The utility model discloses a tail gas oil removing and filtering device for a vapor deposition furnace, which comprises a can body and a cover body, the cover body is located above the can body, the bottom of the can body is a downward convex curved surface structure, the center of the bottom of the can body is provided with an oil discharge port, the side of the lower side of the can body is provided with an air inlet, and the side of the cover body far away from the air inlet is provided with an air outlet; A plurality of vertically arranged filter bags are arranged on the support frame inside the can body, the horizontal height of the top of the filter bag is lower than the bottom of the exhaust port, the horizontal height of the bottom of the filter bag is lower than the horizontal height of the top of the air inlet, and higher than the horizontal height of the bottom of the air inlet. The utility model adopts the tail gas oil removing and filtering device for the vapor deposition furnace with the above structure, which has simple structure and can effectively remove the oil and gas in the tail gas of the vapor deposition furnace.
【技术实现步骤摘要】
气相沉积炉用尾气除油过滤装置
本技术涉及气相沉积炉配件
,特别是涉及一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置。
技术介绍
气相沉积炉是利用化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition)的原理,将参与化学反应的物质,加热到一定工艺温度,在真空泵抽气系统产生的引力作用下,引至沉积室进行反应、沉积,生成新的固态物质。工业生产中气相沉积炉尾气成份复杂,现有技术中气相沉积炉的尾气由滑阀真空泵从炉体内靠负压抽出后直接进入环保设备进行尾气处理,但是,在生产过程中真空泵油受热后部份蒸发以油气形式随尾气一起被抽出,导致尾气中油气含量过高,尾气经环保设备处理后不能达到环保标准。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置,结构简单,有效去除气相沉积炉尾气中的油气。为实现上述目的,本技术提供了一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置,包括桶体和盖体,所述盖体位于所述桶体的上方,所述桶体的底部为向下凸起的曲面结构,所述桶体底部的中心设有排油口,所述桶体下方的侧面设有进气口,所述盖体上远离所述进气口的一侧设有排气口;所述桶体内部的支撑架上设有若干竖直设置的过滤布袋,所述过滤布袋顶部的水平高度低于所述排气口的底部,所述过滤布袋底部的水平高度低于所述进气口顶部的水平高度,且高于所述进气口底部的水平高度。优选的,所述盖体为圆柱形,所述盖体与所述桶体之间设有密封圈,所述盖体与所述桶体之间通过螺栓连接。优选的,所述桶体的下方设有支架。优选的,所述过滤布袋为250目尼龙网 ...
【技术保护点】
1.一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置,其特征在于:包括桶体和盖体,所述盖体位于所述桶体的上方,所述桶体的底部为向下凸起的曲面结构,所述桶体底部的中心设有排油口,所述桶体下方的侧面设有进气口,所述盖体上远离所述进气口的一侧设有排气口;/n所述桶体内部的支撑架上设有若干竖直设置的过滤布袋,所述过滤布袋顶部的水平高度低于所述排气口的底部,所述过滤布袋底部的水平高度低于所述进气口顶部的水平高度,且高于所述进气口底部的水平高度。/n
【技术特征摘要】
1.一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置,其特征在于:包括桶体和盖体,所述盖体位于所述桶体的上方,所述桶体的底部为向下凸起的曲面结构,所述桶体底部的中心设有排油口,所述桶体下方的侧面设有进气口,所述盖体上远离所述进气口的一侧设有排气口;
所述桶体内部的支撑架上设有若干竖直设置的过滤布袋,所述过滤布袋顶部的水平高度低于所述排气口的底部,所述过滤布袋底部的水平高度低于所述进气口顶部的水平高度,且高于所述进气口底部的水平...
【专利技术属性】
技术研发人员:王金铎,啜艳明,郭宾,陶国雷,
申请(专利权)人:保定顺天新材料股份有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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