有滑座(20)，所述底座(21)的上表面安装有减阻板(22)，且减阻板(22)与推杆(23)的伸缩端共同支撑有承载台(16)，所述承载台(16)上对称设有同规格的牵引器(14)，所述承载台(16)的侧壁上固定安装有履带(18)，且履带(18)的末端固定在两个牵引器(14)之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种双工位悬臂式微加工设备，包括加工平台(31)和承重板(30)，其特征在于，所述加工平台(31)和承重板(30)上分别设置有定位机构和聚光机构，所述定位机构包括底座(21)和推杆(23)，所述底座(21)的侧壁上滑动设置有滑座(20)，所述底座(21)的上表面安装有减阻板(22)，且减阻板(22)与推杆(23)的伸缩端共同支撑有承载台(16)，所述承载台(16)上对称设有同规格的牵引器(14)，所述承载台(16)的侧壁上固定安装有履带(18)，且履带(18)的末端固定在两个牵引器(14)之间。


2.根据权利要求1所述的一种双工位悬臂式微加工设备，其特征在于，所述聚光机构包括保护箱(1)，所述保护箱(1)内设有控制器(11)、激光发生器(2)、扩束镜(3)和喷嘴(10)，所述保护箱(1)的顶壁上安装有反射镜(5)，且反射镜(...

【专利技术属性】
技术研发人员：左慧玲，
申请(专利权)人：左慧玲，
类型：发明
国别省市：江苏;32